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三星(中国)半导体有限公司封装测试建设项目环境影响评价报告书(简本

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2024年2月7日发(作者:饶芸静)

三星(中国)半导体有限公司封装测试建设项目环境影响报告书(简本)

目 录

1 建设项目概况 ............................................................................................................................................. 1

1.1项目背景 ........................................................................................................................................... 1

1.2项目概况 ........................................................................................................................................... 1

2 产业政策、相关规划符合性和选址可行性分析 ..................................................................................... 1

2.1 产业政策和规划符合性分析 .......................................................................................................... 1

2.2 选址合理性分析 .............................................................................................................................. 1

3 评价标准 ..................................................................................................................................................... 1

3.1评价标准 ........................................................................................................................................... 1

3.2 评价工作等级及评价范围 .............................................................................................................. 1

4 工程分析 ..................................................................................................................................................... 2

4.1 废气 .................................................................................................................................................. 2

4.2 废水 .................................................................................................................................................. 2

4.3 噪声 .................................................................................................................................................. 3

4.4 固体废物 .......................................................................................................................................... 3

5 环境质量现状 ............................................................................................................................................. 4

5.1 环境空气质量现状 .......................................................................................................................... 4

5.2地表水环境质量现状 ....................................................................................................................... 4

5.3地下水环境质量现状 ....................................................................................................................... 5

5.4声环境质量现状 ............................................................................................................................... 5

5.5土壤环境质量现状 ........................................................................................................................... 5

5.6 敏感保护目标 .................................................................................................................................. 5

6 施工期环境保护措施及主要环境影响 ..................................................................................................... 7

6.1 环境空气 .......................................................................................................................................... 7

6.1.1污染防治措施 ........................................................................................................................ 7

6.1.2 主要环境影响 ....................................................................................................................... 7

6.2噪声 ................................................................................................................................................... 7

6.2.1 污染防治措施 ....................................................................................................................... 7

6.2.2主要环境影响 ........................................................................................................................ 7

6.3水环境 ............................................................................................................................................... 8

6.3.1污染防治措施 ........................................................................................................................ 8

6.3.2主要环境影响 ........................................................................................................................ 8

6.4固体废物 ........................................................................................................................................... 8

6.4.1污染防治措施 ........................................................................................................................ 8

6.4.2主要环境影响 ........................................................................................................................ 8

6.5生态环境 ........................................................................................................................................... 8

7 运营期环境保护措施及主要环境影响 ..................................................................................................... 9

7.1环境空气 ........................................................................................................................................... 9

7.1.1污染防治措施 ........................................................................................................................ 9

7.1.2主要环境影响 ...................................................................................................................... 10

7.2地表水环境 ..................................................................................................................................... 10

7.2.1污染防治措施 ...................................................................................................................... 10

7.2.2主要环境影响 ...................................................................................................................... 11

I

三星(中国)半导体有限公司封装测试建设项目环境影响报告书(简本)

7.3地下水环境 ..................................................................................................................................... 11

7.4声环境 ............................................................................................................................................. 11

7.4.1污染防治措施 ...................................................................................................................... 11

7.4.2主要环境影响 ...................................................................................................................... 11

7.5固体废物 ......................................................................................................................................... 12

8环境风险评价 ............................................................................................................................................ 13

9公众参与 .................................................................................................................................................... 14

10环境监测计划与竣工验收清单 .............................................................................................................. 16

11 清洁生产及总量控制建议指标 ............................................................................................................. 19

11.1 清洁生产 ...................................................................................................................................... 19

11.2 总量指标 ...................................................................................................................................... 19

12 总结论 ..................................................................................................................................................... 20

13 要求与建议 ............................................................................................................................................. 20

14 联系方式 ................................................................................................................................................. 21

14.1建设单位联系人 ........................................................................................................................... 21

14.2 环评单位联系人 .......................................................................................................................... 21

附件列表:

附件1:委托书;

附件2: 西安市环境保护局高新技术产业开发区分局《关于三星(中国)半导体有限公司封装测试建设项目环境影响评价执行标准的批复》;

附件3:陕西省环境保护厅关于三星(中国)半导体有限公司12英寸闪存芯片项目环境影响报告书的批复;

附件4:监测报告;

附件5:第一次公示;

附件6:第二次公示;

附件7:调查样表;

附件8:公众参与调查名单;

附件9:公众参与承诺;

附件10:评估会专家签到表;

附件11:专家意见。

II

三星(中国)半导体有限公司封装测试建设项目环境影响报告书(简本)

1 建设项目概况

1.1项目背景

2012年三星电子选址西安,建设三星(中国)半导体有限公司12英寸闪存芯片项目。2012年5月29日,经陕西省环境保护厅以“陕环批复[2012]298号”文批复同意项目建设。目前该项目正在建设过程中,由于部分设施建设变更,正在办理变更环保手续。

本次封装测试项目(以下简称“项目”)为12英寸闪存芯片项目配套的后续加工项目,选址位于12英寸闪存芯片项目预留用地范围内,除消防系统和废水排放依托全厂排口外,其他与12英寸闪存芯片项目之间无依托关系。项目地理位置见图1。

1.2项目概况

本项目主要从事eMMC芯片(嵌入式多媒体卡)的封装、测试,以及SSD(固态硬盘)的组装生产。主要建设内容包括组装厂房、动力站、污水处理附属建筑、废弃物仓库、危险品仓库、材料仓库、物流厂房等建筑。总用地面积约88038m2,其中建构筑物占地26850 m2,道路铺砌占地为43660 m2,绿化面积为17528 m2。建成投产后可形成月产eMMC芯片140万片、SSD170万套的生产能力。项目总投资约5.0亿美元(306000万元),环保投资为26002.7万元,环保投资共占总投资8.5%。

芯片封装测试工艺流程可分成芯片封装、芯片测试和SSD模组组装三个部分。其中,芯片封装分为贴膜、研磨、划片、贴片、金线焊接、塑封、植锡球、分割成型八个工序;芯片测试分为直流电流检测、老化测试、打印、测试、烘烤、自动外观检测、载带、包装八个工序;SSD模组组装分为网版印刷、贴片、回流焊、测试、装载外壳、贴标签、外观检测和包装八个工序。

项目由高新区的市政供水,日用水量为1643m3/d。排水为雨污分流,雨水收集后排入高新区雨水管网,污水收集后经厂区污水处理站处理达标后经厂区总排口排入高新区污水管网,再进入西安高新区第二污水处理厂处理后排放。

本项目组成内容见表1,主要原辅材料见表2,产品方案见表3。

1

三星(中国)半导体有限公司封装测试建设项目环境影响报告书(简本)

表1 项目组成一览表

类别 项目名称

建筑面积

(m2)

建设内容及功能区划

生产:月产eMMC芯片140万片、SSD170万套

厂房: 3层钢筋混凝土+大型钢屋架结构。

组装栋:地上3层。其中第1层为通风道,第2、3层为生产车间。

第2层主要分布晶圆等材料暂存室、接待室、数据处理办公室、服务器机房、教育间,共8m。

第3层主要分布贴膜、切割、键合、包装、测试等生产车间,共8m。

厂房:2层钢混+钢屋架结构。

1层:保安检查台、码头

2层:办公室, 电气室 ,空调室

厂房: 1层钢混+钢屋架结构。

一般材料贮存仓库。

1层:保安检查台、码头

厂房:地下1层, 2层钢筋混凝土+大型钢屋架结构。

地下1层:纯水池

1层:超纯水系统、冷冻机室、3t/h备用天然气锅炉

2层:电气室、办公室

包括生产废水处理系统2700m3/d,生活废水处理系统1200 m3/d和回用水处理系统。

废物暂存,委外回收。

危险品、化学药剂和危险废物贮存。

由高新区市政自来水提供水源

雨污分流,雨水收集后排入高新区雨水管网,污水收集后经新建污水处理站处理后排入高新区污水管网。

主要依托芯片项目消防系统,另在组装厂房增设18m3的高位水箱

由新建110KV变电站提供(不在本次环评范围内)

高新区西太路热力中心供应,本项目新建一台3t/h备用天然气锅炉

由高新区西太路天然气调压站供气

分析室酸性废气采用碱液喷淋塔处理后排放

SSD工序粉尘经集尘装置处理后排放

生产废水经物化法处理后过滤,部分排放,部分深度处理后回用,污水处理站由西安市政府建设,建设单位负责设备购置安装和日常运行。处理设计规模为2700 m3/d。

生活污水经生化法处理后过滤,部分排放,部分深度处理后回用,污水处理站由西安市政府建设,建设单位负责运行。处理设计规模为1200 m3/d。

“超滤-反渗透”双膜法工艺。

一般固体废物,委外回收

危险废物,委托有资质的公司处置

生活垃圾由环卫部门统一收集

无机集水池及有机集水池可在污水处理系统故障时作为事故水池使用,容积分别为1323 m3和588 m3

19.91%

一、主体工程

组装厂房

59574

物流

厂房

材料厂房

二、辅助工程

3376

2330

动力站

6486

污水处理2750

附属建筑

废弃物仓库

1228

危险品仓库

740

/

给水工程

排水工程

三、公用工程

消防

供电工程

供热工程

天然气

供应工程

生产废气

处理系统

生产废水

/

处理系统

生活污水

/

处理

/

/

/

/

/

/

/

/

/

/

/

四、环保工回用水处理

/

固体废物

处置

风险防范设施应急救援设施

绿地率

2

三星(中国)半导体有限公司封装测试建设项目环境影响报告书(简本)

表2 主要原辅材料一览表

序号

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

11

12

13

14

15

16

17

18

19

20

21

材料名称

芯片

PCB 集成电路板

控制器

外壳

连接器

粘膜胶带

有源器件

焊线

环氧塑封

锡球

锡膏

助焊剂

劈刀

切刀

包装盒

大箱子

吸湿剂

防湿袋

测湿器

泡沫塑料板

托盘

技术规格

12英寸

PCB 基板

控制芯片

(固体硬盘)用外壳

数据连接器

贴片用胶带

二极管、直流转换器等

金线

硅、环氧树脂

锡球(Sn, Ag, Cu)

锡膏(Sn, Ag, Cu)

环氧树脂

劈刀

刀片

SSD包装盒

纸箱

膨润土

防湿袋

HIC 测湿器

包装泡沫塑料板

包装托盘

电阻、MLCC、INDUCTOR 电容、电感

>95% HCFC141B

(一氟二氯乙烷)

JC-1H

(51~60%,载液;

11~20% 聚环氧乙烷甲基苯丙胺聚合物;11~20%专用混单位

英尺

Kg

1000个

Kg

年消耗量

840000

200000000

75000000

10000000

20000000

7500

125000000

125000000

50000

45000000

500

750

20000

1000

10000000

200000

125000

75000

75000

500000

3500000

存放位置

材料仓库

材料仓库

材料仓库

材料仓库

材料仓库

材料仓库

材料仓库

材料仓库

材料仓库

材料仓库

材料仓库

危险品仓库

材料仓库

材料仓库

材料仓库

材料仓库

材料仓库

材料仓库

材料仓库

材料仓库

材料仓库

用途

封装—贴片

模组组装—网版印刷

模组组装—贴片

模组组装—

装载外壳

模组组装—贴片

封装—贴片

模组组装—贴片

封装—金线焊接

封装—塑封

封装—植锡球

模组组装—网版印刷

封装—植锡球

封装—金线焊接

封装—划片

模组组装—包装

测试—包装

模组组装—包装

测试—包装

测试—包装

测试—包装

模组组装—包装

测试—包装

模组组装—包装

模组组装—贴片

22

23

无源器件

洗剂溶液

L

4.5E+09

60,000

材料仓库

危险品仓库

24

表面活性剂

L 32000

危险品仓库

3

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合物;26~35%聚环氧乙烷)

