2024年5月17日发(作者：占娅楠)
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SU8200场发射扫描电镜技术说明文件
一、二次电子分辨率：
0.8 nm (加速电压 15 kV，工作距离4 mm)
1.1 nm (着陆电压 1 kV，工作距离1.5 mm)(减速模式)
以上分辨率的测试都是基于日立电镜的分辨率测试标样（蒸金磁带样品，蒸金碳样品）
二、放大倍率：
低倍模式： 20 到 2k
高倍模式： 100 到 1000k
三、电子光学：
1. 电子枪：
冷场发射电子枪（带有柔性flash功能）
2. 加速电压: 0.5 到 30 kV
着陆电压: 0.01到 2 kV
3. 透镜系统
三级电磁透镜系统
4. 物镜光阑
四孔可调光阑(置加热自清洁功能)
5. 扫描线圈
二级电磁式偏转线圈（高倍模式）
一级电磁式偏转线圈（低倍模式）
6. 消像散器
八级电磁系统（X，Y）
7. 探测器：
低位（Lower）、高位（Upper）、和顶位（Top）三种探测器进行二次电子/背散射电子的接收
能谱系统 (选配)
8. 束闸
电磁型
9. 电位移：
12 m (工作距离8 mm)
注意：工作距离改变时，电位移围会改变
四、样品室和样品台：
.
.
1. 样品台控制：
五轴马达台
2. 可移动围和样品尺寸：
X
Y
Z
T
R
样品尺寸
SU8220
0 ~ 50 mm
0 ~ 50 mm
1.5 ~ 30 mm
SU8230
0 ~ 110 mm
0 ~ 110 mm
1.5 ~ 40 mm
-5 ~ 70°
0 ~ 360°
最大样品尺寸（直径）
150 mm
3. 可安装样品高度
SU8220
样品最大直径
26 mm
75 mm
100 mm
150 mm
4. 换样
预抽室
5. 样品台控制：
图形界面控制
自动样品更换位置定位功能
样品台移动轨迹存储功能
优中心旋转功能
图片导航功能
样品最大高度
17 mm
8 mm
6 mm
2 mm
SU8230/SU8240
样品最大直径
26 mm
75 mm
125 mm
150 mm
样品最大高度
24 mm
15 mm
12 mm
8 mm
SU8240
0 ~ 110 mm
0 ~ 80 mm
1.5 ~ 40 mm
五、显示系统
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2024年5月17日发(作者：占娅楠)
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SU8200场发射扫描电镜技术说明文件
一、二次电子分辨率：
0.8 nm (加速电压 15 kV，工作距离4 mm)
1.1 nm (着陆电压 1 kV，工作距离1.5 mm)(减速模式)
以上分辨率的测试都是基于日立电镜的分辨率测试标样（蒸金磁带样品，蒸金碳样品）
二、放大倍率：
低倍模式： 20 到 2k
高倍模式： 100 到 1000k
三、电子光学：
1. 电子枪：
冷场发射电子枪（带有柔性flash功能）
2. 加速电压: 0.5 到 30 kV
着陆电压: 0.01到 2 kV
3. 透镜系统
三级电磁透镜系统
4. 物镜光阑
四孔可调光阑(置加热自清洁功能)
5. 扫描线圈
二级电磁式偏转线圈（高倍模式）
一级电磁式偏转线圈（低倍模式）
6. 消像散器
八级电磁系统（X，Y）
7. 探测器：
低位（Lower）、高位（Upper）、和顶位（Top）三种探测器进行二次电子/背散射电子的接收
能谱系统 (选配)
8. 束闸
电磁型
9. 电位移：
12 m (工作距离8 mm)
注意：工作距离改变时，电位移围会改变
四、样品室和样品台：
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1. 样品台控制：
五轴马达台
2. 可移动围和样品尺寸：
X
Y
Z
T
R
样品尺寸
SU8220
0 ~ 50 mm
0 ~ 50 mm
1.5 ~ 30 mm
SU8230
0 ~ 110 mm
0 ~ 110 mm
1.5 ~ 40 mm
-5 ~ 70°
0 ~ 360°
最大样品尺寸（直径）
150 mm
3. 可安装样品高度
SU8220
样品最大直径
26 mm
75 mm
100 mm
150 mm
4. 换样
预抽室
5. 样品台控制：
图形界面控制
自动样品更换位置定位功能
样品台移动轨迹存储功能
优中心旋转功能
图片导航功能
样品最大高度
17 mm
8 mm
6 mm
2 mm
SU8230/SU8240
样品最大直径
26 mm
75 mm
125 mm
150 mm
样品最大高度
24 mm
15 mm
12 mm
8 mm
SU8240
0 ~ 110 mm
0 ~ 80 mm
1.5 ~ 40 mm
五、显示系统
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