2024年3月22日发(作者：项香巧)
ND-10E210E DUAL/M20D精度校正手顺
1． 校正前作业
S/P AIR 调整0.58~0.610kgf/cm2
安装ND-10L（MAINTE）
N504 0000 0000
N134 X 15000. Y1 15000. Y2 15000
重新开机进入MAINTE
2．X．Y轴CHECK MASTER 校正
（1）先作X轴（中间）在补正後，左右在确认其数据是否符合标准。
（2）再作Y1，Y2轴。其补正後精度须在2u内。
（3）参数位置：X轴N304，Y1轴N305，Y2轴N318。
3．Z轴原点调整（同MARK-20D）
4．S/P高度调整（同MARK-20D）
5．S/P Run Out确认（须在10u内）
6．S/P￠200调整
（1）移桌面于中心位置，架设百分表，先量测单数轴再量测双数轴，其范围±50u内。
（2）若无则放松S/P铜柱螺帽再锁紧，若无效则轴间距调整，再确认精度。
7．X，Y轴原点
（1）量测坐标 S/P5 X630.0 Y285.0，S/P6X630.0 Y85.0（PIN孔）
（2）以千分表量测，将数据记下，更改N85。（其计算方式如下）
（3）补正後数据，标准值±10u内，最佳±6u内。
8．Alignment调整
（1）以单数轴调整 坐标为X630.0 Y285.0。
（2）调整後数据应在±2u内。
9．轴间距调整
（1）N733 0，DISK mode
（2）执行 空跑 1 hr後在校正，间隔半小时须空跑半小时。
（3）校正方法-单双数轴夹测试PIN，PARK坐标同原点坐标。
（4）移动桌面至工作位置後，放置测定器且将电源打开。
(5)输入M88；指令，依屏幕指示方法作业（单数轴下降至测定位置时规零），记录最大及
最小值。
（6）再押PARK，将双数轴移动至测定位置，同上步骤坐标（双数轴若超过±10u），则X
轴调整S/P环，Y轴调整鞍部，记录最大及最小值，填入表格计算後标准值须在±10u内。
（7）调整後再测定以作确认（此项作业客户须每周测量，若超过±10u需调整）。
10．CCD测针调整
（1）测高度时使用高度PIN（20.32mm）,测针则使用0.25 0.3…。
（2）单数轴用MAINTE 执行及可得知测量高度(须记录).
(3)更改N282 X700000, N286 X875500, N283 Z1～ZA-67000, N612 S0 681000 S1
150000(双数轴测针位置)
(4)移动至测针位置後,以手动方式下降来作调整,观看Diagnosis N595 显示出数字时,记
录其数据,将所得知数据输入至N648 Z1～ZA,把平均值±300输入N645, N618 S2, S3.
(5)测径结果数据显示于 N181～N186, N150～N153.
位置调整
(1)单数轴X581.0 Y215.5, 双数轴X581.0 Y290.5.
(2)以百分表量测,其调整後精度须在±50u内.
12.参数修改,备份
(1)将参数恢复原设定值.
(2)N264 S26 20937120, S27 20947130.
(3)N504 00010010(依客户加工条件而不同).
(4)N628 4000.
(5)N676 30000002.
(6)N715 S0, S2 630000.0 S1, S3 285000.0.
(7)系统片备份.
2024年3月22日发(作者：项香巧)
ND-10E210E DUAL/M20D精度校正手顺
1． 校正前作业
S/P AIR 调整0.58~0.610kgf/cm2
安装ND-10L（MAINTE）
N504 0000 0000
N134 X 15000. Y1 15000. Y2 15000
重新开机进入MAINTE
2．X．Y轴CHECK MASTER 校正
（1）先作X轴（中间）在补正後，左右在确认其数据是否符合标准。
（2）再作Y1，Y2轴。其补正後精度须在2u内。
（3）参数位置：X轴N304，Y1轴N305，Y2轴N318。
3．Z轴原点调整（同MARK-20D）
4．S/P高度调整（同MARK-20D）
5．S/P Run Out确认（须在10u内）
6．S/P￠200调整
（1）移桌面于中心位置，架设百分表，先量测单数轴再量测双数轴，其范围±50u内。
（2）若无则放松S/P铜柱螺帽再锁紧，若无效则轴间距调整，再确认精度。
7．X，Y轴原点
（1）量测坐标 S/P5 X630.0 Y285.0，S/P6X630.0 Y85.0（PIN孔）
（2）以千分表量测，将数据记下，更改N85。（其计算方式如下）
（3）补正後数据，标准值±10u内，最佳±6u内。
8．Alignment调整
（1）以单数轴调整 坐标为X630.0 Y285.0。
（2）调整後数据应在±2u内。
9．轴间距调整
（1）N733 0，DISK mode
（2）执行 空跑 1 hr後在校正，间隔半小时须空跑半小时。
（3）校正方法-单双数轴夹测试PIN，PARK坐标同原点坐标。
（4）移动桌面至工作位置後，放置测定器且将电源打开。
(5)输入M88；指令，依屏幕指示方法作业（单数轴下降至测定位置时规零），记录最大及
最小值。
（6）再押PARK，将双数轴移动至测定位置，同上步骤坐标（双数轴若超过±10u），则X
轴调整S/P环，Y轴调整鞍部，记录最大及最小值，填入表格计算後标准值须在±10u内。
（7）调整後再测定以作确认（此项作业客户须每周测量，若超过±10u需调整）。
10．CCD测针调整
（1）测高度时使用高度PIN（20.32mm）,测针则使用0.25 0.3…。
（2）单数轴用MAINTE 执行及可得知测量高度(须记录).
(3)更改N282 X700000, N286 X875500, N283 Z1～ZA-67000, N612 S0 681000 S1
150000(双数轴测针位置)
(4)移动至测针位置後,以手动方式下降来作调整,观看Diagnosis N595 显示出数字时,记
录其数据,将所得知数据输入至N648 Z1～ZA,把平均值±300输入N645, N618 S2, S3.
(5)测径结果数据显示于 N181～N186, N150～N153.
位置调整
(1)单数轴X581.0 Y215.5, 双数轴X581.0 Y290.5.
(2)以百分表量测,其调整後精度须在±50u内.
12.参数修改,备份
(1)将参数恢复原设定值.
(2)N264 S26 20937120, S27 20947130.
(3)N504 00010010(依客户加工条件而不同).
(4)N628 4000.
(5)N676 30000002.
(6)N715 S0, S2 630000.0 S1, S3 285000.0.
(7)系统片备份.