2024年4月11日发(作者：俞惜玉)
CFMM培训计划及日程安排
1. 培训计划
本次培训由于时间日程的限制，所以做以下的培训内容安排，有未详尽的地
方可根据具体的要求设备出货后，由应用工程师现场根据现场的条件做进一步培
训。
2. 培训主体内容
本次培训的主要内容为：
1）MLL-C900设备整机培训——结构及组成部分；
2）MLL-C900设备简易操作培训；
3）MLL-C900设备环境及软件参数配置；
4）MLL-C900日常操作及维护注意事项；
3. 培训日程安排
1.1
MLL-C900设备整机培训
MLL-C900
直写光刻设备整机培训
日程 议题 议题描述
光刻机成像原理
聚焦原理
对准原理
课程形式
产品原理
系统维护及安全事项
上午
日常操作注意事项
日常PM
常见问题处理
授课
5.2
注意事项
整机介绍、开机注意事项
动力标准
开启/关闭机台
子模块介绍：光机系统
光路模块
运动平台模块
隔振平台模块
从控电路模块
运动平台控制模块
主控电路模块
下午
子模块介绍：自动控制系
统
课程总结
1.2 MLL-C900设备简易操作培训及实际上机操作
ATD1500激光直写产品应用培训
日程 议题 议题描述
启动
MLL-C900
软件
添加用户，修改密码和改变
用户语言
浏览用户界面
曝光软件组成及插件介绍
曝光软件各插件的意义
简易曝光流程介绍
支持的数据格式
数据格式转换
数据分图参数
产品曝光界面
产品曝光参数
产品曝光流程
手动载片
产品曝光
曝光参数设置
产品曝光日志
对准程式介绍
寻找Mark的坐标点
添加新的Mark坐标
删除Mark坐标
修改Mark坐标
对准
曝光程式界面
曝光参数介绍
对准程式的连接
完成一个曝光程式
完成对准曝光流程
Mask曝光界面
Mask曝光参数
Mask曝光流程
手动载片
Mask曝光
曝光参数设置
产品曝光日志
上午
课程形式
MLL-C900
用户界面
曝光软件组成培训
曝光数据及参数设
置
产品曝光（器件）
5.4
设立对准程式
授课&
上机
自动对准曝光流程
下午
Mask曝光
课程总结&考试
2024年4月11日发(作者：俞惜玉)
CFMM培训计划及日程安排
1. 培训计划
本次培训由于时间日程的限制，所以做以下的培训内容安排，有未详尽的地
方可根据具体的要求设备出货后，由应用工程师现场根据现场的条件做进一步培
训。
2. 培训主体内容
本次培训的主要内容为：
1）MLL-C900设备整机培训——结构及组成部分；
2）MLL-C900设备简易操作培训；
3）MLL-C900设备环境及软件参数配置；
4）MLL-C900日常操作及维护注意事项；
3. 培训日程安排
1.1
MLL-C900设备整机培训
MLL-C900
直写光刻设备整机培训
日程 议题 议题描述
光刻机成像原理
聚焦原理
对准原理
课程形式
产品原理
系统维护及安全事项
上午
日常操作注意事项
日常PM
常见问题处理
授课
5.2
注意事项
整机介绍、开机注意事项
动力标准
开启/关闭机台
子模块介绍：光机系统
光路模块
运动平台模块
隔振平台模块
从控电路模块
运动平台控制模块
主控电路模块
下午
子模块介绍：自动控制系
统
课程总结
1.2 MLL-C900设备简易操作培训及实际上机操作
ATD1500激光直写产品应用培训
日程 议题 议题描述
启动
MLL-C900
软件
添加用户，修改密码和改变
用户语言
浏览用户界面
曝光软件组成及插件介绍
曝光软件各插件的意义
简易曝光流程介绍
支持的数据格式
数据格式转换
数据分图参数
产品曝光界面
产品曝光参数
产品曝光流程
手动载片
产品曝光
曝光参数设置
产品曝光日志
对准程式介绍
寻找Mark的坐标点
添加新的Mark坐标
删除Mark坐标
修改Mark坐标
对准
曝光程式界面
曝光参数介绍
对准程式的连接
完成一个曝光程式
完成对准曝光流程
Mask曝光界面
Mask曝光参数
Mask曝光流程
手动载片
Mask曝光
曝光参数设置
产品曝光日志
上午
课程形式
MLL-C900
用户界面
曝光软件组成培训
曝光数据及参数设
置
产品曝光（器件）
5.4
设立对准程式
授课&
上机
自动对准曝光流程
下午
Mask曝光
课程总结&考试