2024年9月7日发(作者：卞琼)
第４６卷第９期
氯 碱 工 业
Ｖｏ１．４６，Ｎｏ．９
２０１０年９月
Ｃｈｌｏｒ—Ａｌｋａｌｉ Ｉｎｄｕｓｔ￣
Ｓｅｐ．，２０１０
１ ５００ ｔ／ａ多晶硅装置安装调试总结
董前程 ，钟蕊。
（１．江西景德半导体新材料有限公司，江西景德镇３３３０００；
２．葫芦岛市第六高级中学，辽宁葫芦岛１２５００１）
［关键词］多晶硅装置；安装；调试
［摘要］总结了江西景德半导体新材料有限公司１ ５００ ｔ／ａ多晶硅装置安装调试情况，指出：设备的合理选型
是达到设计能力的前提，装置清洗是保证系统清洁度的关键，规范施工是确保装置顺利开车的有力保障，所以从立
项到试开车，每个阶段都需要制定一个缜密完善的施工方案，保证安装品质，使装置能够顺利达标、达产。
［中图分类号］ＴＱ１２７．２ ［文献标志码］Ｂ ［文章编号］１００８～１３３Ｘ（２０１０）０９—００２６—０４
Ｓｕｍｍａｒｙ ｏｎ ｉｎｓｔａｌｌａｔｉｏｎ ａｎｄ ｃｏｍｍｉｓｓｉｏｎｉｎｇ ｏｆ １．５ ｋｔ／ａ ｐｏｌｙｃｒｙｓｔａｉｌｉｎｅ ｓｉｌｉｃｏｎ ｐｌａｎｔ
ＤＯＮＧ Ｑｉａｎｃｈｅｎｇ ，ＺＨＯＮＧ Ｒｕｉ
（１．Ｊｉａｎｇｘｉ Ｊｉｎｇｄｅ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｎｏｖｅｌ Ｍａｔｅｒｉａｌ Ｃｏ．，Ｌｔｄ．，Ｊｉｎｇｄｅｚｈｅｎ ３３３０００，Ｃｈｉｎａ；
２．Ｎｏ．６ Ｓｅｎｉｏｒ Ｍｉｄｄｌｅ Ｓｃｈｏｏｌ ｏｆ Ｈｕｌｕｄａｏ Ｃｉｔｙ，Ｈｕｌｕｄａｏ １２５００１，Ｃｈｉｎａ）
Ｋｅｙ ｗｏｒｄｓ：ｐｏｌｙｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ ｓｉｌｉｃｏｎ；ｉｎｓｔａｌｌａｔｉｏｎ；ｃｏｍｍｉｓｓｉｏｎｉｎｇ
Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅ ｉｎｓｔａｌｌａｔｉｏｎ ａｎｄ ｃｏｍｍｉｓｓｉｏｎｉｎｇ ｏｆ １．５ ｋｔ／ａ ｐｏｌｙｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ ｓｉｌｉｃｏｎ ｐｌａｎｔ ｏｆ Ｊｉａｎｇｘｉ Ｊｉｎｇｄｅ
Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｎｏｖｅｌ Ｍａｔｅｒｉａｌ Ｃｏ．，Ｌｔｄ．，ａｒｅ ｓｕｍｍａｒｉｚｅｄ．Ａｎｄ ｉｔ ｉｓ ｐｏｉｎｔｅｄ ｏｕｔ ｔｈａｔ ｔｈｅ ｒｅａｓｏｎａｂｌｅ ｓｅ－
ｌｅｃｔｉｏｎ ｏｆ ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ｉｓ ｔｈｅ ｐｒｅｍｉｓｅ ｔｏ ｒｅａｃｈ ｔｈｅ ｄｅｓｉｇｎ ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ ｃａｐａｃｉｔｙ，ｄｅｖｉｃｅ ｃｌｅａｎ ｉｓ ｔｈｅ ｋｅｙ ｔｏ
ｋｅｅｐ ｔｈｅ ｃｌｅａｎ ｌｅｖｅｌ ｏｆ ｓｙｓｔｅｍ，ｓｔａｎｄａｒｄ ｃｏｎｓｔｒｕｃｔｉｏｎ ｃａｎ ｇｕａｒａｎｔｅｅ ｔｈｅ ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ｓｕｃｃｅｓｓｆｕｌｌｙ ｓｔａｒｔ—ｕｐ．
Ｔｈｅｒｅｆｏｒｅ，ａ ｄｅｌｉｂｅｒａｔｅ ａｎｄ ｐｅｒｆｅｃｔ ｃｏｎｓｔｒｕｃｔｉｏｎ ｐｌａｎ ｉｎ ｅｖｅｒｙ ｓｔａｇｅ ｆｒｏｍ ｔｈｅ ｐｒｏｊｅｅｔ ｅｓｔａｂｌｉｓｈｍｅｎｔ ｔｏ ｔｒｉａｌ
ｕｎ ｎｅｅｄｓ ｌａｙｉｎｇ ｄｏｗｎ ｔｏ ｅｎｓｕｒｅ ｔｈｅ ｉｎｓｔａｌｌａｔｉｏｎ ｑｕａｌｉｒｔｙ ａｎｄ ｍａｋｅ ｔｈｅ ｐｌａｎｔ ｒｅａｃｈ ｂｏｔｈ ｔｈｅ ｓｔａｎｄａｒｄ ａｎｄ
ｔｈｅ ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ ｃａｐａｃｉｔｙ．
多晶硅是纯度高、工艺复杂、使用设备种类较多
的化工产品。为了缩短多晶硅生产系统调试的时
ｌ洁净施工的保证措施
１．１洁净施工的计划
间，最大限度地降低调试费用，须针对不同的工艺要
求、不同的设备，做好设备和管道安装前的清洗处理
及试车前的３级确认等工作，确保装置达到无油、无
