2024年5月13日发(作者：呼延颖秀)
XPS分峰软件介绍
XPS（X-ray photoelectron spectroscopy，X射线光电子能谱）是
一种常用的表面分析技术，广泛应用于材料、化学、能源等领域。XPS测
得的数据可以提供材料表面元素的化学状态、化学键、表面组分和化学计
量比等信息。而XPS分峰软件是用于处理和分析XPS谱图的工具，可以帮
助研究人员更准确、更高效地进行数据处理和谱峰拟合。
下面将介绍几种常用的XPS分峰软件：
1. CasaXPS：CasaXPS是一款功能强大的XPS数据分析软件，可用于
XPS、AES（Auger电子能谱）和SIMS（二次离子质谱）数据的处理。它提
供了直观的用户界面和丰富的数据处理和分析功能，包括谱峰拟合、背景
拟合、化学状态分析等。CasaXPS还支持数据的导入导出和多种文件格式
的处理，以及数据的可视化和报告生成。
2. MultiPak：MultiPak是由Thermo Fisher Scientific开发的一
款XPS数据处理软件，可用于处理和分析几乎所有商业XPS仪器生成的数
据。它具有直观的用户界面和多种功能，包括峰拟合、背景拟合、能级校
正、峰面积计算等。MultiPak还提供了丰富的数据导出选项和数据可视
化功能，利于数据的解释和表达。
3. Spectrum（XPS Peak Fitting Software）：Spectrum是一款XPS
分峰软件，专门用于谱峰的拟合和分析。它提供了多种谱峰拟合算法和模
型，包括高斯峰拟合、Lorentzian峰拟合、Voigt峰拟合等，可根据不同
的问题选择适合的拟合算法和模型。Spectrum还支持数据的导入导出和
多种数据格式的处理，以及谱图的可视化和报告生成。
4. Avantage：Avantage是由Lablicate开发的一款多功能XPS数据
分析软件，可用于数据的处理、谱峰拟合和数据解释。它具有直观的用户
界面和多种数据处理功能，包括背景拟合、谱峰识别、峰面积计算等。
Avantage还支持数据的导入导出和多种文件格式的处理，以及数据的可
视化和数据报告生成。
K：XPSPEAK是一款免费的XPS数据分析软件，可用于XPS
数据的处理和分析。它具有简洁的用户界面和基本的数据处理功能，包括
峰识别、拟合和峰面积计算等。虽然功能相对较简单，但对于初学者和简
单的数据处理任务来说，XPSPEAK是一款不错的选择。
综上所述，XPS分峰软件是用于处理和分析XPS谱图的工具，可以帮
助研究人员更准确、更高效地进行数据处理和谱峰拟合。不同的软件具有
不同的功能和特点，研究人员可以根据自己的需求和经验选择适合的软件
进行数据处理和分析。
2024年5月13日发(作者：呼延颖秀)
XPS分峰软件介绍
XPS（X-ray photoelectron spectroscopy，X射线光电子能谱）是
一种常用的表面分析技术，广泛应用于材料、化学、能源等领域。XPS测
得的数据可以提供材料表面元素的化学状态、化学键、表面组分和化学计
量比等信息。而XPS分峰软件是用于处理和分析XPS谱图的工具，可以帮
助研究人员更准确、更高效地进行数据处理和谱峰拟合。
下面将介绍几种常用的XPS分峰软件：
1. CasaXPS：CasaXPS是一款功能强大的XPS数据分析软件，可用于
XPS、AES（Auger电子能谱）和SIMS（二次离子质谱）数据的处理。它提
供了直观的用户界面和丰富的数据处理和分析功能，包括谱峰拟合、背景
拟合、化学状态分析等。CasaXPS还支持数据的导入导出和多种文件格式
的处理，以及数据的可视化和报告生成。
2. MultiPak：MultiPak是由Thermo Fisher Scientific开发的一
款XPS数据处理软件，可用于处理和分析几乎所有商业XPS仪器生成的数
据。它具有直观的用户界面和多种功能，包括峰拟合、背景拟合、能级校
正、峰面积计算等。MultiPak还提供了丰富的数据导出选项和数据可视
化功能，利于数据的解释和表达。
3. Spectrum（XPS Peak Fitting Software）：Spectrum是一款XPS
分峰软件，专门用于谱峰的拟合和分析。它提供了多种谱峰拟合算法和模
型，包括高斯峰拟合、Lorentzian峰拟合、Voigt峰拟合等，可根据不同
的问题选择适合的拟合算法和模型。Spectrum还支持数据的导入导出和
多种数据格式的处理，以及谱图的可视化和报告生成。
4. Avantage：Avantage是由Lablicate开发的一款多功能XPS数据
分析软件，可用于数据的处理、谱峰拟合和数据解释。它具有直观的用户
界面和多种数据处理功能，包括背景拟合、谱峰识别、峰面积计算等。
Avantage还支持数据的导入导出和多种文件格式的处理，以及数据的可
视化和数据报告生成。
K：XPSPEAK是一款免费的XPS数据分析软件，可用于XPS
数据的处理和分析。它具有简洁的用户界面和基本的数据处理功能，包括
峰识别、拟合和峰面积计算等。虽然功能相对较简单，但对于初学者和简
单的数据处理任务来说，XPSPEAK是一款不错的选择。
综上所述，XPS分峰软件是用于处理和分析XPS谱图的工具，可以帮
助研究人员更准确、更高效地进行数据处理和谱峰拟合。不同的软件具有
不同的功能和特点，研究人员可以根据自己的需求和经验选择适合的软件
进行数据处理和分析。