2024年6月5日发(作者：奕雪晴)
1. 软件为绿色破解版，将软件压缩包直接解压到电脑中，打开软件在
Help>>About casaxps 输入User Name：G59 U Iowa和License：ffff2c44 >>update
License>>ok（注意User Name中的空格）
2. 打开数据：
打开数据*.VMS文件，或从file>>Open打开；
3. 标识并标注元素：
左键双击全谱谱图（widescan），再点击左窗口，在工具栏中点击
，弹出周期表，点全谱（widescan）中的峰，周期表中会显示该峰位附近的可能元素。
通常识别谱峰是什么元素，需元素各轨道的峰都能在谱图中找到。标识后左图会出现标识元
素各轨道位置，再点在peak label选项，按ctrl选择需要标注的峰再点，
选择Annotation History选项，图中标识好的文字出现小红框可以在图中拖动到合适位置；
然后在
中点
4. 全谱中半定量计算：
选择一个样品的全谱，用
手动删除错误的标识，点击
标识谱图中的元素（上述3），或直接点
，左图出现百分含量，点
，再
，在regions选项
中选择元素，放大该位置谱图调整（左键拖动）所扣背底（Background）的起始边和结束边。
5.分谱中半定量计算：
5.1 先对样品的每个分谱进行扣背底（Background），然后选中要计算的元素，如图
，在的report spec.选项中点，结果显示。
5.2如果要详细计算各化学状态的百分含量，则需对各峰进行分峰，并更改下图中的Name
以区别各元素状态：
在
的report spec.选项中点，结果显示。
的component选项卡下，显示：
5.3 只计算某元素的各化学状态的百分含量，则分峰，在
6. 数据处理：
选择指定的谱图，点
。通过不同的选项卡对谱图进行校准、平滑等。
7. 数据的通常处理：
7. 1对谱图进行校准（calibration选项卡中，输入ture（实际值，一般以污染碳C1s 284.8eV
为标准），再点谱图中measure中显示鼠标点击的峰位置，点
品的其他数据点）如图：
。
7.2对谱图扣背底（background）和分峰，点，在region选项卡中创建背
，再选择同一样
底基线，基线的起始start和截止end边可以用鼠标拖动到合适位置，再在component选项
卡中分峰。点就会出现一个拟合的峰
分峰理论上是需要遵循分峰规则。详细分峰规则为网上搜索：
1.对于p、d、f等能级的次能级（如p
3/2
、p
1/2
，光电子能谱中一般省略/2，即为p3、p1）强
度比是一定的，p3:p1=2:1；d5:d3=3:2，f7:f5=4:3。在峰拟合过程中要遵循该规则。如W4f
中同一价态的W4f7和W4f5峰面积比应为4:3。
2.对于有能级分裂的能级（p、d、f），分裂的两个轨道间的距离也基本上是固定的，如同一
价态的W4f7和W4f5之间的距离为2.15eV左右，Si2p3和Si2p1差值为1.1eV左右，具体化
学状态下能级分裂的两个轨道之间的距离会有不同。
3.对于FWHM(半峰宽)，因为基本上样品是用Al（Mono）做的，在Pe10(只适用于本仪器），
如单质银 Ag 3d
5/2
峰的FWHM为0.48eV左右，Ag 3d5/2和Ag 3d
3/2
的FWHM尽量接近一致。
大部分FWHM理论是小于2eV，但是也不一定，主要看文献和相关数据库。对于一致的仪
器及仪器参数各数据的GL高斯－洛伦兹比应保持一致，具体数据不定。
具体参数如下图
图中：（更改参数后要按回车确定）
RSF
为相对灵敏度因子，
Line Shape
为拟合峰的洛伦茨－高
斯函数比【如GL（n）表示n=0纯高
斯曲线，n=100为纯洛伦茨曲线】，
对于一致的仪器及仪器参数各数据
的GL高斯－洛伦兹比应保持一致，
具体数据不定。部分金属单质的峰容
易不对称，如Pt等，用可峰型 A
（0.35，0.4，1）GL(50)。
Area constr.