水、无尘的标准。
洁净施工是根据施工各阶段的控制目标按专业
工种和总体进度规划分解进度目标，建立控制施工
进度的检查计划，落实施工进度控制、检查调整，并
定期举行施工进度协调会议，对施工进度的各方面
因素进行分析和控制。
施工单位应按项目标段建立以项目经理、副经
理、项目专业工程师、作业队长、施工班组长为基础
的多级计划执行体系，使施工计划的每个节点，每条
多晶硅的生产设备数量较多，安装精度高，须分
段清洗、安装和充氮保护。如还原炉是整套装置的
核心设备，特别是冷却系统、气体汇流系统、电气系
统等设备的安装、调试将直接影响产品的品质，要采
取可靠的安装、清洗和保护措施，保证装置在施工过
程中不受损伤 。
［作者简介］董前程（１９７３一），男，工程师，１９９８年毕业于河北科技大学，现任江西景德半导体新材料有限公司企管部部长。
［收稿日期］２０１０—０４—３０
２６
第９期 董前程等：１ ５００ ｔ／ａ多晶硅装置安装调试总结
线路，层层有人管，事事有人问。通过计划落实、检
查、分析、总结，制定标准化工作方案，使工程洁净安
装符合实际要求，不失控。
１．２建立洁净施工的质量体系
建立洁净施工的质量体系就要将控制点细化到
各分区的分项工程中，保证控制点的实效性，编制总
进度计划、各区域总进度计划、月进度计划、周进度
计划等。各项计划要编排合理、衔接紧密、计划实施
超前。经过严密细致的讨论和分析，以计划任务书、
施工任务书的形式逐级下达，并实施。
制定项目责任制、签订责任状。从项目经理、专
业工程师到作业班组长分别制定各自的责任制，签
订责任状，定期按计划目标进行考核，奖优罚劣。
洁净施工计划的实施：通过项目调度会和各级
生产会进行目标交底，使管理层和作业层协调一致，
发挥各级管理人员主观能动Ｉ生和全体施工人员的积
极性、创造性。做到层层有计划、人人有目标、事事
有人管。
１．３洁净施工的要求
设备管道安装完成后采用干燥、洁净、无油、无
水的合格氮气或空气进行检验和系统吹扫。检验完
成后，应再次对设备和管道进行检查，如受到二次污
染，须进行重新清洗；如果合格，应立即对设备和管
道进行封闭保护。
清洗后的设备、管道在雨天运输和施工安装时，
应按洁净施工技术规范的要求采取严格的防雨、防
水措施；在雾天和风尘天气等特殊情况下安装时，
应
尽量缩短设备口和管道口在空气中的暴露时间，防
蛉
５
止水、气和尘土对设备和管道内造成二次污染，必要
时应停工，等待天气好转后再继续施工。
１．４作业职责和流程
１．４．１ 作业职责
建设单位负责设备、管道、阀门清洗工作的组
织、实施及验收等协调工作，如采购合同规定由供应
商清洗合格的工程成品（设备或部件）必须具有清
洗脱脂合格证，进口部分设备的开箱检查工作由监
理公司组织，国产部分设备的开箱检查工作由建设
单位组织、相关部门参与，经检查合格后方可交施工
单位安装，不合格的由施工单位领取后交接清洗单
位，进行专业清洗处理，确保设备洁净后再安装。
现场设备及部件的化学清洗、拆装工作由施工
单位负责，并建立记录关键设备、部件拆装情况的台
账，确保装配品质。针对不同标段的安装承包商，清
洗单位必须分别建立清洗台账，分别规范存放（标
志），以满足各标段工程安装进度的需要。
监理单位负责清洗及洁净安装工作的过程监
控，确保清洗品质。
１．４．２作业流程
装置中的所有需清洗的设备、管道和阀门运到
现场后，施工单位要按照安装的先后顺序进行领取
和预制，清洗单位按此顺序进行化学清洗。清洗后，
由监理单位组织，建设单位、施工单位和清洗单位联
合验收后签订合格验收单，所有清洗设备在化学清
洗验收合格后必须先用无油压缩空气干燥，合格后
再用塑料薄膜封存或充氮保护。
施工单位应对验收合格的设备或部件做好明显
标志，清洗单位和施工单位签订工序交接单，由施工
单位运往现场安装。清洗场内设备的清洗品质由清
洗单位负责，交接施工单位后由施工单位负责设备
或部件的清洁保护及后续的品质保证工作；运往安
装现场的设备应立即安装，不具备安装条件的施工
单位应妥善保管，如发生二次污染，则由施工单位负
责。另外，施工单位要加强专业施工衔接调控，即仪
表、取样分析等专业的开孔应与管道预制安装同步
进行，避免二次污染和再清洗。
１．５清洗验收的内容及标准
１．５．１ 油含量的验收标准
直接或可能与氧、富氧、浓硝酸等强氧化性介质
接触的设备或管道的油污必须彻底清除，须达到以
