2024年5月6日发(作者：善子亦)

JSM-6390LV扫描电子显微镜操作规范

一、开机.

1. 打开SEM总电源电闸（稳压器、UPS电源）﹐打开冷却水总电闸

2. 如图1箭头所示打开冷却水电

温度显示

冷却水电源按钮

图1

3. 等大约二十分钟后﹐观察并准认冷却水温度为20℃±2℃

4. 把钥鍉插入主电源开关, 并转到START, 然后松手, 这时钥匙自行转到ON,电

源供给真空pump 系统, 启动机器,如图2所显示.

图2

5. 等大约10 秒后, 打开个人计算机并运行Windows

6. 点击计算机桌面上的[JEOL-6390LV] Main Menu.如图3所示

图3

二、SEM 样品的放入和更换

注意！样品放入和更换时Stage高度大于25

1. 如图4所示执行以下两步操作

1步﹕点击工具栏上的Sample后界面会弹出Specimen Exchange对话框

2步﹕点击对话框中的Vent进行放真空。等界面中的Redy变成Vent时表示放真

空OK

图4

2. 更换样品（注意带手套小心碰伤探头）

2024年5月6日发(作者：善子亦)

JSM-6390LV扫描电子显微镜操作规范

一、开机.

1. 打开SEM总电源电闸（稳压器、UPS电源）﹐打开冷却水总电闸

2. 如图1箭头所示打开冷却水电

温度显示

冷却水电源按钮

图1

3. 等大约二十分钟后﹐观察并准认冷却水温度为20℃±2℃

4. 把钥鍉插入主电源开关, 并转到START, 然后松手, 这时钥匙自行转到ON,电

源供给真空pump 系统, 启动机器,如图2所显示.

图2

5. 等大约10 秒后, 打开个人计算机并运行Windows

6. 点击计算机桌面上的[JEOL-6390LV] Main Menu.如图3所示

图3

二、SEM 样品的放入和更换

注意！样品放入和更换时Stage高度大于25

1. 如图4所示执行以下两步操作

1步﹕点击工具栏上的Sample后界面会弹出Specimen Exchange对话框

2步﹕点击对话框中的Vent进行放真空。等界面中的Redy变成Vent时表示放真

空OK

图4

2. 更换样品（注意带手套小心碰伤探头）