面积限制，一般.对于
p、d、f等能级的次能级（如p
3/2
、
p
1/2
，光电子能谱中一般省略/2，即
为p3、p1）强度比是一定的，
p3:p1=2:1；d5:d3=3:2，f7:f5=4:3。在
峰拟合过程中要遵循该规则。如W4f
中同一价态的W4f7和W4f5峰面积
比应为4:3。图中显示A峰面积:B峰
面积＝4:3
Fwhm constr.
半高宽限制，一般因为基本上样品是用Al（Mono）做的，在Pe10(只适用于
本仪器），如单质银 Ag 3d
5/2
峰的FWHM为0.48eV左右，Ag 3d5/2和Ag 3d
3/2
的FWHM尽量
接近一致，但部分氧化物的劈裂峰FWHM不一致，如TiO2中的Ti 2p，主要以看标准谱图
为依据。大部分FWHM理论是小于2eV，但是也不一定，主要看文献和相关数据库。
Position constr.
对于有能级分裂的能级（p、d、f），分裂的两个轨道间的距离也基本上是
固定的，如同一价态的W4f7和W4f5之间的距离为2.15eV左右，Si2p3和Si2p1差值为1.1eV
左右，具体化学状态下能级分裂的两个轨道之间的距离会有不同。
7. 导出数据和谱图：
左键双击右窗口某一数据栏“如
7.1 点击工具栏中
”（变淡黄），左窗口出现该谱图。
标识的快捷按钮，弹出保存窗口；
标识的快捷按钮，弹出保存窗口。 7.2 点击左窗口谱图，再点击
8.数据说明：
导出来的数据导入origin中后，会出现两组数据，一般用后一组数据X轴:B.E.(binding
energy) Y轴：CPS(count per second)，注意圆圈中，B.E.是否该为X。
一般样品数据在casaxps中显示，例：图中表示5个样品的测试数据，每个样品的谱图
为：widescan、O 1s、C 1s、Si 2p
2024年6月5日发(作者：奕雪晴)
1. 软件为绿色破解版，将软件压缩包直接解压到电脑中，打开软件在
Help>>About casaxps 输入User Name：G59 U Iowa和License：ffff2c44 >>update
License>>ok（注意User Name中的空格）
2. 打开数据：
打开数据*.VMS文件，或从file>>Open打开；
3. 标识并标注元素：
左键双击全谱谱图（widescan），再点击左窗口，在工具栏中点击
，弹出周期表，点全谱（widescan）中的峰，周期表中会显示该峰位附近的可能元素。
通常识别谱峰是什么元素，需元素各轨道的峰都能在谱图中找到。标识后左图会出现标识元
素各轨道位置，再点在peak label选项，按ctrl选择需要标注的峰再点，
选择Annotation History选项，图中标识好的文字出现小红框可以在图中拖动到合适位置；
然后在
中点
4. 全谱中半定量计算：
选择一个样品的全谱，用
手动删除错误的标识，点击
标识谱图中的元素（上述3），或直接点
，左图出现百分含量，点
，再
，在regions选项
中选择元素，放大该位置谱图调整（左键拖动）所扣背底（Background）的起始边和结束边。
5.分谱中半定量计算：
5.1 先对样品的每个分谱进行扣背底（Background），然后选中要计算的元素，如图
，在的report spec.选项中点，结果显示。
5.2如果要详细计算各化学状态的百分含量，则需对各峰进行分峰，并更改下图中的Name
以区别各元素状态：
在
的report spec.选项中点，结果显示。
的component选项卡下，显示：
5.3 只计算某元素的各化学状态的百分含量，则分峰，在
6. 数据处理：
选择指定的谱图，点
。通过不同的选项卡对谱图进行校准、平滑等。
7. 数据的通常处理：
7. 1对谱图进行校准（calibration选项卡中，输入ture（实际值，一般以污染碳C1s 284.8eV