99%

35%

97%

60%

铝盐聚合物

丙烯酸共聚物

聚合氯化铝

NaOH

95%

/

25

26

27

28

29

30

31

32

33

34

35

36

37

38

39

40

41

42

43

44

丙酮

盐酸

硫酸

硝酸

混凝剂

阴离子聚合物

PAC

苛性钠

硫酸

阳离子聚合物

消泡剂

NaOCl

杀菌剂

防垢剂

分散剂

硫酸氢钠

C-1071

F560S

P-111防腐剂

活性炭

L

Kg

Kg

Kg

L

L

L

L

L

L

L

L

L

L

L

L

L

L

L

t

219

183

37

35

1022000

76650

511000

511000

127750

12775

18250

73000

73000

73000

73000

73000

21900

10950

1460

530

废水站附属栋

危险品仓库 & 废水处理站 附属栋

分析室药品

混凝药剂

絮凝药剂

混凝药剂

调节pH

调节pH

污泥脱水调理剂

去除泡沫

膜清洗

反渗透使用

反渗透使用

反渗透使用

去除氯

非氧化性消毒剂

硅酮类

EC503、IK110

N900

/

/

25% 磷酰胺

1~1.5%氯甲基异噻唑啉

0.2~0.7% 2- 甲基-2H-异噻唑-3-酮

/

表3 产品方案一览表

产品名称

eMMC

SSD

产品规格

16Gb MLC、32Gb MLC、64Gb MLC、128Gb MLC

128GB 双层,14mm×18mm

生产规模(万片/月)

140

170

4

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2 产业政策、相关规划符合性和选址可行性分析

2.1 产业政策和规划符合性分析

本项目属于《产业结构调整指导目录(2011年本)》(修正)中鼓励类第二十八项、信息产业第19条“集成电路设计,线宽0.8微米以下集成电路制造,及球栅阵列封装(BGA)、插针网格阵列封装(PGA)、芯片规模封装(CSP)、多芯片封装(MCM)等先进封装与测试”;属于《外商投资产业指导目录》(2011年本)中鼓励外商投资产业目录中三、制造类第二十一项“通信设备、计算机及其他电子设备制造业”中的“集成电路设计,线宽0.18微米及以下大规模数字集成电路制造,0.8微米及以下模拟、数模集成电路制造,MEMS和化合物半导体集成电路制造及BGA、PGA、CSP、MCM等先进封装与测试”。并根据《国务院关于印发进一步鼓励软件产业和集成电路产业发展若干政策的通知国发〔2011〕4号》,本项目建设符合国家产业政策,是鼓励发展的高科技产业。项目建设符合国家、省、市相关规划要求。

2.2 选址合理性分析

本项目位于综合保税区三星12英寸闪存芯片项目预留地上,用地符合规划用地。本项目为三星闪存芯片的封装测试项目,符合西安高新区三星城园区规划的产业政策。项目基础设施条件和12英寸闪存项目基本一致,供水水源、热源、天然气供给均有所保障。在采取相应环保措施的前提下,建成运营后对评价区的环境质量及周围环境敏感点影响较小,属于环境可接受的范围。本项目的公众参与调查统计结果显示支持率为75%,说明公众对本项目总体持支持态度。因此从环保角度考虑,本项目选址可行。

1

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3 评价标准

3.1评价标准

本次评价采用西安市环境保护局高新技术产业开发区分局批准的评价标准。

3.2 评价工作等级及评价范围

根据项目工程分析、环境污染因素及污染因子识别、环境现状调查、环境风险因子调查结果,确定本项目的各环境要素环境影响评价等级、评价范围见表4。

表4 评价等级及评价范围汇总表

环境要素

大气

地表水

评价工作等级

三级

三级

评价范围

组装厂房中心为圆心,半径2.5km的圆,评价区面积为19.62km2

本项目所在地潏河流域上游500m至下游5km河段,包括排污口所在河流潏河及其最终汇入河流沣河。

地下水流向上游以潏河为界,下游3km、两侧2km范围内,面积约20km2

厂界外1m

厂界外延500m

项目危险品仓库为中心的半径3km范围,评价面积不小于28.3km2

地下水

生态

风险

三级

三级

三级

二级

1

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4 工程分析

本项目运营期各项污染源分析如下:

4.1 废气

本项目建成投产后,正常工况所排放的废气主要包括SSD工序PCB(集成电路板)粉尘、网版印刷有机废气、分析室酸性废气及废水处理站臭气,均为有组织排放。

PCB粉尘废气排放量为22800m3/h,采用集尘装置收集并过滤处理。生产废气经过上述措施处理后,经31m排气筒高空排放,排放的各项污染物均能满足国家标准《大气污染物综合排放标准》(GB 16297-1996)中二级标准限值要求。

网版印刷工段清洗溶剂HCFC-141b的排放量为4.79kg/h。通过排风机抽吸收集,经29m排气筒有组织排放。

分析室酸性废气收集后,经过碱液喷淋塔洗涤吸收,净化后气体经31m排气筒排入大气。处理后酸性气体排放可达到GB16297-1996《大气污染物综合排放标准》中的二级标准要求。

废水处理站臭气集中收集,经活性炭装置处理后排放,臭气排放浓度满足《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)中相关标准限值要求。

非正常工况废气:本项目锅炉为市政供暖故障时的备用锅炉,锅炉烟气的排放属于非正常工况排放。锅炉采用天然气为清洁能源,所排放的污染物NOx、SO2、烟尘的浓度均满足国家标准《锅炉大气污染物排放标准》(GB13270-2001)中工业锅炉相关标准限值要求。

4.2 废水

生产废水:包括生产线冷却废水、超纯水制备系统浓水、动力设备冷却循环水系统排水,属于无机废水,产生量为1862m3/d,采用混凝沉淀法处理后进行过滤,处理达标后部分回用,部分外排。

生活污水:产生量127.8m3/d,主要为职工生活污水。采用生化法处理后进行过滤,处理达标后部分回用,部分外排。

生产废水及生活污水经过以上处理措施处理后,部分回用,所排放废水中的污染物指标满足国家标准《污水综合排放标准》(GB8978-1996)中二级标准及《黄河流域(陕西段)污水综合排放标准》(DB61-224-2011)中的二级标准限值要求,由厂区废水总排口排入高新区市政污水管网,最终进入高新区第二污水处理厂。

2

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4.3 噪声

本项目噪声源主要有冷冻机组、空气压缩机、风机、水泵等动力设备,通过采取合理布局及相应的隔声、减震、消声、吸声等治理措施,厂界处噪声排放满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中的3类标准要求。

4.4 固体废物

本项目固体废物产生总量为1421.93t/a。其中,一般工业固废产生量519.3t/a,污水站污泥委托外运处置,其余一般固废由物资回收公司回收;危险废物产生量632.53t/a,由有资质的危险废物处理单位统一处置;生活垃圾产生量270.1t/a,由环卫部门统一处理。

项目主要污染源汇总见表5。

表5 三废排放量表

类别

序号

1

2

废气

3

4

5

6

1

2

废水

3

4

5

1

固废

2

3

4

污染物名称

废气量

(×104m3/a)

粉尘

硫化氢

非甲烷总烃

酸雾

废水量(×104m3/a)

SS

化学需氧量(COD)

BOD5

氨氮

总计

一般固废

危险废物

生活垃圾

产生量

(t/a)

70570.56

13.98

0.00315

0.735

41.94

0.02

72.62

159.8

26.5

13.4

1.16

1421.93

519.3

632.53

270.1

削减量

(t/a)

0

12.582

0.00252

0.588

0

0.016

32.54

156.84

17.69

7.4

0.38

1421.93

519.3

632.53

270.1

排放量

(t/a)

70570.56

1.398

0.00063

0.147

41.94

0.004

40.08

2.96

8.81

6.0

0.78

0

0

0

0

3

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5 环境质量现状

本次环评环境质量现状数据均引用《三星(中国)半导体有限公司12英寸闪存芯片项目环境影响报告书》中由陕西省环境监测中心站于2012年对拟建地周边环境进行的监测数据。监测点位见图2。

5.1 环境空气质量现状

对大气评价范围内的项目拟建地、北兆元坡和河头村的环境空气质量进行监测。监测项目为SO2、NO2、CO、PM10、TSP、NH3、非甲烷总烃。

各监测点位SO2小时浓度最大浓度占标率为20.0%,日均值浓度最大浓度占标率为5.3%;NO2小时浓度最大浓度占标率为36.5%,日均值浓度最大浓度占标率为5%;CO小时浓度最大浓度占标率为7.0%;PM10日均值浓度最大浓度占标率为93.3%;TSP日均值浓度最大浓度占标率为96.7%,均符合《环境空气质量标准》(GB3095-2012)二级标准要求。各监测点位氨小时浓度范围最大浓度占标率为45%,均符合《工业企业设计卫生标准》(TJ36-79)居住区大气中有害物质的最高容许浓度要求。各监测点位非甲烷总烃小时浓度最大浓度占标率为1.8%,符合以色列相关标准要求。

5.2地表水环境质量现状

本项目拟建地位于金沙河入潏河处北侧500m,潏河入沣河口上游3km。共在金沙河、潏河和沣河设6个监测断面。监测项目为pH、DO、高锰酸盐指数、COD、BOD5、氨氮、总磷、石油类、阴离子表面活性剂、氟化物、氯化物、硫酸盐、硝酸盐、Cu、Zn、As、Pb、Cr6+,同步监测流量流速、水深、水温。

监测的18个水质指标中,高锰酸盐指数、阴离子表面活性剂、氟化物、氯化物、硫酸盐、硝酸盐、Cu、Zn、Pb、Cr6+共10项指标在各监测断面均未出现相应水质超标现象;而pH、DO、化学需氧量、五日生化需氧量、氨氮、总磷、石油类、As 共8项水质指标在不同断面出现了不同程度的超标。

其中氨氮、总磷、石油类三个指标在6个断面均出现超标,氨氮、总磷超标率均为100%,最大超标倍数分别为5.403倍和0.460倍;石油类在2#断面和5#超标率为67%,其他断面均为100%,最大超标倍数为0.27倍,出现在4#断面。

pH在3#断面超标,水质呈微碱性,超标率100%,最大超标倍数0.1。DO在1#、3#、4#、5#断面出现超标,超标率均为100%,最大超标标准指数分别为1.15、0.29、1.22、0.97。COD在1#、2#、3#断面出现超标,超标率分别为33.3%、100%和33.3%,

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最大超标倍数分别为0.1倍、0.4倍、0.1倍;五日生化需氧量在2#断面出现超标,超标率为66.67%,超标倍数为0.65倍。As在1#断面出现超标,超标率为66.67%,超标倍数为0.08倍。

拟建项目周边河流水域水质主要呈有机性污染。分析水质超标原因主要为上游生活污水排放和工业废水排放所致。

5.3地下水环境质量现状

对项目拟建地附近的张牛村、堰渡村和童家寨村3个监测点位进行了地下水监测。

监测项目为pH、总硬度、硫酸盐、氯化物、高锰酸盐指数、硝酸盐、亚硝酸盐、氨氮、氟化物、溶解性总固体、阴离子表面活性剂、Cu、Zn、As、Pb、Cr6+、Cd、铁、锰、总磷共20项,均符合《地下水质量标准》(GB/T 14848-93)Ⅲ类标准。

5.4声环境质量现状

噪声监测结果表明,厂界四周环境噪声昼夜间均符合《声环境质量标准》(GB3096-2008)3类标准要求。

5.5土壤环境质量现状

在拟建项目场地和迪村设置两个土壤监测点,监测项目为pH、铅、镉、汞、砷、铜、铬、锌、镍、氟化物共10项,监测结果均符合GB15618-1995《土壤环境质量标准》中二级标准。

5.6 敏感保护目标

项目主厂区周边3km范围内的主要环境保护对象及其保护目标见表6及图3。

表6 评价区内主要环境保护对象及其保护目标

环境要素

环境敏感保护目标

区/县

镇 村

张牛村

环境空气

长安区

兴隆街道

高桥

河头

黄家坡

晓阳村

兆元村

东甘河

堰渡村

相对

方位

西南

西南

东北

东北

相对距离(m)

1352

2042

1700

1285

1200

1100

2800

2500

人数 户数

710

270

254

410

730

1755

2486

2730

175

60

1010

105

190

449

613

762

备注

《环境空气质量标准》(GB3095-2012)

环境保护目标

5

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环境要素

环境敏感保护目标

区/县

镇 村

和迪村

龙王河

王通寨

五星乡

郭吕堡

晋家堡

江村

共同村

侯家堡

江村初中

地表水

地下水

声环境

生态环境

潏河

沣河

相对

方位

西南

西南

东南

西侧

相对距离(m)

