2024年5月8日发(作者:暴学真)
背景光照对高精度接触角测量的影响
赵昆越;田汉民;郭丹;王铮;常卫洪
【摘 要】接触角测量精度关系到材料表面性能的研究.目前普遍的接触角测量仪由
光学成像系统(背景光源、摄像头、样品台、进样器等)和PC机图像处理软件组成,
背景光照是决定液滴图像质量的重要因素,间接影响接触角测量的精度;研究了不均
匀光照强度对接触角测量的影响,应用图像处理技术对比分析数据,通过Mie光散射
理论阐述其原理;并指出在一定范围内,由中心向外部亮度逐渐减小的不均匀背景光
照会增大测量误差.
【期刊名称】《仪表技术与传感器》
【年(卷),期】2019(000)005
【总页数】4页(P100-103)
【关键词】光照强度;接触角;图像处理;精度;光源;Mie散射
【作 者】赵昆越;田汉民;郭丹;王铮;常卫洪
【作者单位】河北工业大学电子信息工程学院,天津 300401;天津市电子材料与器
件重点实验室,天津 300401;河北工业大学电子信息工程学院,天津 300401;天津市
电子材料与器件重点实验室,天津 300401;河北工业大学电子信息工程学院,天津
300401;天津市电子材料与器件重点实验室,天津 300401;河北工业大学电子信息
工程学院,天津 300401;天津市电子材料与器件重点实验室,天津 300401;河北工业
大学电子信息工程学院,天津 300401;天津市电子材料与器件重点实验室,天津
300401
【正文语种】中 文
【中图分类】TN911
0 引言
目前,在接触角测量领域,应用最广泛,测量精度和效率最高的方法是图像外形分
析法[1],其原理为将液滴滴于固体样品台,通过显微镜头和相机拍摄液滴图像,
应用数字图像处理技术和相应的测量算法计算接触角。常用接触角测量算法包含量
高法[2]、量角法[3]、拟合法[4]、L-Y法等。其中量高法、量角法、拟合法基于一
定的数学模型,即把液滴近似为球型的一部分,通过测量几何参数,例如宽度、高
度、切线斜率等计算接触角。
液滴图像的拍摄质量对于接触角测量精度的影响很大。很多时候由于人为不正当操
作和硬件设备(样品台,背景光源,摄像头)的优劣会导致测量误差的产生,目前市
场中不同厂家的接触角测量仪硬件的类别和规格不同,精度也不同。造成液滴图像
质量差的因素很多,包含光源误差、机械结构定位误差、环境误差等。
精确定位固-液-汽三相交点,寻找液滴边界,对于接触角测量的准确性至关重要。
液滴图像呈现高亮度特点,背景光源的作用是让待测液滴和背景之间形成高明暗对
比度,凸显液滴轮廓,便于后续边缘检测,光照强度分布对图像的亮度和对比度起
到关键作用,不均匀光照强度会使图像传感器曝光不足或过饱和[5],导致图像局
部过亮或过暗,丢失部分细节,进而产生测量误差。
1 实验概述
本文重点研究了不均匀背景光照对于接触角测量误差的影响,实验通过改变不均匀
光照强度,分别采用量高法、量角法、五点拟合法测量接触角,记录并分析数据,
发现光照强度和接触角测量误差之间的关系,应用Otsu二值化[6]、Canny边缘
检测、三次样条插值算法拟合边缘,从图像角度分析总结了图像液滴边缘随光照改
变的变化规律,并通过Mie光散射理论阐述其原理。
接触角测量实验简易模型如图1所示,1-CCD摄像头(成像分辨率2 048×1 536),
2-微量进样器,3-H2O2/H2O溶液液滴,4-载物台(搭载材料为抛光后的硅片),
5-背景光源(采用的是led单色平行冷光源)。
图1 接触角测量系统简易模型
2 实验分析
2.1 增强光照对图像中液滴边缘的影响
首先在控制温度不变的情况下,通过调节光源亮度改变液滴图像光照强度分析液滴
图像灰度曲线,为尽量避免液滴蒸发带来的影响,采用快速抓拍功能,每帧时间间
隔1.5 s,如图2所示,从1到5对液滴光照逐渐增强。液滴图像1~5灰度分布
如图3所示。其中液滴与搭载液滴的硅片所占灰度级大致分布在0~75范围内,
背景光照灰度级分布在75~255范围内,随着光照强度增强,见(1)处,液滴灰度
峰值变小且向右逐渐偏移。(2)处峰的存在是由于光照较暗时,在图片1背景中产
生的灰暗部分。
图2 不同光照强度下的液滴图像
图3 不同亮度下液滴图像的灰度直方图
从灰度直方图角度分析,假设一个像素点代表单位面积,统计1~5液滴图像中灰
度值分布在0~75之间的像素点数量,如表1所示,随着光照增强,灰度值分布
