2024年9月14日发(作者：泰晓灵)
ET产品介绍
公司介绍
株式会社小坂研究所（KOSAKA）是於1950年創立的
公司，也是日本第一家發表光學幹槓桿表面粗糙度計，是一
家具有悠久歷史與技術背景的專業廠商,主要有測定/自動/流
體三大部門。其中測定部門為最具代表性單位且在日本精密
測定業佔有一席無法被取代的地位。
KOSAKA測定部主要的業界歷史事績摘要
1．1950年於日本首度发表光学杠杆表面粗糙度计SD-1。
2．1960年首先发表电子式表面粗糙度计SE-1（专利）。
3．1966年首度发表真圆度计EC-1并同时明石纪念会得最
高科学工程精度奖。
4．1968年发表汎用型表面粗糙度计SE-3并带动IC电子产
业发展。
5．1969年开发成功回转式真圆度计EC-3。
6．1975年开发成功ET薄膜测定机。
7．1977年发表世界第一台具有数位分析微处理器的表面粗
糙度计SE-3FTP。
8．1979年开发成功三次元表面粗糙度计SE-3FK及全自动
真圆度计EC-4S。
9．1982年针对三次元表面粗糙度计开发成功资料分析软件
SPA。
10．1984年开发成功高精度光触针表面测定机
HIPOSS-ET10。
11．1994年开发成功触控面板表面测度机SE-1700。
12．1995年开发成功镭射干涉数位形状测定机DSF-1000。
13．1997年开发成功高精度真圆/圆筒测定机EC-3400同年
取得ISO9001认证。
14．1998年开发成功数位式行轮廓测定机EF-3000。
15．2000年开发成功全自动微细形状测定机ET4000。
16．2003年开发成功推出粗糙度轮廓测量仪DSF500，圆度
和圆柱度测量仪EC1550以及专用於测量轮廓的
REF100，开发研制的空间坐标多关节测量仪填补了精
密量测领域的空白。
17．2004年开发成功超强精密全自动圆度仪EC2500以及专
门应用大型物件的EC4100和EC5100，Microfigure大
型国际先进水平的全自动测量仪器的生产工艺
ET5000/ET6000。
18．2005年开发成功推出便携式万能表面粗糙度测量仪
SE500。
19．2006年开发成功数码式粗糙度轮廓测量仪DSF800，表
面轮廓仪EF550。
接触式微细形状测定机
KOSAKA ET 200 SERIES
一．再现性• • • 可达0.1nm
线性度• • •针对不同厚薄样品，使用同一感度
Calculate the Linearity : Linearity
Error range / 100um (in the case of ET)
Vlsi and Taylor Hobson Step Height Standard
Taylor Hobson Step Height Mean Value : (2.454 ±
0.030)um
Vlsi Step Height Mean Value : (946.8 ± 5.6) nm
二．高解析度• • •特别是针对thin film更佳
纵轴最高解析度0.1nm
LVDT差动变压器的优势和特点：
1．无摩擦测量
LVDT 的可动铁芯和线圈之间通常没有实体接触，也就
是说LVDT是没有摩擦的部件。它被用于可以承受轻质
铁芯负荷，是进行精密材料的冲击挠度或振动测试，或纤
维或其它高弹材料的拉伸或蠕变测试最佳的方式。
2．无限的机械寿命
由于LVDT的线圈及其铁芯之间没有摩擦和接触，因此
不会产生任何磨损。这样，LVDT的机械寿命，理论上是
无限长的。在对材料和结构进行疲劳测试等应用中，这是
极为重要的技术要求。此外，无限的机械寿命对于飞机、
导弹、宇宙飞船以及重要工业设备中的高可靠性机械装置
也同样重要的。因此LVDT在航空发动机数字控制系统
中，广泛用于对油门杆位置、油针位置、导叶位置、喷口
位置等位移进行精确测量与控制。
3．无限的分辨率
LVDT的无摩擦运作及其感应原理使它具备显著的特性。
是具有真正意义上的无限分辨率。这意味着LVDT可以
对铁芯最微小的运动作出响应并生成输出。
4．零位可重复性
LVDT构造对称，零位可回复。LVDT的电气零位可重复
性高，且极其稳定。用在高损益闭环控制系统中，LVDT