下任意一种要求。
（１）用波长３２０～３８０ ｎｍ紫外光检查除油金属
设备表面，应无油脂荧光。
（２）用清洁干燥的白色滤纸擦拭除油设备的金
属表面，纸上应无油脂痕迹。
（３）用无油蒸汽吹洗除油金属设备表面，去其
冷凝液后，放入的直径不大于１ ｍｍ的小粒萘应不
停地旋转。
（４）用脱脂棉蘸取四氯化碳擦拭一定面积的除
油金属设备的表面，测得除油金属设备表面的油含
量不大于１２５ ｍｇ／ｍ 。
１．５．２钝化验收标准
清洗后碳钢材质钝化膜品质的检验方法是：用
酸性硫酸铜（ＣｕＳＯ ）点滴液检验（红点法）。用点滴
液点滴钝化表面，点滴液由蓝色变为红色的时间不
２７
一扩＂
一产一
品ｌ
氯 碱 工 业 ２０１０生
小于５ ｓ为合格。
清洗后有特殊要求的奥氏体不锈钢材质钝化膜
外壳的绝缘电阻，测量值与出厂值比较应不小于出
厂值的７０％。
（２）检查变压器所有分接头变压比的方法。
高压侧接通三相３８０ Ｖ电源，用２只电压表同
时测量高压侧和低压侧线电压，并记录两侧电压表
示值。检查时应测量所有分接头，变压比的测量值
品质检验方法是：用酸性铁氰化钾｛Ｋ ［Ｆｅ（ＣＮ） ］｝
点滴液检验（蓝点法）。用点滴液点滴钝化表面，１０
ｍｉｎ内点滴液覆盖面内出现的蓝色小点不多于８个
为合格。
腐蚀率、腐蚀量、除垢率、洗净率的检验方法按
《工业设备化学清洗质量标准》（ＨＧ／Ｔ ２３８７—
与实际铭牌变压比相比应无明显变化，且符合变压
比规律。
２００７）执行（该部分内容省略）。
２重要工序设备的安装和调试控制
２．１ 氢化炉、还原炉系统的安装调试
氢化炉、还原炉的电气设备主要包括双向可控
硅调功器、整流变压器、低压启动装置等，当这些电
气设备安装完毕，且安装品质符合标准、规范要求
后，应进行电气调试。经过调试，电气设备达到１次
送电成功，并能安全可靠运行。
２．２电气的调试
２．２．１ 双向可控硅调功器的调试
（１）熟悉产品工作原理，掌握设备内电气元器
件的分布及功能，根据产品说明书进行调试。
（２）绝缘电阻的测量。
主回路对二次回路及外壳的绝缘电阻采用
２ ５００ Ｖ兆欧表澳０量，测量值不小于１ Ｍｌ＇￣／ｋＶ；二次
回路对外壳绝缘电阻采用５００ Ｖ兆欧表测量，测量
值应不小于１ Ｍｎ；测量时印刷电路和弱电回路应
短路接地。
（３）辅助装置的检验。
辅助装置的检验采用外施电源进行模拟试验。
试验电压接至额定电压，装置运行性能及工作情况
应可靠，各项参数应符合设计及产品的要求。
（４）轻载试验。
轻载试验要先选择负载（根据电压大小现场决
定），试验时应以最低工作电压开始，逐渐增加到额
定电压。试验中控制、保护性能应符合设计及产品
的要求。
（５）控制性能及保护系统协调试验：装置内保
护应按说明书及设计要求进行整定，并在轻载试验
中检查控制及保护的协调性。
２．２．２变压器及整流变的试验
（１）测量绕组的绝缘电阻的方法。
用２ ５００ Ｖ兆欧表测量高压绕组对低压绕组及
外壳的绝缘电阻，用５００ Ｖ兆欧表测量低压绕组对
２８
（３）测量绕组连接同套管直流电阻的方法。
用双臂电桥测量高压绕组各分接开关下的直流
电阻，测量低压各绕组的直流电阻，测量时应记录测
量的环境温度。‘
比较测量值与同温度下的出厂值，相应变化不
大于２％。
（４）检查变压器接线组别的方法。
用直流感应法检查高压侧绕组与低压侧绕组的
对应极性，并根据直流感应变压器连接组别规律表，
确定连接组别。
（５）检查绕组连接同套管交流耐压的方法。
用试验变压器对变压器的高压侧绕组进行交流
耐压测量，试验高压侧与低压侧及外壳之间的绝缘
强度。试验电压为２１ ｋＶ，耐压１ ｍｉｎ，无放电现象。
低压侧用２ ５００ Ｖ兆欧表检查。绝缘电阻符合电力
设备试验标准ＧＢ ５０１５０－－１９９１的要求。
（６）绝缘油电气强度的试验。
用油杯将电极击穿距离调整为２５ ｍｍ，取油样，
放在油试器中或接入试验变压器试油架中，将电压
从零开始逐渐升高，直至击穿，共进行５次试验，取
平均值做为油的击穿电压，击穿电压应不小于２５
ｋＶ。
（７）额定电压下冲击合闸的试验。
送电前应对变压器进行５次冲击试验，每次试
验间隔５ ｍｉｎ，第１次试验的冲击时间不小于１０
ａｒｉｎ，冲击时应观察冲击电流，听到变压器运行的声
音正常后，保护不动作。
２．２．３低压控制柜的调试
（１）绝缘电阻的测试。
使用５００ Ｖ兆欧表检查低压母线各段的绝缘电
阻，检查控制柜内一、二次回路的绝缘电阻，测量值