在0~75的像素点数量逐渐减少,换言之,在图像中液滴和硅片所占面积逐渐减
小。
表1 在不同光照强度的图像中0~75灰度值像素点数量1234524 46023 81423
13422 24321 443
从直观图像角度来看,将1~5图片首先应用Otsu二值化方法进行阈值分割[7],
进一步应用canny边缘检测提取液滴轮廓,并将5张边缘检测后的图像叠加,如
图4所示。随着光照从1到5逐渐增强,图像中液滴边缘由外向内逐渐收缩,硅
片水平面逐渐下降。可以看出随着光照增强,图像中液滴逐渐发生形变,其所占面
积比例逐渐减小。
图4 不同光照强度的图像中液滴边缘叠加
图像中液滴的形变必然带来接触角测量的误差,然而其形变的原因是光在传播过程
中,光子与液滴边界水分子相互作用发生散射,如图5所示,光波被均匀非吸收
介质的球状颗粒散射可由Mie散射理论形式给出[8],如式(1)反映了距离散射点r处
的散射光强,式(2)中振幅函数S1(θ)、S2(θ)表达式见式(3)和式(4),其中an和
bn是与贝尔赛尔函数和汉克尔函数有关的函数。
图5 光在液滴边界散射示意图
(1)
式中:θ为散射角;Isca为散射光强;I0为入射光强;λ为入射光波长;φ为偏振
角。
I(θ,φ)=|S1(θ)|2sin2φ+|S2(θ)|2cos2φ
(2)
(3)
(4)
从式(1)中可以看出,当波长λ、散射角θ、偏振角φ以及散射距离r固定时,散
射光强Isca与入射光强I0成正比关系,同时文献[9]中指出散射光强Isca与散射
角θ的关系,见图6,在颗粒直径x和折射率m不变的情况下,随着散射角θ增
大,散射光强Isca逐渐减小,在0~10°范围内Isca下降率最高,在θ趋近于0°
时,Isca最大,几乎等于入射光强,Isca/I0趋近于1。
图6 散射角与散射光强的关系
当光源照射液滴在CCD上成像时,图像中某一点像素的灰度值h(X,Y)只与CCD
感光面光强分布及变化有关,如表达式(5),其中I(x,y)表示单位像素上光照平均
值。
(5)
通过以上分析,散射角θ极小的情况下Isca≈I0,在液滴边界发生散射时,设入射
2024年5月8日发(作者:暴学真)
背景光照对高精度接触角测量的影响
赵昆越;田汉民;郭丹;王铮;常卫洪
【摘 要】接触角测量精度关系到材料表面性能的研究.目前普遍的接触角测量仪由
光学成像系统(背景光源、摄像头、样品台、进样器等)和PC机图像处理软件组成,
背景光照是决定液滴图像质量的重要因素,间接影响接触角测量的精度;研究了不均
匀光照强度对接触角测量的影响,应用图像处理技术对比分析数据,通过Mie光散射
理论阐述其原理;并指出在一定范围内,由中心向外部亮度逐渐减小的不均匀背景光
照会增大测量误差.
【期刊名称】《仪表技术与传感器》
【年(卷),期】2019(000)005
【总页数】4页(P100-103)
【关键词】光照强度;接触角;图像处理;精度;光源;Mie散射
【作 者】赵昆越;田汉民;郭丹;王铮;常卫洪
【作者单位】河北工业大学电子信息工程学院,天津 300401;天津市电子材料与器
件重点实验室,天津 300401;河北工业大学电子信息工程学院,天津 300401;天津市
电子材料与器件重点实验室,天津 300401;河北工业大学电子信息工程学院,天津
300401;天津市电子材料与器件重点实验室,天津 300401;河北工业大学电子信息
工程学院,天津 300401;天津市电子材料与器件重点实验室,天津 300401;河北工业
大学电子信息工程学院,天津 300401;天津市电子材料与器件重点实验室,天津
300401
【正文语种】中 文
【中图分类】TN911
0 引言
目前,在接触角测量领域,应用最广泛,测量精度和效率最高的方法是图像外形分
析法[1],其原理为将液滴滴于固体样品台,通过显微镜头和相机拍摄液滴图像,
应用数字图像处理技术和相应的测量算法计算接触角。常用接触角测量算法包含量
高法[2]、量角法[3]、拟合法[4]、L-Y法等。其中量高法、量角法、拟合法基于一
定的数学模型,即把液滴近似为球型的一部分,通过测量几何参数,例如宽度、高
度、切线斜率等计算接触角。
液滴图像的拍摄质量对于接触角测量精度的影响很大。很多时候由于人为不正当操
作和硬件设备(样品台,背景光源,摄像头)的优劣会导致测量误差的产生,目前市