2900

1500

2104

1800

2166

2330

2469

2560

2396

0.3km

地表水质

4km

人数 户数

1060 4269

126

1620

986

791

1604

974

380

489

360

251

218

376

233

1554

备注

《地表水环境质量标准》GB3838-2002Ⅲ类

《地下水质量标准》GB/T14848-93Ⅲ类

《工业企业厂界环境噪声排放标准》3类

《土壤环境质量标准》GB15618-1995旱作区二级标准

环境保护目标

304

地下水流向上游以潏河为界,下游3km、两侧2km范围内,面积约20km2

厂界外200m内 建成后无声环境敏感点

厂区外延500m区域 生态环境

6

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6 施工期环境保护措施及主要环境影响

6.1 环境空气

6.1.1污染防治措施

要求建设单位加强施工过程中施工区管理,施工区四周采用简易围屏;建筑材料的堆场以及混凝土拌合处应定点定位,并采取防尘抑尘措施;对散料和场内堆存的土方堆场采用水喷淋防尘,或用蓬布遮盖散料堆;散装水泥罐下部出口处设置防尘袋,以防水泥散逸;装修粉刷的涂料应使用污染相对较小的环保型涂料。加强运输管理,运输车进出的主干道应定期洒水清扫,保持车辆出入口路面清洁、湿润,并尽量减缓行驶车速,以减少施工车辆引起的地面扬尘污染;散货车不得超高超载,以免车辆颠簸物料洒出;运输车辆卸完货后应清洗车厢;工作车辆及运输车辆在离开施工区时冲洗轮胎,检查装车质量;施工场地每天定期洒水,防止浮尘产生,在大风日加大洒水量及洒水次数;运输车辆应密闭运输,严防沿途道路遗撒,进入施工场地应低速或限速行驶,以减少产尘量;加强对机械、车辆的维修保养,禁止以柴油为燃料的施工机械超负荷工作,减少烟度和颗粒物排放。

6.1.2 主要环境影响

建设单位在采取以上环评提出的措施后,环境空气影响可得到有效控制,且其影响随施工过程的结束而结束,对周边环境影响较小。

6.2噪声

6.2.1 污染防治措施

要求建设单位合理安排高噪声施工作业的时间, 22点至次日凌晨6点禁止高噪声机械作业;对工地周围设立围护屏障,同时可在高噪声设备附近加设可移动的简易隔声屏;在工地布置时应考虑搅拌机等高噪声设备安置在离敏感点相对较远的一侧,运输车辆的进出口也建议安排在该侧,并规定进、出路线,使行驶道路保持平坦,减少车辆的颠簸噪声和产生振动;加强施工区附近交通管理,避免交通堵塞而增加的车辆鸣号,尽可能减少施工对周围地区声环境的影响。

6.2.2主要环境影响

施工现场的噪声严格执行《建筑施工场界环境噪声排放标准》(GB12523-2011)的要求,加强管理,文明施工。在采取上述措施后,项目施工期声环境影响可得到有效控

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制,施工期的噪声影响是短期的、项目建成后,施工期噪声的影响也就此结束。

6.3水环境

6.3.1污染防治措施

项目在施工高峰期生活污水产生量为16t/d,生活污水中主要污染物为CODCr、BOD5和SS等。

要求项目施工期生产废水设置沉淀池,废水经处理后循环使用;设置化粪池处理生活污水,处理达标后用于绿化洒水,禁止直接外排。施工期废水不得直接外排。

6.3.2主要环境影响

正常情况下,施工期废水全部回用不外排,不会影响地表水环境。

6.4固体废物

6.4.1污染防治措施

项目施工期的挖方量为402787m3,填方量为265246m3,堆积土方量为137541m3(堆存于厂区预留工业场地,用于后期项目建设),弃方量为0。

施工过程产生的建筑垃圾量为20000t。生活垃圾产生量66t/a。

要求项目渣土尽量在场内周转,就地用于绿化、道路等生态景观建设,不得倾倒建筑垃圾,必须外运的弃土以及建筑废料应运至西安市指定的建筑垃圾堆放场;设置临时堆场,及时清运工程产生的固体废弃物应;加强生活垃圾管理,采用垃圾桶收集;生活垃圾应及时交环卫部门清运,统一处置,施工单位与接纳单位签订环境卫生责任书,禁止用于施工回填。确保运输过程中保持路面整洁,施工单位应有专人负责,对渣土垃圾的处置实施现场管理;在工程竣工以后,施工单位应同时拆除各种临时施工设施,并负责将工地的剩余建筑垃圾、工程渣土处理干净,做到“工完、料尽、场地清”。

6.4.2主要环境影响

在采取上述措施后,施工期固体废物全部得到合理处理处置,对周围环境影响较小。

6.5生态环境

项目在原厂区东侧预留用地内,建成后通过绿化,区域植被状况将会得到恢复,绿化率达到约20%。施工结束后场地经过平整,进行绿化,植被破坏影响能够得到有效治理,影响较小。

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7 运营期环境保护措施及主要环境影响

7.1环境空气

7.1.1污染防治措施

根据生产工艺和辅助设施分析,本项目建成投产后,正常工况所排放的废气主要包括SSD工序PCB(集成电路板)粉尘、网版印刷有机废气、分析室酸性废气及废水处理站臭气,均为有组织排放。

SSD生产线内PCB基板被旋转切割时产生的PCB粉尘,产生浓度为70mg/m3,主要成分为有机颗粒、Cu、Ni、Au,产生浓度分别为60 mg/m3、7.7mg/m3、0.03 mg/m3、0.0000014 mg/m3。PCB粉尘经负压集尘装置收集,该集尘装置由送风机、控制器、过滤器、旋转器、收尘罐构成。共设6组集尘器,由6个支管输送至排风总管,经0.3μm滤芯过滤后,净化气体通过31m排气筒排放,过滤截留的PCB粉尘用收尘罐收集,交有资质单位处置。集尘装置对PCB粉尘的处理效率可达90%,处理后粉尘排放浓度为7

mg/m3,其中有机颗粒物、Cu、Ni、Au的排放浓度分别为6mg/m3、0.77mg/m3、0.003mg/m3、0.00000014 mg/m3。符合《大气污染物综合排放标准》(GB16297-199)中的二级标准要求。

网版印刷工段的清洗溶剂HCFC-141b在使用过程中,挥发作用造成HCFC-141b废气进入大气。清洗溶剂HCFC-141b使用量为60m3/a(密度为1.227g/cm3),折合73.62t/a,其中13.6t/a以废液形态排放,18.08t/a进入清洗棉纱,挥发量约为41.94t/a(4.79kg/h)。通过排风机抽吸收集,经29m排气筒有组织排放。

分析室中酸类化学品每天的用量分别为盐酸704g,硫酸142g,硝酸134g。其挥发性按照10%,1%和5%进行计算,抽风机通风量按5160m3/h计,则酸性气体中氯化氢、硫酸雾、氮氧化物的产生浓度分别为1.70mg/m3、0.03mg/m3、0.16mg/m3。酸性废气收集后,送入设置在楼顶的碱液喷淋塔,经过25%氢氧化钠溶液洗涤吸收,净化后气体经过31m排气筒排入大气。该系统对废气中硫酸雾、氮氧化物、氯化氢等的吸收效率在70%~90%,处理后酸性气体排放可达到《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)中的二级标准要求。碱液吸收产生的少量碱性废水送至超纯水制备系统的中和水池调节pH后,进入生产废水处理单元。

项目自建废水处理站含有生物处理工艺,废水生物处理过程中有机物腐败产生臭味,主要污染物为氨(NH3)、硫化氢(H2S)和臭气浓度。生物处理构筑物设排风系统,

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废气集中并经活性炭处理装置处理后,经排气筒高空排放,排气筒高度为23.2m。处理后废水站臭气排放浓度满足《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)中相关标准限值要求。

7.1.2主要环境影响

(1)正常工况

根据预测结果,本项目污染源排放的粉尘最大落地浓度占标率0.45%;NH3最大落地浓度占标率0.13%;H2S最大落地浓度占标率0.01%;NMHC最大落地浓度占标率1.12%。

(2)非正常工况

本项目非正常工况大气污染预测选择供热不正常时,燃气锅炉启用的情况下烟气排放的环境影响。项目大气污染源非正常排放时,排放的各污染物最大落地浓度较低,可以满足《环境空气质量标准》(GB3095-2012)二级标准要求。

7.2地表水环境

7.2.1污染防治措施

项目设废水处理站1座,置于厂区北侧,废水处理站内设有3套水处理系统,其中无机废水处理系统1套,有机废水处理系统1套,回用水处理系统1套。

项目生产废水主要来自生产过程冷却废水、超纯水制备系统的浓水、动力设备冷却水系统排水,整体水质较好,主要为悬浮物污染。采取混凝沉淀措施处理,选用高效的絮凝剂、助凝剂,可有效的提高处理效率,再经过后续砂滤与活性炭过滤处理,能够保证废水达标排放。

项目生活污水经有机集水池收集后,进入传统活性污泥曝气池,出水再经砂滤和活性炭过滤后,能够满足《污水综合排放标准》(GB8978-1996)中二级标准限值要求。

生产废水和生活污水分别经过前段处理汇集后,经过“砂滤+活性炭过滤”后处理工艺,部分废水达标排放,另一部分进入“超滤→反渗透”系统,产生891m3/d的淡水,但该部分出水水质依然不能满足工艺用水指标,需与837m3/d的原水汇合后,一起进入超纯水制备系统,进一步净化后用于生产线工艺用水。

超滤及反渗透系统产生的浓水(420m3/d),COD浓度为69mg/L,BOD5浓度为47mg/L,SS浓度为23mg/L,氨氮浓度为6mg/L,主要污染物浓度不能全部满足《污水综合排放标准》(GB8978-1996)中二级标准限值,回流至有机集水池进行再次处理、循

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环。

7.2.2主要环境影响

本项目废水产生量共计1989.8m3/d,其中生产废水产生量为1862m3/d,主要污染物为SS和COD,为无机废水,经无机集水池排入厂区污水处理站经物化法处理;生活污水产生量为127.8m3/d,主要污染物为COD、BOD5、SS、氨氮,为有机废水,经有机集水池汇入厂区污水处理站的生化处理池处理;最终两类废水汇集并经过过滤后处理,一部分经过超滤-反渗透处理后作为超纯水制备系统的原水回用,剩余部分排入厂区总排放口,排放量1098.18m3/d,排入高新区市政污水管网,最终进入高新区第二污水处理厂。根据《西安市高新区第二污水处理厂工程项目建议书》,第二污水处理厂设计生产规模为一期5万吨/天,二期20万吨/天,足以满足本项目的废水处理要求。高新区第二污水厂计划于2013年建成,目前尚在建设中。环评建议高新区第二污水处理厂应先于本项目投入运行,确保本项目建成后的污水去向。

7.3地下水环境

厂区划分为重点污染防治区和一般污染防治区,对于裸露于地面的生产功能单元,将其划分为一般污染防治区,并参照《一般工业固体废弃物贮存、处置场所污染物控制标准》(GB18599-2001)Ⅱ类场地进行地面防渗设计。对于位于地下或者半地下的生产功能单元,发生物料泄漏后不容易及时被发现和处理的区域或部位,将其划分为重点污染防治区。危险品仓库、废水处理站、废水处理站附属建筑物、废弃物仓库按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2001)进行防渗设计。

正常情况下,本项目各生产车间废水通过密闭管网收集后进入污水处理厂处理后回用或排入污水管网,不会对地下水产生影响。生产车间、污水处理站、危险品仓库、废弃物仓库等采取防渗防漏措施后,不会对所在区域地下水产生影响。

7.4声环境

7.4.1污染防治措施

本项目首先选用低噪声设备,然后再针对冷却塔、冷冻机组、真空泵、新风机组、风机、水泵等不同的噪声污染源采取隔声、减振、消声等措施来实现噪声达标排放。

7.4.2主要环境影响

环评预测,项目建成后厂界噪声贡献值昼、夜间全部满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB 12348-2008)对应的3类区标准限值。

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7.5固体废物

本项目建成投产后废弃物产生量1421.93t/a,其中:一般工业固体废物519.3t/a,均委外回收或外运;危险废物632.53t/a,其中化学药品空瓶、锡球、锡膏、PCB碎片及粉尘、废环氧树脂等(合计65.93t/a)交由有资质的单位处置,丝网印刷废液、废清洗棉纱(合计36.6t/a)委外综合利用,废活性炭530t/a由厂家回收;生活垃圾270.1t/a,由环卫部门统一处理。在采取处理固体废物的同时,切实加强对固体废物的管理,严格遵循危险废物贮存、运输、处置中的一系列操作规程。通过上述处置措施,本项目各种固体废物去向明确,不会产生二次污染。

