2024年6月13日发(作者：旷波)
主要特点
• 专为300mm晶圆和光罩检测
• 利用更高的分辨率，对比度和透射CFI60光学系统
• 更高的亮度比传统的显微镜
• 新光源和四次美好的透射照明，先进的光学设计结果
•预中心的灯箱提供更高的亮度，同时仅消耗一半的电力，并减少热致离焦
• 电动物镜转换器比传统模式更耐用三倍
应用
• 晶圆
• 液晶显示器
是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、冶金工业需求而开发的。作为
高级金相显微镜用户在使用时能够体验其超强性能，可广泛应用于半导体、FPD、
电路封装、电路基板、材料、铸件金属陶瓷部件、精密模具的检测，可观察较厚
的标本。
两种机型可供选择
• L300N：Episcopic照明类型
最大样品尺寸：300mm晶圆
第一阶段行程：354 x302毫米
放大倍率范围：15X - 2000X(目镜和目标而定)
• L300ND：透射/ Episcopic照明类型
最大样品尺寸：17英寸平板显示器(FPD)
第一阶段行程：354 x302毫米(透射照明范围：354 x268毫米)
放大倍率范围：15X - 2000X(目镜和目标而定)
各种各样的观测技术
各种各样的观测技术，如明场，暗场，简单的偏光，DIC和外延flourescence
观察，是可能的。 采用Epi - flourescence观察，紫外激发可应用于包括300mm
晶圆和OLED检查应用。
暗场观察
新开发的暗场照明光学显着提高图像的亮度和提高分钟内样品的划痕和拓朴的
检测能力。
明场观察
尼康CFI60系统 - 一个成功合并的CF光学系统无限远光学 - 高亮度，高对比
度的图像。
Nomarski DIC的观测
尼康L300N/L300ND金相显微镜采用单棱镜(Senarmont)系统，使所有的放大倍
率DIC的观察，通过简单地插入物镜转换器单Nomarski棱镜。 DIC的图像清
晰和与最小的色调明快，即使在低放大倍率。 高对比度型DIC的滑块允许更大
的敏感性形成的DIC图像。
半兼容设计
尼康L300N/L300ND金相显微镜符合半导体设备和材料协会(SEMI)为安全准则
(S7 - 0703)和人体工程学(S8 - 1103)。 由于目镜的位置更贴近运营商，不触
摸阶段的运营商，即使是他或她的走向，确保安全，舒适地观看。
防静电更强有力的保障
静电放电涂料已应用于身体的阶段，镜筒(L2 - TT2型)，及各种控制。 这加强
了防止污染的保障，并避免损坏由静电引起的样品，从而有利于单产提高。
简单的访问控制
主要控制旋钮和按钮都位于前面的基础，允许快速，操作简便，同时观看样品，
并尽量减少在漫长的观测疲劳。
对焦目标
重点目标轻松地移动和光路允许在低对比度的样品，如裸晶圆容易对焦。
长工作距离和高NA
趁着60毫米齐焦距离，新系列提供更长的工作距离，同时保持较高的数值孔
径。 CFI60提供图像的亮度和易于操作。 此外，光为中心进行了改进，以尽
量减少图像的变化，改变物镜时可能发生的的。
倾斜三目镜筒
倾斜三目镜筒是超广角的视野25毫米类型。 目镜角度0 °和30 °之间，可设
置允许用户设置自己的最佳视点水平，以确保舒适的观赏姿势。 两种类型提供
不同的观察/照相光路比：L2 - TT2(100:0 / 20:80)和L2 - TT(100:0 / 0:100)。
以最小的耀斑的高对比度
倾斜三目镜筒是超广角的视野25毫米类型。 目镜角度0 °和30 °之间，可设
置允许用户设置自己的最佳视点水平，以确保舒适的观赏姿势。 两种类型提供
不同的观察/照相光路比：L2 - TT2(100:0 / 20:80)和L2 - TT(100:0 / 0:100)。
CFI60光学
尼康L300N/L300ND金相显微镜系列采用CFI60光学系统 - 融合了尼康著名的
CF设计和尼康无限远光学性能优良。 CFI60提供高清晰度，对比度和透射率，
并提供了世界上水平最高的光学性能。 已经大大提高了图像亮度比传统的显微
镜，使得新系列，适合各种检查。
电动普及消防水枪
内置在物镜转换器是一个普遍的机动sextuple三个centerable插槽的类型。 图
片放大倍率变化过程中发生的变化，可以尽量减少使用与中心功能，提高为中心