应符合标准中规定的要求。
（２）电流互感器的试验。
①测量互感器一、二次绕组的绝缘电阻；②测量
第９期 董前程等：１ ５００ ｔ／ａ多晶硅装置安装调试总结
互感器的变压比；③测量、检查互感器接线组别。
（３）核对断路器整定值。
（４）热继电器整定及试验。
２．３．３ 塔釜设备安装的施工要求
在塔釜类的设备安装中，控制重点是：现场的组
对焊接、吊装找正，特别是塔内件的安装。组对焊接
的要求是：严格执行焊接工艺评定要求，同时要将整
（５）检查一、二次回路接线应符合设计要求。
２．３ 其他重要工序的设备安装调试和质量控制
２．３．１ 控制系统测试的内容
体的组对尺寸严格控制在规范之内。吊装找正要考
虑塔附件的安装品质、工艺配管的品质及塔内件的
安装情况，一定要保证水平度和垂直度等。塔内件
的安装过程是：打开塔器人孔，检查塔器内是否洁
控制系统测试的内容是：控制回路接线的正确
性以及能否达到控制原理的要求，输入模拟量确认
其自动控制功能，单机试车，并联动试车。
（１）根据控制原理图和接线图对控制柜内的接
线进行校线，接线无误后，检查其现场控制情况。其
操作方法是：切断主电源，合上控制回路电源，在现
净、干燥，是否满足内件安装要求。安装前，对塔盘、
定距管应进行预拼装。检查其数量、规格、品质是否
符合设计及规范要求。清洗干燥塔内件，合格后可
安装内件。备好洁净临时棚、干净的胶鞋、已彻底清
洗去油、去污的干燥工具，装配人员要穿着干净的工
场通过按钮启停设备，校验其控制回路元件动作是
否正常，信号、灯光、音响及动作程序是否符合原理
的要求。
作服，配戴工作帽、白线手套等，以便进塔后保持干
净，减少二次污染。
（２）自动控制系统的检查调试。
３结语
在现代化施工中，机械设备的装备率越来越高，
施工的速度及品质对施工机械的依赖性也越来越
高，所以如何有效地使用设备，人员素质也成为关
键。无论从管理层到劳务层，人员素质直接影响到
先将主回路断电，合上控制器路及自动控制系
统电源，自动控制系统内部程序自检正常后，再将现
场按钮置于自动控制位置，检查其输入信号是否正
确，其位置与给定地址是否一致。在确认整个输入
模块信号后，解除其他连锁，人为满足其运行条件，
通过计算机运行，观察其输出点是否正常，在输出点
都正确的情况下，可以进行单机试运转，联动试车。
２．３．２ 工艺管道焊接的注意事项
工程品质目标的实现。还要建立完善的品质负责
制，使参与项目建设的每位人员都明确自己的品质
目标和责任，让工作有的放矢，高品质地完成多晶硅
项目建设，保证装置稳定运行。
参考文献
［１］曹忠，刘淑萍．多晶硅生产概况及其与氯碱工业的关
在管道施工中，重点的控制环节是焊接。现场
要严格按照焊接工艺评定要求进行操作，严格控制
低温钢、耐热钢等在焊接后的热处理过程中的升温
系［Ｊ］．氯碱工业，２００９，４５（１）：２８—３０．
速度、最高温度以及降温速度等。
另外，为了缩短施工期，在管道施工中，采用深
度预制化施工工艺是必不可少的，所以在品质控制
环节中除了做好以上各项工作外，保证半成品的可
追溯性也是安装品质控制的关键。
［２］董前程，孟德州．１．５万ｔ／ａ三氯氢硅生产装置研究［Ｊ］．
氯碱工业，２０１０，４６（６）：３１—３３．
［３］陈亮．多晶硅生产企业本质安全化设计的探讨［Ｊ］．中
国有色冶金，２００９（５）：３０—３２．
［编辑：刘玉君］
夺・牵・孛・夺・夺・争・夺・夺・夺・孛・夺・夺・夺・争・夺・夺・夺・孛・夺・夺・寺・÷・孛・夺・寺・孛・孛・幸・夺・孛・夺・夺・寺・夺・夺・夺・夺・牵・夺・寺・夺・夺・夺・幸・争・夺・
（上接第２５页）０．３％（相对对苯二胺质量计）的锌
粉可以有效地抑制对苯二胺的氧化变色。
参考文献
［１］吴 茂，鲜启鸣．对苯二胺合成工艺［Ｊ］．化工时刊，
２０００，１４（５）：４０—４１．
应用化工，２００２，３１（３）：３４—３６．
［５］王松涛，张双全，韩建伟，等．对氯碱不平衡问题的探讨
［Ｊ］．氯碱工业，２０００（４）：８—９，１４．
［６］ Ｋｕｎｉｙａｓｕ Ａ，Ｔｏｓｈｉｏ Ｔ．Ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ ｏｆ Ｐｈｅｎｙｌｅｎｅｄｉａｍｉｎｅ
Ｃｏｍｐｏｕｎｄ：日本，５９１３０８４１［Ｐ］．１９８４—０７—２７．
［７］叶惠仁．加氢法合成对苯二胺的研究［Ｊ］．辽宁化工，