项目具体防渗区域及部位参考《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2001)与《一般工业固体废弃物贮存、处置场所污染物控制标准》(GB18599-2001)的相关规定,在室内堆放,做到防风、防雨、防晒;不同种类的危险废物分开存放,设有隔断;贮存站地面应设防渗措施;危险废物储存间四周设渗液收集槽等。在按照规范采取合理可行的措施后,工程固体废物处理、处置率达到100%,对环境产生影响较小。

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8环境风险评价

本项目所涉及化学品有一氟二氯乙烷、丙酮、盐酸、硫酸等,根据《危险化学品重大危险源辨识》(GB 18218-2009),其均未构成重大危险源。项目选取一氟二氯乙烷为评价因子,涉及的危险单元为危险品仓库。环境风险事故主要为一氟二氯乙烷发生泄漏事故,环评分析后认为项目环境风险可控,并在可接受的范围内。

另外,项目无机集水池设计容积为1323m3 ,有机集水池设计容积为588m3,在正常运行情况下,水量可达到池子约40%的容量,无机集水池尚有793.8m3的剩余池容,有机集水池有352.8m3的剩余池容,可以容纳10.2 h和66.25 h的生产废水和生活废水,可用于事故或非正常工况排水收集,可以保证事故情况下不向外环境直接排放污水。

根据本项目的实际情况,评价要求企业将本项目纳入全厂环境事件应急预案中,并根据本项目风险源进一步完善应急预案,项目运行前环境风险应急处置预案及防范措施必须经专家论证认。应急预案应在生产过程安全管理中具体化和进一步完善。

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9公众参与

项目按照《环境影响评价公众参与暂行办法》进行了公示和公众意见调查,本次公众意见调查采用网站公示、报纸公示和调查表的方式进行。

评价单位协助建设单位于2013年9月13日于“西安高新区电子政务网

(/?urltype=ntentUrl&wbtreeid=12324&wbnewsid=102153)”进行了环境影响第一次信息公示。公告内容主要包括:建设项目概况、建设单位及环评机构联系方式、环境影响评价的程序和工作内容,征求公众意见的主要事项等。

报告书初稿编制基本完成后,为进一步收集和征求公众意见,评价单位协助建设单位于2013年9月28日在“西安高新区电子政务网(/?urltype=ntentUrl&wbtreeid=12324&wbnewsid=102355)”及“三秦都市报” 进行了第二次信息公示。公示内容包括:建设项目概况、可能造成的环境影响概述、预防或者减轻不良环境影响的对策和措施、报告书评价结论、公众查阅环境影响报告书简本的方式和期限、征求公众意见的范围、主要事项、具体形式及期限、联系方式等。

在网站公示和报纸公示期间,建设单位及评价单位未收到有关咨询该项目的公众来电及来信。

进行两次公示后,在公众知悉项目基本情况的前提下,开展本项目的公众意见调查。本次调查采用抽样调查方式,选择有代表性的群众进行调查。本次调查共发放调查问卷100份,共收回有效答卷100份。回收的公众意见调查表统计结果显示,71人同意本工程建设,25人表示无所谓,4人不同意本工程建设。提出反对意见的公众担心项目建成后会对周围环境造成较大影响,还有当地水环境质量差。环境影响评价单位对不同意人员进行了回访,在回访中,评价单位工作人员向公众解释了项目产污环节的具体治理措施,污染物可达标排放,在此前提下4名公众持同意的态度,支持项目建设。

根据回访结果此次公众意见征询结果为:75位被调查者同意本项目建设,25位被调查者表示无所谓。从统计的公众对项目所持态度调查结果表明,广大民众的环保意识日益增强,对项目建成后的污染问题予以了高度重视,这就要求建设方在今后的环保工作中必须落实切实有效的污染防治措施,确保当地环境质量,做到环境与经济持续协调发展。建设单位对公众意见出具了采纳说明。

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该项目公众参与采取了两次网路公示、一次报纸公式和现场公众参与问卷调查的方式。公众参与调查表共发放100份,具有代表性、有效性和真实性,能够表现当地附近居民对于项目的基本态度。

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10环境监测计划与竣工验收清单

运营期监测内容包括常规监测和事故监测两部分,常规监测中含环境质量监测和污染物排放监测。

①常规监测

营运期的环境质量监测参照《三星(中国)半导体有限公司12英寸闪存芯片项目环境影响报告书》监测计划,封装测试项目运营后执行原监测计划,见表7。另外本项目污染源监测计划见表8。

表7 环境质量监测计划

环境要素 监测点位

拟建场地上游500m(潏河)

监测项目 监测频次

pH、DO、高锰酸盐指数、化学需氧量、五日生化需氧排污口下游500m(潏河)

量、氨氮、总磷、石油类、潏河入沣河上游500m(沣河)

阴离子表面活性剂、氟化物、氯化物、硫酸盐、硝酸潏河入沣河下上游1000m(沣河)

盐、Cu、Zn、As、Pb、Cr6+

SO2、NO2、PM10、TSP、本项目厂区、西安电子科技大学、CO、氟化物、氯化氢、氯北兆元坡、河头村、和迪村和北安气、NH3、非甲烷总烃、二根据当地环保丰

噁英

pH、总硬度、硫酸盐、氯化部门的要求定物、高锰酸盐指数、硝酸盐、期监测

亚硝酸盐、氨氮、氟化物、评价范围内5处居民井水(包括潜溶解性总固体、阴离子表面水层和承压水层)

活性剂、Cu、Zn、As、Pb、+Cr6、Cd、铁、锰、总磷、水位、水温

pH、铅、镉、汞、砷、铜、项目拟建地、和迪村

铬、锌、镍、氟化物、硼

北安丰、北兆元坡、东甘河村农田pH、铅、镉、汞、砷、铜、植被 铬、锌、镍、氟化物、硼

地表水

环境空气

地下水

土壤

植物

表8 污染物排放监测计划

类别

监测位置

无机废水处理系统排口

有机废水处理系统排口

废回用水处理系统排口

三星总厂废水总排口

集尘装置

废碱液喷淋塔

网版印刷工段排气筒

测点数

1

1

1

1

1

1

1

监测项目

SS、COD

COD、BOD5、SS、氨氮

pH、氨氮、COD、BOD

5、SS

流量、pH、SS、COD、BOD5、动植物油、氨氮、氟化物、磷酸盐、铜

TSP、Cu、Ni、Au

酸雾

非甲烷总烃

16

监测频率

项目排口设自动在线监测系统

原闪存芯片项目已经提出

集尘装置出口设自动在线监测,对TSP进

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废水处理站臭气

锅炉废气

噪三星总厂界外1m

1

1

氨、硫化氢、臭气浓度

NOx、SO2、烟尘

行监测;其他根据当地环保部门的要求定期监测

原闪存芯片项目已经提出

4

厂界噪声

项目运行过程中将分散的生活垃圾和工业固体废物、废液按一般固体废物和危险废物分类贮固存,特别做好危险废物外运处置的运输登记,认真填写危险废物转移联单。对产生的固体废物废

总量进行分类统计、记录、存档。

②事故监测

除了进行常规监测外,对企业环保处理设施运行情况要严格监视,及时监测,当发现环保处理设施发生故障或运行不正常时,应及时向上级报告,并必须及时进行取样监测,分析污染物排放量,对事故发生的原因、事故造成的后果和损失等进行调查统计,并建档上报。必要时应提出暂时停产措施,直至环保设施恢复正常运转,坚决杜绝事故性排放。

竣工环境保护验收一览表见表9。

表9 环境保护“三同时”竣工验收内容一览表

治理措施类别

环保工程主要内容

无机废水处理系统

废水治理措施

有机废水处理系统

治理

措施

混凝沉淀+砂滤+活性炭过滤

活性污泥法+砂滤+活性炭过滤

执行标准

《污水综合排放标准》(GB8978-1996)中二级标准

《黄河流域(陕西段)污水综合排放标准回用水处理系统 超滤(UF)+反渗透(RO)

(DB61-224-2011)中的二级标准

分析室酸性废气处理系统

PCB粉尘集尘处理系统

网版印刷工段

废气治理措施

碱液喷淋塔处理

集尘装置收集并过滤处理

排气筒排放

集中处理

活性炭吸附装置

《大气污染物综合排放标准》(GB

16297-1996)中二级标准限值

《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)中相关标准限值

《锅炉大气污染物排放标准》(GB13270-2001)中工业锅炉相关标准限值

《工业企业厂界环境噪声排放标准》废水站臭气处理系统

锅炉废气 烟囱高空排放

噪声

治理措施

废气处理风机、新风机组

选用低噪声设备、设备基础加减振垫、进出口采用软连17

三星(中国)半导体有限公司封装测试建设项目环境影响报告书(简本)

治理措施类别

环保工程主要内容

治理

措施

执行标准

(GB12348-2008)中的3类标准

接并加装消声器、加装隔声罩;建筑隔声、加隔音板;设备基础加减振垫、风机进出口采用软连接并加装消声器

冷却塔、冷冻机组、冷冻水泵、设备基础加减振垫、选用低冷却水泵、蒸汽锅炉、锅炉给水噪声设备、排污口增加消声泵、工艺真空泵、工艺冷却水泵 装置

建筑隔声、四周加隔音板;设备基础加减振垫、风机进水泵、风机

出口采用软连接并加装消声器

废弃物仓库

固体废物处置措施

危险品仓库

生活垃圾分类收集设施

绿化 厂区、道路两侧

分类暂存、

防渗、防风、防雨、防晒

分类暂存、

防渗、防风、防雨、防晒

集中收集

/

《一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准》

《危险废物贮存污染控制标准》

《生活垃圾填埋污染控制标准》

绿地率20%

18

三星(中国)半导体有限公司封装测试建设项目环境影响报告书(简本)

11 清洁生产及总量控制建议指标

11.1 清洁生产

本项目通过选择国际先进的生产工艺,在原辅材料选用、回收利用、污染物治理及管理等方面采取合理可行的清洁生产措施,有效地预防和控制污染,降低能耗、物耗、水耗,减少污染物的排放,较好地实现清洁生产,符合清洁生产要求。

环评要求项目工艺技术水平、污染物排放指标(浓度及排放速率)不得低于引进国水平。

11.2 总量指标

本项目需要核算总量的污染物为化学需氧量和氨氮。环评计算COD排放量8.81t/a,氨氮排放量0.78t/a,建议污染物总量指标为:COD 9t/a、氨氮1t/a。

19

三星(中国)半导体有限公司封装测试建设项目环境影响报告书(简本)

12 总结论

三星(中国)半导体有限公司封装测试项目符合国家产业政策,选址符合地区发展规划;采用了国际先进的生产工艺技术;同时采取有效的污染防治措施,能够实现污染物达标排放;满足污染物总量控制要求。在落实本报告提出的各项环保措施和风险防范措施的情况下,从环境保护角度分析,本项目建设可行。

13 要求与建议

(1)本项目实施时,在采取本报告提出的各项治理措施基础上,应不断优化可研、初步设计等方案设计,采取先进技术,尽最大可的降低能耗、物耗,同时减少污染物排放。

(2)建议本项目进一步降低能耗,能源资源利用水平不得低于引进国水平。

(3)建议本项目定期开展清洁生产审核,将清洁生产的各项措施落实到生产的全过程,并持续推行清洁生产,成为本行业清洁生产领先企业。本项目工艺技术水平、污染物排放指标(浓度及排放速率)不得低于引进国水平。

(4)项目在试生产期间,对污水处理站污泥进行危险废物的鉴定。如果为危险废物,应严格按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2001)和国务院令第344号《危险化学品安全管理条例》的有关规定进行管理。

(5)本项目网版印刷工段的清洗溶剂HCFC-141b属于《中国受控消耗臭氧层物质清单》中的物质,要求建设单位按照中华人民共和国国务院令第573号《消耗臭氧层物质管理条例》、环境保护部《关于加强含氢氯氟烃生产、销售和使用管理的通知》(环函【2013】179号)的办法进行使用和管理,并尽快研发该化学药品的替代物质。

20

三星(中国)半导体有限公司封装测试建设项目环境影响报告书(简本)

14 联系方式

14.1建设单位联系人

建设单位名称:三星(中国)半导体有限公司

联 系 人:文科长

联系电话:

14.2 环评单位联系人

评价单位名称:陕西中圣环境科技发展有限公司

地 址:陕西省西安市西影路106号环保大厦

邮 编:029-710054

联 系 人:李女士

联系电话:

邮 箱:hkyhps@

21

2024年2月7日发(作者:饶芸静)