为标准），再点谱图中measure中显示鼠标点击的峰位置，点
品的其他数据点）如图：
。
7.2对谱图扣背底（background）和分峰，点，在region选项卡中创建背
，再选择同一样
底基线，基线的起始start和截止end边可以用鼠标拖动到合适位置，再在component选项
卡中分峰。点就会出现一个拟合的峰
分峰理论上是需要遵循分峰规则。详细分峰规则为网上搜索：
1.对于p、d、f等能级的次能级（如p
3/2
、p
1/2
，光电子能谱中一般省略/2，即为p3、p1）强
度比是一定的，p3:p1=2:1；d5:d3=3:2，f7:f5=4:3。在峰拟合过程中要遵循该规则。如W4f
中同一价态的W4f7和W4f5峰面积比应为4:3。
2.对于有能级分裂的能级（p、d、f），分裂的两个轨道间的距离也基本上是固定的，如同一
价态的W4f7和W4f5之间的距离为2.15eV左右，Si2p3和Si2p1差值为1.1eV左右，具体化
学状态下能级分裂的两个轨道之间的距离会有不同。
3.对于FWHM(半峰宽)，因为基本上样品是用Al（Mono）做的，在Pe10(只适用于本仪器），
如单质银 Ag 3d
5/2
峰的FWHM为0.48eV左右，Ag 3d5/2和Ag 3d
3/2
的FWHM尽量接近一致。
大部分FWHM理论是小于2eV，但是也不一定，主要看文献和相关数据库。对于一致的仪
器及仪器参数各数据的GL高斯－洛伦兹比应保持一致，具体数据不定。
具体参数如下图
图中：（更改参数后要按回车确定）
RSF
为相对灵敏度因子，
Line Shape
为拟合峰的洛伦茨－高
斯函数比【如GL（n）表示n=0纯高
斯曲线，n=100为纯洛伦茨曲线】，
对于一致的仪器及仪器参数各数据
的GL高斯－洛伦兹比应保持一致，
具体数据不定。部分金属单质的峰容
易不对称，如Pt等，用可峰型 A
（0.35，0.4，1）GL(50)。
Area constr.
面积限制，一般.对于
p、d、f等能级的次能级（如p
3/2
、
p
1/2
，光电子能谱中一般省略/2，即
为p3、p1）强度比是一定的，
p3:p1=2:1；d5:d3=3:2，f7:f5=4:3。在
峰拟合过程中要遵循该规则。如W4f
中同一价态的W4f7和W4f5峰面积
比应为4:3。图中显示A峰面积:B峰
面积＝4:3
Fwhm constr.
半高宽限制，一般因为基本上样品是用Al（Mono）做的，在Pe10(只适用于
本仪器），如单质银 Ag 3d
5/2
峰的FWHM为0.48eV左右，Ag 3d5/2和Ag 3d
3/2
的FWHM尽量
接近一致，但部分氧化物的劈裂峰FWHM不一致，如TiO2中的Ti 2p，主要以看标准谱图
为依据。大部分FWHM理论是小于2eV，但是也不一定，主要看文献和相关数据库。
Position constr.
对于有能级分裂的能级（p、d、f），分裂的两个轨道间的距离也基本上是
固定的，如同一价态的W4f7和W4f5之间的距离为2.15eV左右，Si2p3和Si2p1差值为1.1eV
左右，具体化学状态下能级分裂的两个轨道之间的距离会有不同。
7. 导出数据和谱图：
左键双击右窗口某一数据栏“如
7.1 点击工具栏中
”（变淡黄），左窗口出现该谱图。
标识的快捷按钮，弹出保存窗口；
标识的快捷按钮，弹出保存窗口。 7.2 点击左窗口谱图，再点击
8.数据说明：
导出来的数据导入origin中后，会出现两组数据，一般用后一组数据X轴:B.E.(binding
energy) Y轴：CPS(count per second)，注意圆圈中，B.E.是否该为X。
一般样品数据在casaxps中显示，例：图中表示5个样品的测试数据，每个样品的谱图
为：widescan、O 1s、C 1s、Si 2p