１９９３（５）：４５—４６．
［２］李君，蒋毅．对苯二胺类防老剂的合成［Ｊ］．合成化
学，２０００，８（１）：３４—３８．
［８］Ｓａｓｙｋｏｖａ Ｌ Ｒ，Ｍａｓｅｎｏｖａ Ａ Ｔ．Ｌｉｑｕｉｄ—ｐｈａｓｅ Ｒｅｄｕｃｔｉｏｎ ｏｆ
［３］沈长洲，韩利华，张秀玲．对苯二胺染料生产工艺的改进
［Ｊ］．安徽化工，１９９３（１）：２８—３０．
［４］曹学增，汪学英，陈爱英．对苯二胺生产工艺的研究［Ｊ］．
Ｎｉｔｒｏａｎｉｌｉｎｅｓ［Ｊ］．Ｉｎｓｔ ｏｒｇ Ｋａｔａｌ Ｅｌｅｋｔｒｏｋｉｍ，１９９５（３）：２１—
２６．
［编辑：刘玉君］
２９
2024年9月7日发(作者：卞琼)
第４６卷第９期
氯 碱 工 业
Ｖｏ１．４６，Ｎｏ．９
２０１０年９月
Ｃｈｌｏｒ—Ａｌｋａｌｉ Ｉｎｄｕｓｔ￣
Ｓｅｐ．，２０１０
１ ５００ ｔ／ａ多晶硅装置安装调试总结
董前程 ，钟蕊。
（１．江西景德半导体新材料有限公司，江西景德镇３３３０００；
２．葫芦岛市第六高级中学，辽宁葫芦岛１２５００１）
［关键词］多晶硅装置；安装；调试
［摘要］总结了江西景德半导体新材料有限公司１ ５００ ｔ／ａ多晶硅装置安装调试情况，指出：设备的合理选型
是达到设计能力的前提，装置清洗是保证系统清洁度的关键，规范施工是确保装置顺利开车的有力保障，所以从立
项到试开车，每个阶段都需要制定一个缜密完善的施工方案，保证安装品质，使装置能够顺利达标、达产。
［中图分类号］ＴＱ１２７．２ ［文献标志码］Ｂ ［文章编号］１００８～１３３Ｘ（２０１０）０９—００２６—０４
Ｓｕｍｍａｒｙ ｏｎ ｉｎｓｔａｌｌａｔｉｏｎ ａｎｄ ｃｏｍｍｉｓｓｉｏｎｉｎｇ ｏｆ １．５ ｋｔ／ａ ｐｏｌｙｃｒｙｓｔａｉｌｉｎｅ ｓｉｌｉｃｏｎ ｐｌａｎｔ
ＤＯＮＧ Ｑｉａｎｃｈｅｎｇ ，ＺＨＯＮＧ Ｒｕｉ
（１．Ｊｉａｎｇｘｉ Ｊｉｎｇｄｅ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｎｏｖｅｌ Ｍａｔｅｒｉａｌ Ｃｏ．，Ｌｔｄ．，Ｊｉｎｇｄｅｚｈｅｎ ３３３０００，Ｃｈｉｎａ；
２．Ｎｏ．６ Ｓｅｎｉｏｒ Ｍｉｄｄｌｅ Ｓｃｈｏｏｌ ｏｆ Ｈｕｌｕｄａｏ Ｃｉｔｙ，Ｈｕｌｕｄａｏ １２５００１，Ｃｈｉｎａ）
Ｋｅｙ ｗｏｒｄｓ：ｐｏｌｙｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ ｓｉｌｉｃｏｎ；ｉｎｓｔａｌｌａｔｉｏｎ；ｃｏｍｍｉｓｓｉｏｎｉｎｇ
Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅ ｉｎｓｔａｌｌａｔｉｏｎ ａｎｄ ｃｏｍｍｉｓｓｉｏｎｉｎｇ ｏｆ １．５ ｋｔ／ａ ｐｏｌｙｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ ｓｉｌｉｃｏｎ ｐｌａｎｔ ｏｆ Ｊｉａｎｇｘｉ Ｊｉｎｇｄｅ
Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｎｏｖｅｌ Ｍａｔｅｒｉａｌ Ｃｏ．，Ｌｔｄ．，ａｒｅ ｓｕｍｍａｒｉｚｅｄ．Ａｎｄ ｉｔ ｉｓ ｐｏｉｎｔｅｄ ｏｕｔ ｔｈａｔ ｔｈｅ ｒｅａｓｏｎａｂｌｅ ｓｅ－
ｌｅｃｔｉｏｎ ｏｆ ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ｉｓ ｔｈｅ ｐｒｅｍｉｓｅ ｔｏ ｒｅａｃｈ ｔｈｅ ｄｅｓｉｇｎ ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ ｃａｐａｃｉｔｙ，ｄｅｖｉｃｅ ｃｌｅａｎ ｉｓ ｔｈｅ ｋｅｙ ｔｏ
ｋｅｅｐ ｔｈｅ ｃｌｅａｎ ｌｅｖｅｌ ｏｆ ｓｙｓｔｅｍ，ｓｔａｎｄａｒｄ ｃｏｎｓｔｒｕｃｔｉｏｎ ｃａｎ ｇｕａｒａｎｔｅｅ ｔｈｅ ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ｓｕｃｃｅｓｓｆｕｌｌｙ ｓｔａｒｔ—ｕｐ．
Ｔｈｅｒｅｆｏｒｅ，ａ ｄｅｌｉｂｅｒａｔｅ ａｎｄ ｐｅｒｆｅｃｔ ｃｏｎｓｔｒｕｃｔｉｏｎ ｐｌａｎ ｉｎ ｅｖｅｒｙ ｓｔａｇｅ ｆｒｏｍ ｔｈｅ ｐｒｏｊｅｅｔ ｅｓｔａｂｌｉｓｈｍｅｎｔ ｔｏ ｔｒｉａｌ