三星(中国)半导体有限公司封装测试建设项目环境影响报告书(简本)

目 录

1 建设项目概况 ............................................................................................................................................. 1

1.1项目背景 ........................................................................................................................................... 1

1.2项目概况 ........................................................................................................................................... 1

2 产业政策、相关规划符合性和选址可行性分析 ..................................................................................... 1

2.1 产业政策和规划符合性分析 .......................................................................................................... 1

2.2 选址合理性分析 .............................................................................................................................. 1

3 评价标准 ..................................................................................................................................................... 1

3.1评价标准 ........................................................................................................................................... 1

3.2 评价工作等级及评价范围 .............................................................................................................. 1

4 工程分析 ..................................................................................................................................................... 2

4.1 废气 .................................................................................................................................................. 2

4.2 废水 .................................................................................................................................................. 2

4.3 噪声 .................................................................................................................................................. 3

4.4 固体废物 .......................................................................................................................................... 3

5 环境质量现状 ............................................................................................................................................. 4

5.1 环境空气质量现状 .......................................................................................................................... 4

5.2地表水环境质量现状 ....................................................................................................................... 4

5.3地下水环境质量现状 ....................................................................................................................... 5

5.4声环境质量现状 ............................................................................................................................... 5

5.5土壤环境质量现状 ........................................................................................................................... 5

5.6 敏感保护目标 .................................................................................................................................. 5

6 施工期环境保护措施及主要环境影响 ..................................................................................................... 7

6.1 环境空气 .......................................................................................................................................... 7

6.1.1污染防治措施 ........................................................................................................................ 7

6.1.2 主要环境影响 ....................................................................................................................... 7

6.2噪声 ................................................................................................................................................... 7

6.2.1 污染防治措施 ....................................................................................................................... 7

6.2.2主要环境影响 ........................................................................................................................ 7

6.3水环境 ............................................................................................................................................... 8

6.3.1污染防治措施 ........................................................................................................................ 8

6.3.2主要环境影响 ........................................................................................................................ 8

6.4固体废物 ........................................................................................................................................... 8

6.4.1污染防治措施 ........................................................................................................................ 8

6.4.2主要环境影响 ........................................................................................................................ 8

6.5生态环境 ........................................................................................................................................... 8

7 运营期环境保护措施及主要环境影响 ..................................................................................................... 9

7.1环境空气 ........................................................................................................................................... 9

7.1.1污染防治措施 ........................................................................................................................ 9

7.1.2主要环境影响 ...................................................................................................................... 10

7.2地表水环境 ..................................................................................................................................... 10

7.2.1污染防治措施 ...................................................................................................................... 10

7.2.2主要环境影响 ...................................................................................................................... 11

I

三星(中国)半导体有限公司封装测试建设项目环境影响报告书(简本)

7.3地下水环境 ..................................................................................................................................... 11

7.4声环境 ............................................................................................................................................. 11

7.4.1污染防治措施 ...................................................................................................................... 11

7.4.2主要环境影响 ...................................................................................................................... 11

7.5固体废物 ......................................................................................................................................... 12

8环境风险评价 ............................................................................................................................................ 13

9公众参与 .................................................................................................................................................... 14

10环境监测计划与竣工验收清单 .............................................................................................................. 16

11 清洁生产及总量控制建议指标 ............................................................................................................. 19

11.1 清洁生产 ...................................................................................................................................... 19

11.2 总量指标 ...................................................................................................................................... 19

12 总结论 ..................................................................................................................................................... 20

13 要求与建议 ............................................................................................................................................. 20

14 联系方式 ................................................................................................................................................. 21

14.1建设单位联系人 ........................................................................................................................... 21

14.2 环评单位联系人 .......................................................................................................................... 21

附件列表:

附件1:委托书;

附件2: 西安市环境保护局高新技术产业开发区分局《关于三星(中国)半导体有限公司封装测试建设项目环境影响评价执行标准的批复》;

附件3:陕西省环境保护厅关于三星(中国)半导体有限公司12英寸闪存芯片项目环境影响报告书的批复;

附件4:监测报告;

附件5:第一次公示;

附件6:第二次公示;

附件7:调查样表;

附件8:公众参与调查名单;

附件9:公众参与承诺;

附件10:评估会专家签到表;

附件11:专家意见。

II

三星(中国)半导体有限公司封装测试建设项目环境影响报告书(简本)

1 建设项目概况

1.1项目背景

2012年三星电子选址西安,建设三星(中国)半导体有限公司12英寸闪存芯片项目。2012年5月29日,经陕西省环境保护厅以“陕环批复[2012]298号”文批复同意项目建设。目前该项目正在建设过程中,由于部分设施建设变更,正在办理变更环保手续。

本次封装测试项目(以下简称“项目”)为12英寸闪存芯片项目配套的后续加工项目,选址位于12英寸闪存芯片项目预留用地范围内,除消防系统和废水排放依托全厂排口外,其他与12英寸闪存芯片项目之间无依托关系。项目地理位置见图1。

1.2项目概况

本项目主要从事eMMC芯片(嵌入式多媒体卡)的封装、测试,以及SSD(固态硬盘)的组装生产。主要建设内容包括组装厂房、动力站、污水处理附属建筑、废弃物仓库、危险品仓库、材料仓库、物流厂房等建筑。总用地面积约88038m2,其中建构筑物占地26850 m2,道路铺砌占地为43660 m2,绿化面积为17528 m2。建成投产后可形成月产eMMC芯片140万片、SSD170万套的生产能力。项目总投资约5.0亿美元(306000万元),环保投资为26002.7万元,环保投资共占总投资8.5%。

芯片封装测试工艺流程可分成芯片封装、芯片测试和SSD模组组装三个部分。其中,芯片封装分为贴膜、研磨、划片、贴片、金线焊接、塑封、植锡球、分割成型八个工序;芯片测试分为直流电流检测、老化测试、打印、测试、烘烤、自动外观检测、载带、包装八个工序;SSD模组组装分为网版印刷、贴片、回流焊、测试、装载外壳、贴标签、外观检测和包装八个工序。

项目由高新区的市政供水,日用水量为1643m3/d。排水为雨污分流,雨水收集后排入高新区雨水管网,污水收集后经厂区污水处理站处理达标后经厂区总排口排入高新区污水管网,再进入西安高新区第二污水处理厂处理后排放。

本项目组成内容见表1,主要原辅材料见表2,产品方案见表3。

1

三星(中国)半导体有限公司封装测试建设项目环境影响报告书(简本)

表1 项目组成一览表

类别 项目名称

建筑面积

(m2)

建设内容及功能区划

生产:月产eMMC芯片140万片、SSD170万套

厂房: 3层钢筋混凝土+大型钢屋架结构。

组装栋:地上3层。其中第1层为通风道,第2、3层为生产车间。

第2层主要分布晶圆等材料暂存室、接待室、数据处理办公室、服务器机房、教育间,共8m。

第3层主要分布贴膜、切割、键合、包装、测试等生产车间,共8m。

厂房:2层钢混+钢屋架结构。

1层:保安检查台、码头

2层:办公室, 电气室 ,空调室

厂房: 1层钢混+钢屋架结构。

一般材料贮存仓库。

1层:保安检查台、码头

厂房:地下1层, 2层钢筋混凝土+大型钢屋架结构。

地下1层:纯水池

1层:超纯水系统、冷冻机室、3t/h备用天然气锅炉

2层:电气室、办公室

包括生产废水处理系统2700m3/d,生活废水处理系统1200 m3/d和回用水处理系统。

废物暂存,委外回收。

危险品、化学药剂和危险废物贮存。

由高新区市政自来水提供水源

雨污分流,雨水收集后排入高新区雨水管网,污水收集后经新建污水处理站处理后排入高新区污水管网。

主要依托芯片项目消防系统,另在组装厂房增设18m3的高位水箱

由新建110KV变电站提供(不在本次环评范围内)

高新区西太路热力中心供应,本项目新建一台3t/h备用天然气锅炉

由高新区西太路天然气调压站供气

分析室酸性废气采用碱液喷淋塔处理后排放

SSD工序粉尘经集尘装置处理后排放

生产废水经物化法处理后过滤,部分排放,部分深度处理后回用,污水处理站由西安市政府建设,建设单位负责设备购置安装和日常运行。处理设计规模为2700 m3/d。

生活污水经生化法处理后过滤,部分排放,部分深度处理后回用,污水处理站由西安市政府建设,建设单位负责运行。处理设计规模为1200 m3/d。

“超滤-反渗透”双膜法工艺。

一般固体废物,委外回收

危险废物,委托有资质的公司处置

生活垃圾由环卫部门统一收集

无机集水池及有机集水池可在污水处理系统故障时作为事故水池使用,容积分别为1323 m3和588 m3

19.91%

一、主体工程

组装厂房

59574

物流

厂房

材料厂房

二、辅助工程

3376

2330

动力站

6486

污水处理2750

附属建筑

废弃物仓库

1228

危险品仓库

740

/

给水工程

排水工程

三、公用工程

消防

供电工程

供热工程

天然气

供应工程

生产废气

处理系统

生产废水

/

处理系统

生活污水

/

处理

/

/

/

/

/

/

/

/

/

/

/

四、环保工回用水处理

/

固体废物

处置

风险防范设施应急救援设施

绿地率

2

三星(中国)半导体有限公司封装测试建设项目环境影响报告书(简本)

表2 主要原辅材料一览表

序号

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

11

12

13

14

15

16

17

18

19

20

21

材料名称

芯片

PCB 集成电路板

控制器

外壳

连接器

粘膜胶带

有源器件

焊线

环氧塑封

锡球

锡膏

助焊剂

劈刀

切刀

包装盒

大箱子

吸湿剂

防湿袋

测湿器

泡沫塑料板

托盘

技术规格

12英寸

PCB 基板

控制芯片

(固体硬盘)用外壳

数据连接器

贴片用胶带

二极管、直流转换器等

金线

硅、环氧树脂

锡球(Sn, Ag, Cu)

锡膏(Sn, Ag, Cu)

环氧树脂

劈刀

刀片

SSD包装盒

纸箱

膨润土

防湿袋

HIC 测湿器

包装泡沫塑料板

包装托盘

电阻、MLCC、INDUCTOR 电容、电感

>95% HCFC141B

(一氟二氯乙烷)

JC-1H

(51~60%,载液;

11~20% 聚环氧乙烷甲基苯丙胺聚合物;11~20%专用混单位

英尺

Kg

1000个

Kg

年消耗量

840000

200000000

75000000

10000000

20000000

7500

125000000

125000000

50000

45000000

500

750

20000

1000

10000000

200000

125000

75000

75000

500000

3500000

存放位置

材料仓库

材料仓库

材料仓库

材料仓库

材料仓库

材料仓库

材料仓库

材料仓库

材料仓库

材料仓库

材料仓库

危险品仓库

材料仓库

材料仓库

材料仓库

材料仓库

材料仓库

材料仓库

材料仓库

材料仓库

材料仓库

用途

封装—贴片

模组组装—网版印刷

模组组装—贴片

模组组装—

装载外壳

模组组装—贴片

封装—贴片

模组组装—贴片

封装—金线焊接

封装—塑封

封装—植锡球

模组组装—网版印刷

封装—植锡球

封装—金线焊接

封装—划片

模组组装—包装

测试—包装

模组组装—包装

测试—包装

测试—包装

测试—包装

模组组装—包装

测试—包装

模组组装—包装

模组组装—贴片

22

23

无源器件

洗剂溶液

L

4.5E+09

60,000

材料仓库

危险品仓库

24

表面活性剂

L 32000

危险品仓库

3

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合物;26~35%聚环氧乙烷)

99%

35%

97%

60%

铝盐聚合物

丙烯酸共聚物

聚合氯化铝

NaOH

95%

/

25

26

27

28

29

30

31

32

33

34

35

36

37

38

39

40

41

42

43

44

丙酮

盐酸

硫酸

硝酸

混凝剂

阴离子聚合物

PAC

苛性钠

硫酸

阳离子聚合物

消泡剂

NaOCl

杀菌剂

防垢剂

分散剂

硫酸氢钠

C-1071

F560S

P-111防腐剂

活性炭

L

Kg

Kg

Kg

L

L

L

L

L

L

L

L

L

L

L

L

L

L

L

t

219

183

37

35

1022000

76650

511000

511000

127750

12775

18250

73000

73000

73000

73000

73000

21900

10950

1460

530

废水站附属栋

危险品仓库 & 废水处理站 附属栋

分析室药品

混凝药剂

絮凝药剂

混凝药剂

调节pH

调节pH

污泥脱水调理剂

去除泡沫

膜清洗

反渗透使用

反渗透使用

反渗透使用

去除氯

非氧化性消毒剂

硅酮类

EC503、IK110

N900

/

/

25% 磷酰胺

1~1.5%氯甲基异噻唑啉

0.2~0.7% 2- 甲基-2H-异噻唑-3-酮

/

表3 产品方案一览表

产品名称

eMMC

SSD

产品规格

16Gb MLC、32Gb MLC、64Gb MLC、128Gb MLC

128GB 双层,14mm×18mm

生产规模(万片/月)