是非常出色的电气零位指示器。它还用于复合输出与零位
的两个自变量成比例的比率系统。
5．坚固耐用
制造LVDT所用的材料以及接合这些材料所用的工艺使
它成为坚固耐用的传感器。即使受到工业环境中常有的强
大冲击、巨幅振动，LVDT也能继续发挥作用。铁芯与线
圈彼此分离，在铁芯和线圈内壁间插入非磁性隔离物，可
以把加压的、腐蚀性或碱性液体与线圈组隔离开。这样，
线圈组实现气密封，不再需要对运动构件进行动态密封。
对于加压系统内的线圈组，只需使用静态密封即可。
6．环境适应性
LVDT是少数几个可以在多种恶劣环境中工作的传感器
之一。例如，密封型LVDT采用不锈钢外壳，可以置于
腐蚀性液体或气体中。有时，LVDT被要求在极端恶劣的
环境下工作。例如，在类似液氮的低温环境中。又如，在
核反应堆主安全壳内工作的LVDT，工作温度高至550℃，
外加10Rads的辐射和/或3X10 NVT的中子通量。再如，
在210bar承压流体中工作的LVDT。LVDT设计巧妙，
可以同时适应多种恶劣环境。理论上LVDT具有无限的
工作寿命。
7．输入/输出隔离
LVDT被认为是变压器的一种，因为它的励磁输入（初级）
和输出（次级）是完全隔离的。LVDT无需缓冲放大器，
可以认为它是一种有效的模拟信号计算元件。在高效的测
量和控制回路中，它的信号线与电源地线是分离开的。
如上所述，LVDT具有诸多卓越的品质，具有良好的重复
性，虽然LVDT已问世多年，但它仍不失为很多位置传
感问题行之有效的解决方案，坚固的结构提供了更高的可
靠性。
三．低测定力• • •效果可比拟非接触
四．超高真直度• • •可测定试片之长距离测定
局部0.005um/5mm、全域0.2um/100mm
真直度保证• • •确保测定图形不受影响
五．即时监控量测位置• • •可易辨认微小样品
六．形状及粗度解析
粗度规范对应：可对应各种国际新旧标准规范，测定参
数多达60种
可测定段差及PITCH量测
七．扩充成三次元设备• • •可观察样品全貌
追加三次元解析软件：可测定STEP移动量1um之三
次元微细形状测定
三、X 軸 (基準軸)：
1. 移动量(最大測長)：100mm
2. 移動的真直度：0.2μm/100mm
3. 移動,測定速度：0.02 ~ 10mm/s
4. 線性尺(linar scale)：分解能 0.1μm
四、Z軸：
1. 移动量：50mm
2. 移動速度：max.2mm/S
3. 檢出器自動停止機能
4. 位置決定分解能：0.2μm
五、工件台：
1. 工件台尺寸：φ160mm
2. 機械手動倾斜： ± 1mm/150mm
六、工件觀察：max.110 倍(可選購其它高倍率CCD)
七、床台：材質為花崗岩石
八、防振台(選購)：落地型或桌上型
九、電源：AC100V±10%,
50/60HZ, 300VA
十、本體外觀尺寸及重量：
W494×D458×H610mm, 120kg
(不含防震台)
2024年9月14日发(作者：泰晓灵)
ET产品介绍
公司介绍
株式会社小坂研究所（KOSAKA）是於1950年創立的
公司，也是日本第一家發表光學幹槓桿表面粗糙度計，是一
家具有悠久歷史與技術背景的專業廠商,主要有測定/自動/流
體三大部門。其中測定部門為最具代表性單位且在日本精密
測定業佔有一席無法被取代的地位。
KOSAKA測定部主要的業界歷史事績摘要
1．1950年於日本首度发表光学杠杆表面粗糙度计SD-1。
2．1960年首先发表电子式表面粗糙度计SE-1（专利）。
3．1966年首度发表真圆度计EC-1并同时明石纪念会得最
高科学工程精度奖。
4．1968年发表汎用型表面粗糙度计SE-3并带动IC电子产
业发展。
5．1969年开发成功回转式真圆度计EC-3。
6．1975年开发成功ET薄膜测定机。
7．1977年发表世界第一台具有数位分析微处理器的表面粗
糙度计SE-3FTP。
8．1979年开发成功三次元表面粗糙度计SE-3FK及全自动
真圆度计EC-4S。
9．1982年针对三次元表面粗糙度计开发成功资料分析软件
SPA。
10．1984年开发成功高精度光触针表面测定机
HIPOSS-ET10。
11．1994年开发成功触控面板表面测度机SE-1700。