ｕｎ ｎｅｅｄｓ ｌａｙｉｎｇ ｄｏｗｎ ｔｏ ｅｎｓｕｒｅ ｔｈｅ ｉｎｓｔａｌｌａｔｉｏｎ ｑｕａｌｉｒｔｙ ａｎｄ ｍａｋｅ ｔｈｅ ｐｌａｎｔ ｒｅａｃｈ ｂｏｔｈ ｔｈｅ ｓｔａｎｄａｒｄ ａｎｄ
ｔｈｅ ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ ｃａｐａｃｉｔｙ．
多晶硅是纯度高、工艺复杂、使用设备种类较多
的化工产品。为了缩短多晶硅生产系统调试的时
ｌ洁净施工的保证措施
１．１洁净施工的计划
间，最大限度地降低调试费用，须针对不同的工艺要
求、不同的设备，做好设备和管道安装前的清洗处理
及试车前的３级确认等工作，确保装置达到无油、无
水、无尘的标准。
洁净施工是根据施工各阶段的控制目标按专业
工种和总体进度规划分解进度目标，建立控制施工
进度的检查计划，落实施工进度控制、检查调整，并
定期举行施工进度协调会议，对施工进度的各方面
因素进行分析和控制。
施工单位应按项目标段建立以项目经理、副经
理、项目专业工程师、作业队长、施工班组长为基础
的多级计划执行体系，使施工计划的每个节点，每条
多晶硅的生产设备数量较多，安装精度高，须分
段清洗、安装和充氮保护。如还原炉是整套装置的
核心设备，特别是冷却系统、气体汇流系统、电气系
统等设备的安装、调试将直接影响产品的品质，要采
取可靠的安装、清洗和保护措施，保证装置在施工过
程中不受损伤 。
［作者简介］董前程（１９７３一），男，工程师，１９９８年毕业于河北科技大学，现任江西景德半导体新材料有限公司企管部部长。
［收稿日期］２０１０—０４—３０
２６
第９期 董前程等：１ ５００ ｔ／ａ多晶硅装置安装调试总结
线路，层层有人管，事事有人问。通过计划落实、检
查、分析、总结，制定标准化工作方案，使工程洁净安
装符合实际要求，不失控。
１．２建立洁净施工的质量体系
建立洁净施工的质量体系就要将控制点细化到
各分区的分项工程中，保证控制点的实效性，编制总
进度计划、各区域总进度计划、月进度计划、周进度
计划等。各项计划要编排合理、衔接紧密、计划实施
超前。经过严密细致的讨论和分析，以计划任务书、
施工任务书的形式逐级下达，并实施。
制定项目责任制、签订责任状。从项目经理、专
业工程师到作业班组长分别制定各自的责任制，签
订责任状，定期按计划目标进行考核，奖优罚劣。
洁净施工计划的实施：通过项目调度会和各级
生产会进行目标交底，使管理层和作业层协调一致，
发挥各级管理人员主观能动Ｉ生和全体施工人员的积
极性、创造性。做到层层有计划、人人有目标、事事
有人管。
１．３洁净施工的要求
设备管道安装完成后采用干燥、洁净、无油、无
水的合格氮气或空气进行检验和系统吹扫。检验完
成后，应再次对设备和管道进行检查，如受到二次污
染，须进行重新清洗；如果合格，应立即对设备和管
道进行封闭保护。
清洗后的设备、管道在雨天运输和施工安装时，
应按洁净施工技术规范的要求采取严格的防雨、防
水措施；在雾天和风尘天气等特殊情况下安装时，
应
尽量缩短设备口和管道口在空气中的暴露时间，防
蛉
５
止水、气和尘土对设备和管道内造成二次污染，必要
时应停工，等待天气好转后再继续施工。
１．４作业职责和流程
１．４．１ 作业职责
建设单位负责设备、管道、阀门清洗工作的组
织、实施及验收等协调工作，如采购合同规定由供应
商清洗合格的工程成品（设备或部件）必须具有清
洗脱脂合格证，进口部分设备的开箱检查工作由监
理公司组织，国产部分设备的开箱检查工作由建设
单位组织、相关部门参与，经检查合格后方可交施工
单位安装，不合格的由施工单位领取后交接清洗单
位，进行专业清洗处理，确保设备洁净后再安装。
现场设备及部件的化学清洗、拆装工作由施工
单位负责，并建立记录关键设备、部件拆装情况的台
账，确保装配品质。针对不同标段的安装承包商，清
洗单位必须分别建立清洗台账，分别规范存放（标
志），以满足各标段工程安装进度的需要。
监理单位负责清洗及洁净安装工作的过程监
控，确保清洗品质。
１．４．２作业流程
装置中的所有需清洗的设备、管道和阀门运到
现场后，施工单位要按照安装的先后顺序进行领取
和预制，清洗单位按此顺序进行化学清洗。清洗后，
由监理单位组织，建设单位、施工单位和清洗单位联
合验收后签订合格验收单，所有清洗设备在化学清
洗验收合格后必须先用无油压缩空气干燥，合格后
再用塑料薄膜封存或充氮保护。
施工单位应对验收合格的设备或部件做好明显