场中不同厂家的接触角测量仪硬件的类别和规格不同,精度也不同。造成液滴图像
质量差的因素很多,包含光源误差、机械结构定位误差、环境误差等。
精确定位固-液-汽三相交点,寻找液滴边界,对于接触角测量的准确性至关重要。
液滴图像呈现高亮度特点,背景光源的作用是让待测液滴和背景之间形成高明暗对
比度,凸显液滴轮廓,便于后续边缘检测,光照强度分布对图像的亮度和对比度起
到关键作用,不均匀光照强度会使图像传感器曝光不足或过饱和[5],导致图像局
部过亮或过暗,丢失部分细节,进而产生测量误差。
1 实验概述
本文重点研究了不均匀背景光照对于接触角测量误差的影响,实验通过改变不均匀
光照强度,分别采用量高法、量角法、五点拟合法测量接触角,记录并分析数据,
发现光照强度和接触角测量误差之间的关系,应用Otsu二值化[6]、Canny边缘
检测、三次样条插值算法拟合边缘,从图像角度分析总结了图像液滴边缘随光照改
变的变化规律,并通过Mie光散射理论阐述其原理。
接触角测量实验简易模型如图1所示,1-CCD摄像头(成像分辨率2 048×1 536),
2-微量进样器,3-H2O2/H2O溶液液滴,4-载物台(搭载材料为抛光后的硅片),
5-背景光源(采用的是led单色平行冷光源)。
图1 接触角测量系统简易模型
2 实验分析
2.1 增强光照对图像中液滴边缘的影响
首先在控制温度不变的情况下,通过调节光源亮度改变液滴图像光照强度分析液滴
图像灰度曲线,为尽量避免液滴蒸发带来的影响,采用快速抓拍功能,每帧时间间
隔1.5 s,如图2所示,从1到5对液滴光照逐渐增强。液滴图像1~5灰度分布
如图3所示。其中液滴与搭载液滴的硅片所占灰度级大致分布在0~75范围内,
背景光照灰度级分布在75~255范围内,随着光照强度增强,见(1)处,液滴灰度
峰值变小且向右逐渐偏移。(2)处峰的存在是由于光照较暗时,在图片1背景中产
生的灰暗部分。
图2 不同光照强度下的液滴图像
图3 不同亮度下液滴图像的灰度直方图
从灰度直方图角度分析,假设一个像素点代表单位面积,统计1~5液滴图像中灰
度值分布在0~75之间的像素点数量,如表1所示,随着光照增强,灰度值分布
在0~75的像素点数量逐渐减少,换言之,在图像中液滴和硅片所占面积逐渐减
小。
表1 在不同光照强度的图像中0~75灰度值像素点数量1234524 46023 81423
13422 24321 443
从直观图像角度来看,将1~5图片首先应用Otsu二值化方法进行阈值分割[7],
进一步应用canny边缘检测提取液滴轮廓,并将5张边缘检测后的图像叠加,如
图4所示。随着光照从1到5逐渐增强,图像中液滴边缘由外向内逐渐收缩,硅
片水平面逐渐下降。可以看出随着光照增强,图像中液滴逐渐发生形变,其所占面
积比例逐渐减小。
图4 不同光照强度的图像中液滴边缘叠加
图像中液滴的形变必然带来接触角测量的误差,然而其形变的原因是光在传播过程
中,光子与液滴边界水分子相互作用发生散射,如图5所示,光波被均匀非吸收
介质的球状颗粒散射可由Mie散射理论形式给出[8],如式(1)反映了距离散射点r处
的散射光强,式(2)中振幅函数S1(θ)、S2(θ)表达式见式(3)和式(4),其中an和
bn是与贝尔赛尔函数和汉克尔函数有关的函数。
图5 光在液滴边界散射示意图
(1)
式中:θ为散射角;Isca为散射光强;I0为入射光强;λ为入射光波长;φ为偏振
角。
I(θ,φ)=|S1(θ)|2sin2φ+|S2(θ)|2cos2φ
(2)
(3)
(4)
从式(1)中可以看出,当波长λ、散射角θ、偏振角φ以及散射距离r固定时,散
射光强Isca与入射光强I0成正比关系,同时文献[9]中指出散射光强Isca与散射
角θ的关系,见图6,在颗粒直径x和折射率m不变的情况下,随着散射角θ增
大,散射光强Isca逐渐减小,在0~10°范围内Isca下降率最高,在θ趋近于0°
时,Isca最大,几乎等于入射光强,Isca/I0趋近于1。
图6 散射角与散射光强的关系
当光源照射液滴在CCD上成像时,图像中某一点像素的灰度值h(X,Y)只与CCD
感光面光强分布及变化有关,如表达式(5),其中I(x,y)表示单位像素上光照平均
值。
(5)
通过以上分析,散射角θ极小的情况下Isca≈I0,在液滴边界发生散射时,设入射