140

170

4

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2 产业政策、相关规划符合性和选址可行性分析

2.1 产业政策和规划符合性分析

本项目属于《产业结构调整指导目录(2011年本)》(修正)中鼓励类第二十八项、信息产业第19条“集成电路设计,线宽0.8微米以下集成电路制造,及球栅阵列封装(BGA)、插针网格阵列封装(PGA)、芯片规模封装(CSP)、多芯片封装(MCM)等先进封装与测试”;属于《外商投资产业指导目录》(2011年本)中鼓励外商投资产业目录中三、制造类第二十一项“通信设备、计算机及其他电子设备制造业”中的“集成电路设计,线宽0.18微米及以下大规模数字集成电路制造,0.8微米及以下模拟、数模集成电路制造,MEMS和化合物半导体集成电路制造及BGA、PGA、CSP、MCM等先进封装与测试”。并根据《国务院关于印发进一步鼓励软件产业和集成电路产业发展若干政策的通知国发〔2011〕4号》,本项目建设符合国家产业政策,是鼓励发展的高科技产业。项目建设符合国家、省、市相关规划要求。

2.2 选址合理性分析

本项目位于综合保税区三星12英寸闪存芯片项目预留地上,用地符合规划用地。本项目为三星闪存芯片的封装测试项目,符合西安高新区三星城园区规划的产业政策。项目基础设施条件和12英寸闪存项目基本一致,供水水源、热源、天然气供给均有所保障。在采取相应环保措施的前提下,建成运营后对评价区的环境质量及周围环境敏感点影响较小,属于环境可接受的范围。本项目的公众参与调查统计结果显示支持率为75%,说明公众对本项目总体持支持态度。因此从环保角度考虑,本项目选址可行。

1

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3 评价标准

3.1评价标准

本次评价采用西安市环境保护局高新技术产业开发区分局批准的评价标准。

3.2 评价工作等级及评价范围

根据项目工程分析、环境污染因素及污染因子识别、环境现状调查、环境风险因子调查结果,确定本项目的各环境要素环境影响评价等级、评价范围见表4。

表4 评价等级及评价范围汇总表

环境要素

大气

地表水

评价工作等级

三级

三级

评价范围

组装厂房中心为圆心,半径2.5km的圆,评价区面积为19.62km2

本项目所在地潏河流域上游500m至下游5km河段,包括排污口所在河流潏河及其最终汇入河流沣河。

地下水流向上游以潏河为界,下游3km、两侧2km范围内,面积约20km2

厂界外1m

厂界外延500m

项目危险品仓库为中心的半径3km范围,评价面积不小于28.3km2

地下水

生态

风险

三级

三级

三级

二级

1

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4 工程分析

本项目运营期各项污染源分析如下:

4.1 废气

本项目建成投产后,正常工况所排放的废气主要包括SSD工序PCB(集成电路板)粉尘、网版印刷有机废气、分析室酸性废气及废水处理站臭气,均为有组织排放。

PCB粉尘废气排放量为22800m3/h,采用集尘装置收集并过滤处理。生产废气经过上述措施处理后,经31m排气筒高空排放,排放的各项污染物均能满足国家标准《大气污染物综合排放标准》(GB 16297-1996)中二级标准限值要求。

网版印刷工段清洗溶剂HCFC-141b的排放量为4.79kg/h。通过排风机抽吸收集,经29m排气筒有组织排放。

分析室酸性废气收集后,经过碱液喷淋塔洗涤吸收,净化后气体经31m排气筒排入大气。处理后酸性气体排放可达到GB16297-1996《大气污染物综合排放标准》中的二级标准要求。

废水处理站臭气集中收集,经活性炭装置处理后排放,臭气排放浓度满足《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)中相关标准限值要求。

非正常工况废气:本项目锅炉为市政供暖故障时的备用锅炉,锅炉烟气的排放属于非正常工况排放。锅炉采用天然气为清洁能源,所排放的污染物NOx、SO2、烟尘的浓度均满足国家标准《锅炉大气污染物排放标准》(GB13270-2001)中工业锅炉相关标准限值要求。

4.2 废水

生产废水:包括生产线冷却废水、超纯水制备系统浓水、动力设备冷却循环水系统排水,属于无机废水,产生量为1862m3/d,采用混凝沉淀法处理后进行过滤,处理达标后部分回用,部分外排。

生活污水:产生量127.8m3/d,主要为职工生活污水。采用生化法处理后进行过滤,处理达标后部分回用,部分外排。

生产废水及生活污水经过以上处理措施处理后,部分回用,所排放废水中的污染物指标满足国家标准《污水综合排放标准》(GB8978-1996)中二级标准及《黄河流域(陕西段)污水综合排放标准》(DB61-224-2011)中的二级标准限值要求,由厂区废水总排口排入高新区市政污水管网,最终进入高新区第二污水处理厂。

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4.3 噪声

本项目噪声源主要有冷冻机组、空气压缩机、风机、水泵等动力设备,通过采取合理布局及相应的隔声、减震、消声、吸声等治理措施,厂界处噪声排放满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中的3类标准要求。

4.4 固体废物

本项目固体废物产生总量为1421.93t/a。其中,一般工业固废产生量519.3t/a,污水站污泥委托外运处置,其余一般固废由物资回收公司回收;危险废物产生量632.53t/a,由有资质的危险废物处理单位统一处置;生活垃圾产生量270.1t/a,由环卫部门统一处理。

项目主要污染源汇总见表5。

表5 三废排放量表

类别

序号

1

2

废气

3

4

5

6

1

2

废水

3

4

5

1

固废

2

3

4

污染物名称

废气量

(×104m3/a)

粉尘

硫化氢

非甲烷总烃

酸雾

废水量(×104m3/a)

SS

化学需氧量(COD)

BOD5

氨氮

总计

一般固废

危险废物

生活垃圾

产生量

(t/a)

70570.56

13.98

0.00315

0.735

41.94

0.02

72.62

159.8

26.5

13.4

1.16

1421.93

519.3

632.53

270.1

削减量

(t/a)

0

12.582

0.00252

0.588

0

0.016

32.54

156.84

17.69

7.4

0.38

1421.93

519.3

632.53

270.1

排放量

(t/a)

70570.56

1.398

0.00063

0.147

41.94

0.004

40.08

2.96

8.81

6.0

0.78

0

0

0

0

3

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5 环境质量现状

本次环评环境质量现状数据均引用《三星(中国)半导体有限公司12英寸闪存芯片项目环境影响报告书》中由陕西省环境监测中心站于2012年对拟建地周边环境进行的监测数据。监测点位见图2。

5.1 环境空气质量现状

对大气评价范围内的项目拟建地、北兆元坡和河头村的环境空气质量进行监测。监测项目为SO2、NO2、CO、PM10、TSP、NH3、非甲烷总烃。

各监测点位SO2小时浓度最大浓度占标率为20.0%,日均值浓度最大浓度占标率为5.3%;NO2小时浓度最大浓度占标率为36.5%,日均值浓度最大浓度占标率为5%;CO小时浓度最大浓度占标率为7.0%;PM10日均值浓度最大浓度占标率为93.3%;TSP日均值浓度最大浓度占标率为96.7%,均符合《环境空气质量标准》(GB3095-2012)二级标准要求。各监测点位氨小时浓度范围最大浓度占标率为45%,均符合《工业企业设计卫生标准》(TJ36-79)居住区大气中有害物质的最高容许浓度要求。各监测点位非甲烷总烃小时浓度最大浓度占标率为1.8%,符合以色列相关标准要求。

5.2地表水环境质量现状

本项目拟建地位于金沙河入潏河处北侧500m,潏河入沣河口上游3km。共在金沙河、潏河和沣河设6个监测断面。监测项目为pH、DO、高锰酸盐指数、COD、BOD5、氨氮、总磷、石油类、阴离子表面活性剂、氟化物、氯化物、硫酸盐、硝酸盐、Cu、Zn、As、Pb、Cr6+,同步监测流量流速、水深、水温。

监测的18个水质指标中,高锰酸盐指数、阴离子表面活性剂、氟化物、氯化物、硫酸盐、硝酸盐、Cu、Zn、Pb、Cr6+共10项指标在各监测断面均未出现相应水质超标现象;而pH、DO、化学需氧量、五日生化需氧量、氨氮、总磷、石油类、As 共8项水质指标在不同断面出现了不同程度的超标。

其中氨氮、总磷、石油类三个指标在6个断面均出现超标,氨氮、总磷超标率均为100%,最大超标倍数分别为5.403倍和0.460倍;石油类在2#断面和5#超标率为67%,其他断面均为100%,最大超标倍数为0.27倍,出现在4#断面。

pH在3#断面超标,水质呈微碱性,超标率100%,最大超标倍数0.1。DO在1#、3#、4#、5#断面出现超标,超标率均为100%,最大超标标准指数分别为1.15、0.29、1.22、0.97。COD在1#、2#、3#断面出现超标,超标率分别为33.3%、100%和33.3%,

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最大超标倍数分别为0.1倍、0.4倍、0.1倍;五日生化需氧量在2#断面出现超标,超标率为66.67%,超标倍数为0.65倍。As在1#断面出现超标,超标率为66.67%,超标倍数为0.08倍。

拟建项目周边河流水域水质主要呈有机性污染。分析水质超标原因主要为上游生活污水排放和工业废水排放所致。

5.3地下水环境质量现状

对项目拟建地附近的张牛村、堰渡村和童家寨村3个监测点位进行了地下水监测。

监测项目为pH、总硬度、硫酸盐、氯化物、高锰酸盐指数、硝酸盐、亚硝酸盐、氨氮、氟化物、溶解性总固体、阴离子表面活性剂、Cu、Zn、As、Pb、Cr6+、Cd、铁、锰、总磷共20项,均符合《地下水质量标准》(GB/T 14848-93)Ⅲ类标准。

5.4声环境质量现状

噪声监测结果表明,厂界四周环境噪声昼夜间均符合《声环境质量标准》(GB3096-2008)3类标准要求。

5.5土壤环境质量现状

在拟建项目场地和迪村设置两个土壤监测点,监测项目为pH、铅、镉、汞、砷、铜、铬、锌、镍、氟化物共10项,监测结果均符合GB15618-1995《土壤环境质量标准》中二级标准。

5.6 敏感保护目标

项目主厂区周边3km范围内的主要环境保护对象及其保护目标见表6及图3。

表6 评价区内主要环境保护对象及其保护目标

环境要素

环境敏感保护目标

区/县

镇 村

张牛村

环境空气

长安区

兴隆街道

高桥

河头

黄家坡

晓阳村

兆元村

东甘河

堰渡村

相对

方位

西南

西南

东北

东北

相对距离(m)

1352

2042

1700

1285

1200

1100

2800

2500

人数 户数

710

270

254

410

730

1755

2486

2730

175

60

1010

105

190

449

613

762

备注

《环境空气质量标准》(GB3095-2012)

环境保护目标

5

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环境要素

环境敏感保护目标

区/县

镇 村

和迪村

龙王河

王通寨

五星乡

郭吕堡

晋家堡

江村

共同村

侯家堡

江村初中

地表水

地下水

声环境

生态环境

潏河

沣河

相对

方位

西南

西南

东南

西侧

相对距离(m)