标志，清洗单位和施工单位签订工序交接单，由施工
单位运往现场安装。清洗场内设备的清洗品质由清
洗单位负责，交接施工单位后由施工单位负责设备
或部件的清洁保护及后续的品质保证工作；运往安
装现场的设备应立即安装，不具备安装条件的施工
单位应妥善保管，如发生二次污染，则由施工单位负
责。另外，施工单位要加强专业施工衔接调控，即仪
表、取样分析等专业的开孔应与管道预制安装同步
进行，避免二次污染和再清洗。
１．５清洗验收的内容及标准
１．５．１ 油含量的验收标准
直接或可能与氧、富氧、浓硝酸等强氧化性介质
接触的设备或管道的油污必须彻底清除，须达到以
下任意一种要求。
（１）用波长３２０～３８０ ｎｍ紫外光检查除油金属
设备表面，应无油脂荧光。
（２）用清洁干燥的白色滤纸擦拭除油设备的金
属表面，纸上应无油脂痕迹。
（３）用无油蒸汽吹洗除油金属设备表面，去其
冷凝液后，放入的直径不大于１ ｍｍ的小粒萘应不
停地旋转。
（４）用脱脂棉蘸取四氯化碳擦拭一定面积的除
油金属设备的表面，测得除油金属设备表面的油含
量不大于１２５ ｍｇ／ｍ 。
１．５．２钝化验收标准
清洗后碳钢材质钝化膜品质的检验方法是：用
酸性硫酸铜（ＣｕＳＯ ）点滴液检验（红点法）。用点滴
液点滴钝化表面，点滴液由蓝色变为红色的时间不
２７
一扩＂
一产一
品ｌ
氯 碱 工 业 ２０１０生
小于５ ｓ为合格。
清洗后有特殊要求的奥氏体不锈钢材质钝化膜
外壳的绝缘电阻，测量值与出厂值比较应不小于出
厂值的７０％。
（２）检查变压器所有分接头变压比的方法。
高压侧接通三相３８０ Ｖ电源，用２只电压表同
时测量高压侧和低压侧线电压，并记录两侧电压表
示值。检查时应测量所有分接头，变压比的测量值
品质检验方法是：用酸性铁氰化钾｛Ｋ ［Ｆｅ（ＣＮ） ］｝
点滴液检验（蓝点法）。用点滴液点滴钝化表面，１０
ｍｉｎ内点滴液覆盖面内出现的蓝色小点不多于８个
为合格。
腐蚀率、腐蚀量、除垢率、洗净率的检验方法按
《工业设备化学清洗质量标准》（ＨＧ／Ｔ ２３８７—
与实际铭牌变压比相比应无明显变化，且符合变压
比规律。
２００７）执行（该部分内容省略）。
２重要工序设备的安装和调试控制
２．１ 氢化炉、还原炉系统的安装调试
氢化炉、还原炉的电气设备主要包括双向可控
硅调功器、整流变压器、低压启动装置等，当这些电
气设备安装完毕，且安装品质符合标准、规范要求
后，应进行电气调试。经过调试，电气设备达到１次
送电成功，并能安全可靠运行。
２．２电气的调试
２．２．１ 双向可控硅调功器的调试
（１）熟悉产品工作原理，掌握设备内电气元器
件的分布及功能，根据产品说明书进行调试。
（２）绝缘电阻的测量。
主回路对二次回路及外壳的绝缘电阻采用
２ ５００ Ｖ兆欧表澳０量，测量值不小于１ Ｍｌ＇￣／ｋＶ；二次
回路对外壳绝缘电阻采用５００ Ｖ兆欧表测量，测量
值应不小于１ Ｍｎ；测量时印刷电路和弱电回路应
短路接地。
（３）辅助装置的检验。
辅助装置的检验采用外施电源进行模拟试验。
试验电压接至额定电压，装置运行性能及工作情况
应可靠，各项参数应符合设计及产品的要求。
（４）轻载试验。
轻载试验要先选择负载（根据电压大小现场决
定），试验时应以最低工作电压开始，逐渐增加到额
定电压。试验中控制、保护性能应符合设计及产品
的要求。
（５）控制性能及保护系统协调试验：装置内保
护应按说明书及设计要求进行整定，并在轻载试验
中检查控制及保护的协调性。
２．２．２变压器及整流变的试验
（１）测量绕组的绝缘电阻的方法。
用２ ５００ Ｖ兆欧表测量高压绕组对低压绕组及
外壳的绝缘电阻，用５００ Ｖ兆欧表测量低压绕组对
２８
（３）测量绕组连接同套管直流电阻的方法。
用双臂电桥测量高压绕组各分接开关下的直流
电阻，测量低压各绕组的直流电阻，测量时应记录测
量的环境温度。‘
比较测量值与同温度下的出厂值，相应变化不
大于２％。
（４）检查变压器接线组别的方法。
用直流感应法检查高压侧绕组与低压侧绕组的
对应极性，并根据直流感应变压器连接组别规律表，
确定连接组别。
（５）检查绕组连接同套管交流耐压的方法。
用试验变压器对变压器的高压侧绕组进行交流
耐压测量，试验高压侧与低压侧及外壳之间的绝缘
强度。试验电压为２１ ｋＶ，耐压１ ｍｉｎ，无放电现象。
低压侧用２ ５００ Ｖ兆欧表检查。绝缘电阻符合电力
设备试验标准ＧＢ ５０１５０－－１９９１的要求。
（６）绝缘油电气强度的试验。
