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氦气回收数据分析

IT圈 admin 56浏览 0评论

2024年3月28日发(作者:应鸿晖)

氦气回收设备数据分析

一、LLG-F305型氦气回收设备初期实验数据收集

1. 实验于4月27日在DT-4开始实验,具体数据如下表所示。

表1

时间

14:50

15:30

15:50

16:20

16:50

17:20

17:50

18:20

18:50

19:20

19:50

20:20

20:50

21:20

21:50

22:16

进气量

12.6

13.4

13.1

10.9

10.1

13.4

14.3

15

13.2

12.5

8.9

8.2

5.2

12.4

10.8

进气浓度

56.1

59.2

60

57.6

57.6

62

62.9

64.3

62.1

61.3

55

51.3

44.3

61.2

60

出气流量

6.7

7.1

6.5

6.5

6.4

7.2

7.3

7.4

7.2

7

6.1

5.5

5

7

6.8

出气浓度

98.7

98.3

99.9

99.9

99.7

99.8

99.8

99.5

99.3

99.3

98.7

97.6

97.6

99.2

99.3

氦气用量

2.8

3

2.8

2.9

2.9

2.7

2.4

2.6

2.7

2.7

2.7

2.8

2.9

2.5

2.7

供气压力

3.5

3.7

3.4

3.4

3.4

3.7

3.8

3.9

3.8

3.8

3.5

3.2

3

3.8

3.7

涂覆波动过大,停机

此次实验设备可正常运行,回收率可在80%左右。但是发现只要退火管压力小于

5,氦气回收设备抽气量随之减小。后在水冷气封中塞石英棉后,设备可正常工作。

光纤位置太偏,会导致涂覆波动。

2. 4月28日将设备移至二期DT-5/DT-7进行试验,具体数据如下。

表2

时间

16:00

16:20

16:40

16:50

17:00

17:10

进气量

2

4.2

3.6

3.2

5.1

4.4

进气浓度

32.9

50.2

41.6

37.9

51.4

47.4

出气流量

1.6

3.3

3.3

3.3

3.6

3.8

出气浓度

99.4

99.9

98.8

98.5

98.8

99.1

氦气用量

8.9

16.5

12.1

10.6

17.5

15.2

供气压力

2

3

3.1

2

2.7

2.8

此次试验在DT-5上口因设备抽不到气,后换至下口抽气浓度过低,导致设备无

法正常工作。后换至DT-7后设备依然抽不到气或者抽气浓度过低,最后将设备移至

一期DT-4再次进行验证。并对于二期氦管进行集气实验,看氦管是否存在漏气的可

能;将二期氦管加长2m抽气,看能否抽到正常工作所需氦气浓度。

3. 4月29日设备在一期DT-4进行试验,具体数据如下。

表3

时间

18:25

18:30

18:40

18:50

19:00

19:10

19:21

19:30

19:40

19:50

20:00

20:10

20:20

20:35

20:40

21:00

21:10

21:40

进气量

7.6

6.9

7.2

8.1

10

8.4

9.3

9.2

9.9

8.4

12.1

8.4

9

11.2

7.9

12.7

9.4

10

进气浓度

70.9

69

60.1

59

64.9

58.2

59.3

59.9

63.8

58.4

67.4

60.8

60.8

67.2

58.5

68.5

58.9

62.1

出气流量

2.2

4

4.3

4.7

5.7

5.2

5.2

5.3

5.8

4.7

6.3

5.4

5.4

6.3

5.3

6.5

5.9

5.5

出气浓度

95.5

99.2

99

98.8

99

98.6

98.9

99.2

99.6

99.1

99.9

99.8

99.7

99.9

99.9

99.9

99.9

99.9

氦气用量

2.3

2.16

2.23

2.24

2.24

2.05

2.05

2.05

2.14

2.05

2.3

2.3

2.24

2.07

2.28

1.98

2.28

2.21

供气压力

1.9

3.3

3.5

3.5

4

3.3

3.3

8.5

3.4

3

3.5

3.2

3

3.4

2.9

3

2.8

3

因设备在二期抽不到气或者抽气浓度过低,将设备移至一期后发现设备可正常工

作,且回收率可在80%以上。

4. 4月30日将设备回收气体接入MFC管路中进行试验。具体数据如下所示。

表4

时间

13:40

13:50

14:00

14:30

14:41

14:55

进气量

4.3

12

12.7

11.3

9.6

9

进气浓度

87.3

61.9

67.7

62.6

61.1

60.4

出气流量

1.3

5.6

6.3

5.6

5.5

5.4

出气浓度

99.9

99.9

99.9

99.9

99.9

99.9

氦气用量

2.7

2.6

2.5

2.5

2.6

2.6

供气压力

2.6

4.9

3.3

3.3

3.3

3.2

2024年3月28日发(作者:应鸿晖)

