2024年3月11日发(作者：姚雅昶)
专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE
MANUFACTURING METHOD
发明人：MARCO COELHO STAUFEN,マルコ コエルト
シュタフェンガ,JACOBS JOHANNES
HENRICUS WILHELMUS,ヨハネス ヘンリクス
ヴィルヘルムス ヤコブス,JANSEN HANS,ハンス
ヤンセン,VERHAGEN MARTINUS CORNELIS
MARIA,マルティヌス コーネリス マリア フェル
ハーゲン
申请号：JP2012083578
申请日：20120402
公开号：JP2012147015A
公开日：20120802
专利附图：
摘要：Array
申请人：ASML NETHERLANDS BV,エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ．
地址：オランダ国 ヴェルトホーフェン ５５０４ ディー アール，デ ラン ６５０１
国籍：NL
代理人：森下 賢樹
更多信息请下载全文后查看
2024年3月11日发(作者：姚雅昶)
专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE
MANUFACTURING METHOD
发明人：MARCO COELHO STAUFEN,マルコ コエルト
シュタフェンガ,JACOBS JOHANNES
HENRICUS WILHELMUS,ヨハネス ヘンリクス
ヴィルヘルムス ヤコブス,JANSEN HANS,ハンス
ヤンセン,VERHAGEN MARTINUS CORNELIS
MARIA,マルティヌス コーネリス マリア フェル
ハーゲン
申请号：JP2012083578
申请日：20120402
公开号：JP2012147015A
公开日：20120802
专利附图：
摘要：Array
申请人：ASML NETHERLANDS BV,エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ．
地址：オランダ国 ヴェルトホーフェン ５５０４ ディー アール，デ ラン ６５０１
国籍：NL
代理人：森下 賢樹
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