用油杯将电极击穿距离调整为２５ ｍｍ，取油样，
放在油试器中或接入试验变压器试油架中，将电压
从零开始逐渐升高，直至击穿，共进行５次试验，取
平均值做为油的击穿电压，击穿电压应不小于２５
ｋＶ。
（７）额定电压下冲击合闸的试验。
送电前应对变压器进行５次冲击试验，每次试
验间隔５ ｍｉｎ，第１次试验的冲击时间不小于１０
ａｒｉｎ，冲击时应观察冲击电流，听到变压器运行的声
音正常后，保护不动作。
２．２．３低压控制柜的调试
（１）绝缘电阻的测试。
使用５００ Ｖ兆欧表检查低压母线各段的绝缘电
阻，检查控制柜内一、二次回路的绝缘电阻，测量值
应符合标准中规定的要求。
（２）电流互感器的试验。
①测量互感器一、二次绕组的绝缘电阻；②测量
第９期 董前程等：１ ５００ ｔ／ａ多晶硅装置安装调试总结
互感器的变压比；③测量、检查互感器接线组别。
（３）核对断路器整定值。
（４）热继电器整定及试验。
２．３．３ 塔釜设备安装的施工要求
在塔釜类的设备安装中，控制重点是：现场的组
对焊接、吊装找正，特别是塔内件的安装。组对焊接
的要求是：严格执行焊接工艺评定要求，同时要将整
（５）检查一、二次回路接线应符合设计要求。
２．３ 其他重要工序的设备安装调试和质量控制
２．３．１ 控制系统测试的内容
体的组对尺寸严格控制在规范之内。吊装找正要考
虑塔附件的安装品质、工艺配管的品质及塔内件的
安装情况，一定要保证水平度和垂直度等。塔内件
的安装过程是：打开塔器人孔，检查塔器内是否洁
控制系统测试的内容是：控制回路接线的正确
性以及能否达到控制原理的要求，输入模拟量确认
其自动控制功能，单机试车，并联动试车。
（１）根据控制原理图和接线图对控制柜内的接
线进行校线，接线无误后，检查其现场控制情况。其
操作方法是：切断主电源，合上控制回路电源，在现
净、干燥，是否满足内件安装要求。安装前，对塔盘、
定距管应进行预拼装。检查其数量、规格、品质是否
符合设计及规范要求。清洗干燥塔内件，合格后可
安装内件。备好洁净临时棚、干净的胶鞋、已彻底清
洗去油、去污的干燥工具，装配人员要穿着干净的工
场通过按钮启停设备，校验其控制回路元件动作是
否正常，信号、灯光、音响及动作程序是否符合原理
的要求。
作服，配戴工作帽、白线手套等，以便进塔后保持干
净，减少二次污染。
（２）自动控制系统的检查调试。
３结语
在现代化施工中，机械设备的装备率越来越高，
施工的速度及品质对施工机械的依赖性也越来越
高，所以如何有效地使用设备，人员素质也成为关
键。无论从管理层到劳务层，人员素质直接影响到
先将主回路断电，合上控制器路及自动控制系
统电源，自动控制系统内部程序自检正常后，再将现
场按钮置于自动控制位置，检查其输入信号是否正
确，其位置与给定地址是否一致。在确认整个输入
模块信号后，解除其他连锁，人为满足其运行条件，
通过计算机运行，观察其输出点是否正常，在输出点
都正确的情况下，可以进行单机试运转，联动试车。
２．３．２ 工艺管道焊接的注意事项
工程品质目标的实现。还要建立完善的品质负责
制，使参与项目建设的每位人员都明确自己的品质
目标和责任，让工作有的放矢，高品质地完成多晶硅
项目建设，保证装置稳定运行。
参考文献
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在管道施工中，重点的控制环节是焊接。现场
要严格按照焊接工艺评定要求进行操作，严格控制
低温钢、耐热钢等在焊接后的热处理过程中的升温
系［Ｊ］．氯碱工业，２００９，４５（１）：２８—３０．
速度、最高温度以及降温速度等。
另外，为了缩短施工期，在管道施工中，采用深
度预制化施工工艺是必不可少的，所以在品质控制
环节中除了做好以上各项工作外，保证半成品的可
追溯性也是安装品质控制的关键。
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夺・牵・孛・夺・夺・争・夺・夺・夺・孛・夺・夺・夺・争・夺・夺・夺・孛・夺・夺・寺・÷・孛・夺・寺・孛・孛・幸・夺・孛・夺・夺・寺・夺・夺・夺・夺・牵・夺・寺・夺・夺・夺・幸・争・夺・
（上接第２５页）０．３％（相对对苯二胺质量计）的锌
粉可以有效地抑制对苯二胺的氧化变色。
参考文献
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２９