2900

1500

2104

1800

2166

2330

2469

2560

2396

0.3km

地表水质

4km

人数 户数

1060 4269

126

1620

986

791

1604

974

380

489

360

251

218

376

233

1554

备注

《地表水环境质量标准》GB3838-2002Ⅲ类

《地下水质量标准》GB/T14848-93Ⅲ类

《工业企业厂界环境噪声排放标准》3类

《土壤环境质量标准》GB15618-1995旱作区二级标准

环境保护目标

304

地下水流向上游以潏河为界,下游3km、两侧2km范围内,面积约20km2

厂界外200m内 建成后无声环境敏感点

厂区外延500m区域 生态环境

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6 施工期环境保护措施及主要环境影响

6.1 环境空气

6.1.1污染防治措施

要求建设单位加强施工过程中施工区管理,施工区四周采用简易围屏;建筑材料的堆场以及混凝土拌合处应定点定位,并采取防尘抑尘措施;对散料和场内堆存的土方堆场采用水喷淋防尘,或用蓬布遮盖散料堆;散装水泥罐下部出口处设置防尘袋,以防水泥散逸;装修粉刷的涂料应使用污染相对较小的环保型涂料。加强运输管理,运输车进出的主干道应定期洒水清扫,保持车辆出入口路面清洁、湿润,并尽量减缓行驶车速,以减少施工车辆引起的地面扬尘污染;散货车不得超高超载,以免车辆颠簸物料洒出;运输车辆卸完货后应清洗车厢;工作车辆及运输车辆在离开施工区时冲洗轮胎,检查装车质量;施工场地每天定期洒水,防止浮尘产生,在大风日加大洒水量及洒水次数;运输车辆应密闭运输,严防沿途道路遗撒,进入施工场地应低速或限速行驶,以减少产尘量;加强对机械、车辆的维修保养,禁止以柴油为燃料的施工机械超负荷工作,减少烟度和颗粒物排放。

6.1.2 主要环境影响

建设单位在采取以上环评提出的措施后,环境空气影响可得到有效控制,且其影响随施工过程的结束而结束,对周边环境影响较小。

6.2噪声

6.2.1 污染防治措施

要求建设单位合理安排高噪声施工作业的时间, 22点至次日凌晨6点禁止高噪声机械作业;对工地周围设立围护屏障,同时可在高噪声设备附近加设可移动的简易隔声屏;在工地布置时应考虑搅拌机等高噪声设备安置在离敏感点相对较远的一侧,运输车辆的进出口也建议安排在该侧,并规定进、出路线,使行驶道路保持平坦,减少车辆的颠簸噪声和产生振动;加强施工区附近交通管理,避免交通堵塞而增加的车辆鸣号,尽可能减少施工对周围地区声环境的影响。

6.2.2主要环境影响

施工现场的噪声严格执行《建筑施工场界环境噪声排放标准》(GB12523-2011)的要求,加强管理,文明施工。在采取上述措施后,项目施工期声环境影响可得到有效控

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制,施工期的噪声影响是短期的、项目建成后,施工期噪声的影响也就此结束。

6.3水环境

6.3.1污染防治措施

项目在施工高峰期生活污水产生量为16t/d,生活污水中主要污染物为CODCr、BOD5和SS等。

要求项目施工期生产废水设置沉淀池,废水经处理后循环使用;设置化粪池处理生活污水,处理达标后用于绿化洒水,禁止直接外排。施工期废水不得直接外排。

6.3.2主要环境影响

正常情况下,施工期废水全部回用不外排,不会影响地表水环境。

6.4固体废物

6.4.1污染防治措施

项目施工期的挖方量为402787m3,填方量为265246m3,堆积土方量为137541m3(堆存于厂区预留工业场地,用于后期项目建设),弃方量为0。

施工过程产生的建筑垃圾量为20000t。生活垃圾产生量66t/a。

要求项目渣土尽量在场内周转,就地用于绿化、道路等生态景观建设,不得倾倒建筑垃圾,必须外运的弃土以及建筑废料应运至西安市指定的建筑垃圾堆放场;设置临时堆场,及时清运工程产生的固体废弃物应;加强生活垃圾管理,采用垃圾桶收集;生活垃圾应及时交环卫部门清运,统一处置,施工单位与接纳单位签订环境卫生责任书,禁止用于施工回填。确保运输过程中保持路面整洁,施工单位应有专人负责,对渣土垃圾的处置实施现场管理;在工程竣工以后,施工单位应同时拆除各种临时施工设施,并负责将工地的剩余建筑垃圾、工程渣土处理干净,做到“工完、料尽、场地清”。

6.4.2主要环境影响

在采取上述措施后,施工期固体废物全部得到合理处理处置,对周围环境影响较小。

6.5生态环境

项目在原厂区东侧预留用地内,建成后通过绿化,区域植被状况将会得到恢复,绿化率达到约20%。施工结束后场地经过平整,进行绿化,植被破坏影响能够得到有效治理,影响较小。

8

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7 运营期环境保护措施及主要环境影响

7.1环境空气

7.1.1污染防治措施

根据生产工艺和辅助设施分析,本项目建成投产后,正常工况所排放的废气主要包括SSD工序PCB(集成电路板)粉尘、网版印刷有机废气、分析室酸性废气及废水处理站臭气,均为有组织排放。

SSD生产线内PCB基板被旋转切割时产生的PCB粉尘,产生浓度为70mg/m3,主要成分为有机颗粒、Cu、Ni、Au,产生浓度分别为60 mg/m3、7.7mg/m3、0.03 mg/m3、0.0000014 mg/m3。PCB粉尘经负压集尘装置收集,该集尘装置由送风机、控制器、过滤器、旋转器、收尘罐构成。共设6组集尘器,由6个支管输送至排风总管,经0.3μm滤芯过滤后,净化气体通过31m排气筒排放,过滤截留的PCB粉尘用收尘罐收集,交有资质单位处置。集尘装置对PCB粉尘的处理效率可达90%,处理后粉尘排放浓度为7

mg/m3,其中有机颗粒物、Cu、Ni、Au的排放浓度分别为6mg/m3、0.77mg/m3、0.003mg/m3、0.00000014 mg/m3。符合《大气污染物综合排放标准》(GB16297-199)中的二级标准要求。

网版印刷工段的清洗溶剂HCFC-141b在使用过程中,挥发作用造成HCFC-141b废气进入大气。清洗溶剂HCFC-141b使用量为60m3/a(密度为1.227g/cm3),折合73.62t/a,其中13.6t/a以废液形态排放,18.08t/a进入清洗棉纱,挥发量约为41.94t/a(4.79kg/h)。通过排风机抽吸收集,经29m排气筒有组织排放。

分析室中酸类化学品每天的用量分别为盐酸704g,硫酸142g,硝酸134g。其挥发性按照10%,1%和5%进行计算,抽风机通风量按5160m3/h计,则酸性气体中氯化氢、硫酸雾、氮氧化物的产生浓度分别为1.70mg/m3、0.03mg/m3、0.16mg/m3。酸性废气收集后,送入设置在楼顶的碱液喷淋塔,经过25%氢氧化钠溶液洗涤吸收,净化后气体经过31m排气筒排入大气。该系统对废气中硫酸雾、氮氧化物、氯化氢等的吸收效率在70%~90%,处理后酸性气体排放可达到《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)中的二级标准要求。碱液吸收产生的少量碱性废水送至超纯水制备系统的中和水池调节pH后,进入生产废水处理单元。

项目自建废水处理站含有生物处理工艺,废水生物处理过程中有机物腐败产生臭味,主要污染物为氨(NH3)、硫化氢(H2S)和臭气浓度。生物处理构筑物设排风系统,

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废气集中并经活性炭处理装置处理后,经排气筒高空排放,排气筒高度为23.2m。处理后废水站臭气排放浓度满足《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)中相关标准限值要求。

7.1.2主要环境影响

(1)正常工况

根据预测结果,本项目污染源排放的粉尘最大落地浓度占标率0.45%;NH3最大落地浓度占标率0.13%;H2S最大落地浓度占标率0.01%;NMHC最大落地浓度占标率1.12%。

(2)非正常工况

本项目非正常工况大气污染预测选择供热不正常时,燃气锅炉启用的情况下烟气排放的环境影响。项目大气污染源非正常排放时,排放的各污染物最大落地浓度较低,可以满足《环境空气质量标准》(GB3095-2012)二级标准要求。

7.2地表水环境

7.2.1污染防治措施

项目设废水处理站1座,置于厂区北侧,废水处理站内设有3套水处理系统,其中无机废水处理系统1套,有机废水处理系统1套,回用水处理系统1套。

项目生产废水主要来自生产过程冷却废水、超纯水制备系统的浓水、动力设备冷却水系统排水,整体水质较好,主要为悬浮物污染。采取混凝沉淀措施处理,选用高效的絮凝剂、助凝剂,可有效的提高处理效率,再经过后续砂滤与活性炭过滤处理,能够保证废水达标排放。

项目生活污水经有机集水池收集后,进入传统活性污泥曝气池,出水再经砂滤和活性炭过滤后,能够满足《污水综合排放标准》(GB8978-1996)中二级标准限值要求。

生产废水和生活污水分别经过前段处理汇集后,经过“砂滤+活性炭过滤”后处理工艺,部分废水达标排放,另一部分进入“超滤→反渗透”系统,产生891m3/d的淡水,但该部分出水水质依然不能满足工艺用水指标,需与837m3/d的原水汇合后,一起进入超纯水制备系统,进一步净化后用于生产线工艺用水。

超滤及反渗透系统产生的浓水(420m3/d),COD浓度为69mg/L,BOD5浓度为47mg/L,SS浓度为23mg/L,氨氮浓度为6mg/L,主要污染物浓度不能全部满足《污水综合排放标准》(GB8978-1996)中二级标准限值,回流至有机集水池进行再次处理、循

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环。

7.2.2主要环境影响

本项目废水产生量共计1989.8m3/d,其中生产废水产生量为1862m3/d,主要污染物为SS和COD,为无机废水,经无机集水池排入厂区污水处理站经物化法处理;生活污水产生量为127.8m3/d,主要污染物为COD、BOD5、SS、氨氮,为有机废水,经有机集水池汇入厂区污水处理站的生化处理池处理;最终两类废水汇集并经过过滤后处理,一部分经过超滤-反渗透处理后作为超纯水制备系统的原水回用,剩余部分排入厂区总排放口,排放量1098.18m3/d,排入高新区市政污水管网,最终进入高新区第二污水处理厂。根据《西安市高新区第二污水处理厂工程项目建议书》,第二污水处理厂设计生产规模为一期5万吨/天,二期20万吨/天,足以满足本项目的废水处理要求。高新区第二污水厂计划于2013年建成,目前尚在建设中。环评建议高新区第二污水处理厂应先于本项目投入运行,确保本项目建成后的污水去向。

7.3地下水环境

厂区划分为重点污染防治区和一般污染防治区,对于裸露于地面的生产功能单元,将其划分为一般污染防治区,并参照《一般工业固体废弃物贮存、处置场所污染物控制标准》(GB18599-2001)Ⅱ类场地进行地面防渗设计。对于位于地下或者半地下的生产功能单元,发生物料泄漏后不容易及时被发现和处理的区域或部位,将其划分为重点污染防治区。危险品仓库、废水处理站、废水处理站附属建筑物、废弃物仓库按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2001)进行防渗设计。

正常情况下,本项目各生产车间废水通过密闭管网收集后进入污水处理厂处理后回用或排入污水管网,不会对地下水产生影响。生产车间、污水处理站、危险品仓库、废弃物仓库等采取防渗防漏措施后,不会对所在区域地下水产生影响。

7.4声环境

7.4.1污染防治措施

本项目首先选用低噪声设备,然后再针对冷却塔、冷冻机组、真空泵、新风机组、风机、水泵等不同的噪声污染源采取隔声、减振、消声等措施来实现噪声达标排放。

7.4.2主要环境影响

环评预测,项目建成后厂界噪声贡献值昼、夜间全部满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB 12348-2008)对应的3类区标准限值。

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7.5固体废物

本项目建成投产后废弃物产生量1421.93t/a,其中:一般工业固体废物519.3t/a,均委外回收或外运;危险废物632.53t/a,其中化学药品空瓶、锡球、锡膏、PCB碎片及粉尘、废环氧树脂等(合计65.93t/a)交由有资质的单位处置,丝网印刷废液、废清洗棉纱(合计36.6t/a)委外综合利用,废活性炭530t/a由厂家回收;生活垃圾270.1t/a,由环卫部门统一处理。在采取处理固体废物的同时,切实加强对固体废物的管理,严格遵循危险废物贮存、运输、处置中的一系列操作规程。通过上述处置措施,本项目各种固体废物去向明确,不会产生二次污染。