氦气回收设备数据分析

一、LLG-F305型氦气回收设备初期实验数据收集

1. 实验于4月27日在DT-4开始实验,具体数据如下表所示。

表1

时间

14:50

15:30

15:50

16:20

16:50

17:20

17:50

18:20

18:50

19:20

19:50

20:20

20:50

21:20

21:50

22:16

进气量

12.6

13.4

13.1

10.9

10.1

13.4

14.3

15

13.2

12.5

8.9

8.2

5.2

12.4

10.8

进气浓度

56.1

59.2

60

57.6

57.6

62

62.9

64.3

62.1

61.3

55

51.3

44.3

61.2

60

出气流量

6.7

7.1

6.5

6.5

6.4

7.2

7.3

7.4

7.2

7

6.1

5.5

5

7

6.8

出气浓度

98.7

98.3

99.9

99.9

99.7

99.8

99.8

99.5

99.3

99.3

98.7

97.6

97.6

99.2

99.3

氦气用量

2.8

3

2.8

2.9

2.9

2.7

2.4

2.6

2.7

2.7

2.7

2.8

2.9

2.5

2.7

供气压力

3.5

3.7

3.4

3.4

3.4

3.7

3.8

3.9

3.8

3.8

3.5

3.2

3

3.8

3.7

涂覆波动过大,停机

此次实验设备可正常运行,回收率可在80%左右。但是发现只要退火管压力小于

5,氦气回收设备抽气量随之减小。后在水冷气封中塞石英棉后,设备可正常工作。

光纤位置太偏,会导致涂覆波动。

2. 4月28日将设备移至二期DT-5/DT-7进行试验,具体数据如下。

表2

时间

16:00

16:20

16:40

16:50

17:00

17:10

进气量

2

4.2

3.6

3.2

5.1

4.4

进气浓度

32.9

50.2

41.6

37.9

51.4

47.4

出气流量

1.6

3.3

3.3

3.3

3.6

3.8

出气浓度

99.4

99.9

98.8

98.5

98.8

99.1

氦气用量

8.9

16.5

12.1

10.6

17.5

15.2

供气压力

2

3

3.1

2

2.7

2.8

此次试验在DT-5上口因设备抽不到气,后换至下口抽气浓度过低,导致设备无

法正常工作。后换至DT-7后设备依然抽不到气或者抽气浓度过低,最后将设备移至

一期DT-4再次进行验证。并对于二期氦管进行集气实验,看氦管是否存在漏气的可

能;将二期氦管加长2m抽气,看能否抽到正常工作所需氦气浓度。

3. 4月29日设备在一期DT-4进行试验,具体数据如下。

表3

时间

18:25

18:30

18:40

18:50

19:00

19:10

19:21

19:30

19:40

19:50

20:00

20:10

20:20

20:35

20:40

21:00

21:10

21:40

进气量

7.6

6.9

7.2

8.1

10

8.4

9.3

9.2

9.9

8.4

12.1

8.4

9

11.2

7.9

12.7

9.4

10

进气浓度

70.9

69

60.1

59

64.9

58.2

59.3

59.9

63.8

58.4

67.4

60.8

60.8

67.2

58.5

68.5

58.9

62.1

出气流量

2.2

4

4.3

4.7

5.7

5.2

5.2

5.3

5.8

4.7

6.3

5.4

5.4

6.3

5.3

6.5

5.9

5.5

出气浓度

95.5

99.2

99

98.8

99

98.6

98.9

99.2

99.6

99.1

99.9

99.8

99.7

99.9

99.9

99.9

99.9

99.9

氦气用量

2.3

2.16

2.23

2.24

2.24

2.05

2.05

2.05

2.14

2.05

2.3

2.3

2.24

2.07

2.28

1.98

2.28

2.21

供气压力

1.9

3.3

3.5

3.5

4

3.3

3.3

8.5

3.4

3

3.5

3.2

3

3.4

2.9

3

2.8

3

因设备在二期抽不到气或者抽气浓度过低,将设备移至一期后发现设备可正常工

作,且回收率可在80%以上。

4. 4月30日将设备回收气体接入MFC管路中进行试验。具体数据如下所示。

表4

时间

13:40

13:50

14:00

14:30

14:41

14:55

进气量

4.3

12

12.7

11.3

9.6

9

进气浓度

87.3

61.9

67.7

62.6

61.1

60.4

出气流量

1.3

5.6

6.3

5.6

5.5

5.4

出气浓度

99.9

99.9

99.9

99.9

99.9

99.9

氦气用量

2.7

2.6

2.5

2.5

2.6

2.6

供气压力

2.6

4.9

3.3

3.3

3.3

3.2

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