2024年6月13日发(作者：旷波)
主要特点
• 专为300mm晶圆和光罩检测
• 利用更高的分辨率，对比度和透射CFI60光学系统
• 更高的亮度比传统的显微镜
• 新光源和四次美好的透射照明，先进的光学设计结果
•预中心的灯箱提供更高的亮度，同时仅消耗一半的电力，并减少热致离焦
• 电动物镜转换器比传统模式更耐用三倍
应用
• 晶圆
• 液晶显示器
是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、冶金工业需求而开发的。作为
高级金相显微镜用户在使用时能够体验其超强性能，可广泛应用于半导体、FPD、
电路封装、电路基板、材料、铸件金属陶瓷部件、精密模具的检测，可观察较厚
的标本。
两种机型可供选择
• L300N：Episcopic照明类型
最大样品尺寸：300mm晶圆
第一阶段行程：354 x302毫米
放大倍率范围：15X - 2000X(目镜和目标而定)
• L300ND：透射/ Episcopic照明类型
最大样品尺寸：17英寸平板显示器(FPD)
第一阶段行程：354 x302毫米(透射照明范围：354 x268毫米)
放大倍率范围：15X - 2000X(目镜和目标而定)
各种各样的观测技术
各种各样的观测技术，如明场，暗场，简单的偏光，DIC和外延flourescence
观察，是可能的。 采用Epi - flourescence观察，紫外激发可应用于包括300mm
晶圆和OLED检查应用。
暗场观察
新开发的暗场照明光学显着提高图像的亮度和提高分钟内样品的划痕和拓朴的
检测能力。
明场观察
尼康CFI60系统 - 一个成功合并的CF光学系统无限远光学 - 高亮度，高对比
度的图像。
Nomarski DIC的观测
尼康L300N/L300ND金相显微镜采用单棱镜(Senarmont)系统，使所有的放大倍
率DIC的观察，通过简单地插入物镜转换器单Nomarski棱镜。 DIC的图像清
晰和与最小的色调明快，即使在低放大倍率。 高对比度型DIC的滑块允许更大
的敏感性形成的DIC图像。
半兼容设计
尼康L300N/L300ND金相显微镜符合半导体设备和材料协会(SEMI)为安全准则
(S7 - 0703)和人体工程学(S8 - 1103)。 由于目镜的位置更贴近运营商，不触
摸阶段的运营商，即使是他或她的走向，确保安全，舒适地观看。
防静电更强有力的保障
静电放电涂料已应用于身体的阶段，镜筒(L2 - TT2型)，及各种控制。 这加强
了防止污染的保障，并避免损坏由静电引起的样品，从而有利于单产提高。
简单的访问控制
主要控制旋钮和按钮都位于前面的基础，允许快速，操作简便，同时观看样品，
并尽量减少在漫长的观测疲劳。
对焦目标
重点目标轻松地移动和光路允许在低对比度的样品，如裸晶圆容易对焦。
长工作距离和高NA
趁着60毫米齐焦距离，新系列提供更长的工作距离，同时保持较高的数值孔
径。 CFI60提供图像的亮度和易于操作。 此外，光为中心进行了改进，以尽
量减少图像的变化，改变物镜时可能发生的的。
倾斜三目镜筒
倾斜三目镜筒是超广角的视野25毫米类型。 目镜角度0 °和30 °之间，可设
置允许用户设置自己的最佳视点水平，以确保舒适的观赏姿势。 两种类型提供
不同的观察/照相光路比：L2 - TT2(100:0 / 20:80)和L2 - TT(100:0 / 0:100)。
以最小的耀斑的高对比度
倾斜三目镜筒是超广角的视野25毫米类型。 目镜角度0 °和30 °之间，可设
置允许用户设置自己的最佳视点水平，以确保舒适的观赏姿势。 两种类型提供
不同的观察/照相光路比：L2 - TT2(100:0 / 20:80)和L2 - TT(100:0 / 0:100)。
CFI60光学
尼康L300N/L300ND金相显微镜系列采用CFI60光学系统 - 融合了尼康著名的
CF设计和尼康无限远光学性能优良。 CFI60提供高清晰度，对比度和透射率，
并提供了世界上水平最高的光学性能。 已经大大提高了图像亮度比传统的显微
镜，使得新系列，适合各种检查。
电动普及消防水枪
内置在物镜转换器是一个普遍的机动sextuple三个centerable插槽的类型。 图
片放大倍率变化过程中发生的变化，可以尽量减少使用与中心功能，提高为中心