项目具体防渗区域及部位参考《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2001)与《一般工业固体废弃物贮存、处置场所污染物控制标准》(GB18599-2001)的相关规定,在室内堆放,做到防风、防雨、防晒;不同种类的危险废物分开存放,设有隔断;贮存站地面应设防渗措施;危险废物储存间四周设渗液收集槽等。在按照规范采取合理可行的措施后,工程固体废物处理、处置率达到100%,对环境产生影响较小。

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8环境风险评价

本项目所涉及化学品有一氟二氯乙烷、丙酮、盐酸、硫酸等,根据《危险化学品重大危险源辨识》(GB 18218-2009),其均未构成重大危险源。项目选取一氟二氯乙烷为评价因子,涉及的危险单元为危险品仓库。环境风险事故主要为一氟二氯乙烷发生泄漏事故,环评分析后认为项目环境风险可控,并在可接受的范围内。

另外,项目无机集水池设计容积为1323m3 ,有机集水池设计容积为588m3,在正常运行情况下,水量可达到池子约40%的容量,无机集水池尚有793.8m3的剩余池容,有机集水池有352.8m3的剩余池容,可以容纳10.2 h和66.25 h的生产废水和生活废水,可用于事故或非正常工况排水收集,可以保证事故情况下不向外环境直接排放污水。

根据本项目的实际情况,评价要求企业将本项目纳入全厂环境事件应急预案中,并根据本项目风险源进一步完善应急预案,项目运行前环境风险应急处置预案及防范措施必须经专家论证认。应急预案应在生产过程安全管理中具体化和进一步完善。

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9公众参与

项目按照《环境影响评价公众参与暂行办法》进行了公示和公众意见调查,本次公众意见调查采用网站公示、报纸公示和调查表的方式进行。

评价单位协助建设单位于2013年9月13日于“西安高新区电子政务网

(/?urltype=ntentUrl&wbtreeid=12324&wbnewsid=102153)”进行了环境影响第一次信息公示。公告内容主要包括:建设项目概况、建设单位及环评机构联系方式、环境影响评价的程序和工作内容,征求公众意见的主要事项等。

报告书初稿编制基本完成后,为进一步收集和征求公众意见,评价单位协助建设单位于2013年9月28日在“西安高新区电子政务网(/?urltype=ntentUrl&wbtreeid=12324&wbnewsid=102355)”及“三秦都市报” 进行了第二次信息公示。公示内容包括:建设项目概况、可能造成的环境影响概述、预防或者减轻不良环境影响的对策和措施、报告书评价结论、公众查阅环境影响报告书简本的方式和期限、征求公众意见的范围、主要事项、具体形式及期限、联系方式等。

在网站公示和报纸公示期间,建设单位及评价单位未收到有关咨询该项目的公众来电及来信。

进行两次公示后,在公众知悉项目基本情况的前提下,开展本项目的公众意见调查。本次调查采用抽样调查方式,选择有代表性的群众进行调查。本次调查共发放调查问卷100份,共收回有效答卷100份。回收的公众意见调查表统计结果显示,71人同意本工程建设,25人表示无所谓,4人不同意本工程建设。提出反对意见的公众担心项目建成后会对周围环境造成较大影响,还有当地水环境质量差。环境影响评价单位对不同意人员进行了回访,在回访中,评价单位工作人员向公众解释了项目产污环节的具体治理措施,污染物可达标排放,在此前提下4名公众持同意的态度,支持项目建设。

根据回访结果此次公众意见征询结果为:75位被调查者同意本项目建设,25位被调查者表示无所谓。从统计的公众对项目所持态度调查结果表明,广大民众的环保意识日益增强,对项目建成后的污染问题予以了高度重视,这就要求建设方在今后的环保工作中必须落实切实有效的污染防治措施,确保当地环境质量,做到环境与经济持续协调发展。建设单位对公众意见出具了采纳说明。

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三星(中国)半导体有限公司封装测试建设项目环境影响报告书(简本)

该项目公众参与采取了两次网路公示、一次报纸公式和现场公众参与问卷调查的方式。公众参与调查表共发放100份,具有代表性、有效性和真实性,能够表现当地附近居民对于项目的基本态度。

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三星(中国)半导体有限公司封装测试建设项目环境影响报告书(简本)

10环境监测计划与竣工验收清单

运营期监测内容包括常规监测和事故监测两部分,常规监测中含环境质量监测和污染物排放监测。

①常规监测

营运期的环境质量监测参照《三星(中国)半导体有限公司12英寸闪存芯片项目环境影响报告书》监测计划,封装测试项目运营后执行原监测计划,见表7。另外本项目污染源监测计划见表8。

表7 环境质量监测计划

环境要素 监测点位

拟建场地上游500m(潏河)

监测项目 监测频次

pH、DO、高锰酸盐指数、化学需氧量、五日生化需氧排污口下游500m(潏河)

量、氨氮、总磷、石油类、潏河入沣河上游500m(沣河)

阴离子表面活性剂、氟化物、氯化物、硫酸盐、硝酸潏河入沣河下上游1000m(沣河)

盐、Cu、Zn、As、Pb、Cr6+

SO2、NO2、PM10、TSP、本项目厂区、西安电子科技大学、CO、氟化物、氯化氢、氯北兆元坡、河头村、和迪村和北安气、NH3、非甲烷总烃、二根据当地环保丰

噁英

pH、总硬度、硫酸盐、氯化部门的要求定物、高锰酸盐指数、硝酸盐、期监测

亚硝酸盐、氨氮、氟化物、评价范围内5处居民井水(包括潜溶解性总固体、阴离子表面水层和承压水层)

活性剂、Cu、Zn、As、Pb、+Cr6、Cd、铁、锰、总磷、水位、水温

pH、铅、镉、汞、砷、铜、项目拟建地、和迪村

铬、锌、镍、氟化物、硼

北安丰、北兆元坡、东甘河村农田pH、铅、镉、汞、砷、铜、植被 铬、锌、镍、氟化物、硼

地表水

环境空气

地下水

土壤

植物

表8 污染物排放监测计划

类别

监测位置

无机废水处理系统排口

有机废水处理系统排口

废回用水处理系统排口

三星总厂废水总排口

集尘装置

废碱液喷淋塔

网版印刷工段排气筒

测点数

1

1

1

1

1

1

1

监测项目

SS、COD

COD、BOD5、SS、氨氮

pH、氨氮、COD、BOD

5、SS

流量、pH、SS、COD、BOD5、动植物油、氨氮、氟化物、磷酸盐、铜

TSP、Cu、Ni、Au

酸雾

非甲烷总烃

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监测频率

项目排口设自动在线监测系统

原闪存芯片项目已经提出

集尘装置出口设自动在线监测,对TSP进

三星(中国)半导体有限公司封装测试建设项目环境影响报告书(简本)

废水处理站臭气

锅炉废气

噪三星总厂界外1m

1

1

氨、硫化氢、臭气浓度

NOx、SO2、烟尘

行监测;其他根据当地环保部门的要求定期监测

原闪存芯片项目已经提出

4

厂界噪声

项目运行过程中将分散的生活垃圾和工业固体废物、废液按一般固体废物和危险废物分类贮固存,特别做好危险废物外运处置的运输登记,认真填写危险废物转移联单。对产生的固体废物废

总量进行分类统计、记录、存档。

②事故监测

除了进行常规监测外,对企业环保处理设施运行情况要严格监视,及时监测,当发现环保处理设施发生故障或运行不正常时,应及时向上级报告,并必须及时进行取样监测,分析污染物排放量,对事故发生的原因、事故造成的后果和损失等进行调查统计,并建档上报。必要时应提出暂时停产措施,直至环保设施恢复正常运转,坚决杜绝事故性排放。

竣工环境保护验收一览表见表9。

表9 环境保护“三同时”竣工验收内容一览表

治理措施类别

环保工程主要内容

无机废水处理系统

废水治理措施

有机废水处理系统

治理

措施

混凝沉淀+砂滤+活性炭过滤

活性污泥法+砂滤+活性炭过滤

执行标准

《污水综合排放标准》(GB8978-1996)中二级标准

《黄河流域(陕西段)污水综合排放标准回用水处理系统 超滤(UF)+反渗透(RO)

(DB61-224-2011)中的二级标准

分析室酸性废气处理系统

PCB粉尘集尘处理系统

网版印刷工段

废气治理措施

碱液喷淋塔处理

集尘装置收集并过滤处理

排气筒排放

集中处理

活性炭吸附装置

《大气污染物综合排放标准》(GB

16297-1996)中二级标准限值

《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)中相关标准限值

《锅炉大气污染物排放标准》(GB13270-2001)中工业锅炉相关标准限值

《工业企业厂界环境噪声排放标准》废水站臭气处理系统

锅炉废气 烟囱高空排放

噪声

治理措施

废气处理风机、新风机组

选用低噪声设备、设备基础加减振垫、进出口采用软连17

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治理措施类别

环保工程主要内容

治理

措施

执行标准

(GB12348-2008)中的3类标准

接并加装消声器、加装隔声罩;建筑隔声、加隔音板;设备基础加减振垫、风机进出口采用软连接并加装消声器

冷却塔、冷冻机组、冷冻水泵、设备基础加减振垫、选用低冷却水泵、蒸汽锅炉、锅炉给水噪声设备、排污口增加消声泵、工艺真空泵、工艺冷却水泵 装置

建筑隔声、四周加隔音板;设备基础加减振垫、风机进水泵、风机

出口采用软连接并加装消声器

废弃物仓库

固体废物处置措施

危险品仓库

生活垃圾分类收集设施

绿化 厂区、道路两侧

分类暂存、

防渗、防风、防雨、防晒

分类暂存、

防渗、防风、防雨、防晒

集中收集

/

《一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准》

《危险废物贮存污染控制标准》

《生活垃圾填埋污染控制标准》

绿地率20%

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三星(中国)半导体有限公司封装测试建设项目环境影响报告书(简本)

11 清洁生产及总量控制建议指标

11.1 清洁生产

本项目通过选择国际先进的生产工艺,在原辅材料选用、回收利用、污染物治理及管理等方面采取合理可行的清洁生产措施,有效地预防和控制污染,降低能耗、物耗、水耗,减少污染物的排放,较好地实现清洁生产,符合清洁生产要求。

环评要求项目工艺技术水平、污染物排放指标(浓度及排放速率)不得低于引进国水平。

11.2 总量指标

本项目需要核算总量的污染物为化学需氧量和氨氮。环评计算COD排放量8.81t/a,氨氮排放量0.78t/a,建议污染物总量指标为:COD 9t/a、氨氮1t/a。

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三星(中国)半导体有限公司封装测试建设项目环境影响报告书(简本)

12 总结论

三星(中国)半导体有限公司封装测试项目符合国家产业政策,选址符合地区发展规划;采用了国际先进的生产工艺技术;同时采取有效的污染防治措施,能够实现污染物达标排放;满足污染物总量控制要求。在落实本报告提出的各项环保措施和风险防范措施的情况下,从环境保护角度分析,本项目建设可行。

13 要求与建议

(1)本项目实施时,在采取本报告提出的各项治理措施基础上,应不断优化可研、初步设计等方案设计,采取先进技术,尽最大可的降低能耗、物耗,同时减少污染物排放。

(2)建议本项目进一步降低能耗,能源资源利用水平不得低于引进国水平。

(3)建议本项目定期开展清洁生产审核,将清洁生产的各项措施落实到生产的全过程,并持续推行清洁生产,成为本行业清洁生产领先企业。本项目工艺技术水平、污染物排放指标(浓度及排放速率)不得低于引进国水平。

(4)项目在试生产期间,对污水处理站污泥进行危险废物的鉴定。如果为危险废物,应严格按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2001)和国务院令第344号《危险化学品安全管理条例》的有关规定进行管理。

(5)本项目网版印刷工段的清洗溶剂HCFC-141b属于《中国受控消耗臭氧层物质清单》中的物质,要求建设单位按照中华人民共和国国务院令第573号《消耗臭氧层物质管理条例》、环境保护部《关于加强含氢氯氟烃生产、销售和使用管理的通知》(环函【2013】179号)的办法进行使用和管理,并尽快研发该化学药品的替代物质。

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三星(中国)半导体有限公司封装测试建设项目环境影响报告书(简本)

14 联系方式

14.1建设单位联系人

建设单位名称:三星(中国)半导体有限公司

联 系 人:文科长

联系电话:

14.2 环评单位联系人

评价单位名称:陕西中圣环境科技发展有限公司

地 址:陕西省西安市西影路106号环保大厦

邮 编:029-710054

联 系 人:李女士

联系电话:

邮 箱:hkyhps@

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