12．1995年开发成功镭射干涉数位形状测定机DSF-1000。
13．1997年开发成功高精度真圆/圆筒测定机EC-3400同年
取得ISO9001认证。
14．1998年开发成功数位式行轮廓测定机EF-3000。
15．2000年开发成功全自动微细形状测定机ET4000。
16．2003年开发成功推出粗糙度轮廓测量仪DSF500，圆度
和圆柱度测量仪EC1550以及专用於测量轮廓的
REF100，开发研制的空间坐标多关节测量仪填补了精
密量测领域的空白。
17．2004年开发成功超强精密全自动圆度仪EC2500以及专
门应用大型物件的EC4100和EC5100，Microfigure大
型国际先进水平的全自动测量仪器的生产工艺
ET5000/ET6000。
18．2005年开发成功推出便携式万能表面粗糙度测量仪
SE500。
19．2006年开发成功数码式粗糙度轮廓测量仪DSF800，表
面轮廓仪EF550。
接触式微细形状测定机
KOSAKA ET 200 SERIES
一．再现性• • • 可达0.1nm
线性度• • •针对不同厚薄样品，使用同一感度
Calculate the Linearity : Linearity
Error range / 100um (in the case of ET)
Vlsi and Taylor Hobson Step Height Standard
Taylor Hobson Step Height Mean Value : (2.454 ±
0.030)um
Vlsi Step Height Mean Value : (946.8 ± 5.6) nm
二．高解析度• • •特别是针对thin film更佳
纵轴最高解析度0.1nm
LVDT差动变压器的优势和特点：
1．无摩擦测量
LVDT 的可动铁芯和线圈之间通常没有实体接触，也就
是说LVDT是没有摩擦的部件。它被用于可以承受轻质
铁芯负荷，是进行精密材料的冲击挠度或振动测试，或纤
维或其它高弹材料的拉伸或蠕变测试最佳的方式。
2．无限的机械寿命
由于LVDT的线圈及其铁芯之间没有摩擦和接触，因此
不会产生任何磨损。这样，LVDT的机械寿命，理论上是
无限长的。在对材料和结构进行疲劳测试等应用中，这是
极为重要的技术要求。此外，无限的机械寿命对于飞机、
导弹、宇宙飞船以及重要工业设备中的高可靠性机械装置
也同样重要的。因此LVDT在航空发动机数字控制系统
中，广泛用于对油门杆位置、油针位置、导叶位置、喷口
位置等位移进行精确测量与控制。
3．无限的分辨率
LVDT的无摩擦运作及其感应原理使它具备显著的特性。
是具有真正意义上的无限分辨率。这意味着LVDT可以
对铁芯最微小的运动作出响应并生成输出。
4．零位可重复性
LVDT构造对称，零位可回复。LVDT的电气零位可重复
性高，且极其稳定。用在高损益闭环控制系统中，LVDT
是非常出色的电气零位指示器。它还用于复合输出与零位
的两个自变量成比例的比率系统。
5．坚固耐用
制造LVDT所用的材料以及接合这些材料所用的工艺使
它成为坚固耐用的传感器。即使受到工业环境中常有的强
大冲击、巨幅振动，LVDT也能继续发挥作用。铁芯与线
圈彼此分离，在铁芯和线圈内壁间插入非磁性隔离物，可
以把加压的、腐蚀性或碱性液体与线圈组隔离开。这样，
线圈组实现气密封，不再需要对运动构件进行动态密封。
对于加压系统内的线圈组，只需使用静态密封即可。
6．环境适应性
LVDT是少数几个可以在多种恶劣环境中工作的传感器
之一。例如，密封型LVDT采用不锈钢外壳，可以置于
腐蚀性液体或气体中。有时，LVDT被要求在极端恶劣的
环境下工作。例如，在类似液氮的低温环境中。又如，在
核反应堆主安全壳内工作的LVDT，工作温度高至550℃，
外加10Rads的辐射和/或3X10 NVT的中子通量。再如，
在210bar承压流体中工作的LVDT。LVDT设计巧妙，
可以同时适应多种恶劣环境。理论上LVDT具有无限的
工作寿命。
7．输入/输出隔离
LVDT被认为是变压器的一种，因为它的励磁输入（初级）
和输出（次级）是完全隔离的。LVDT无需缓冲放大器，
可以认为它是一种有效的模拟信号计算元件。在高效的测
量和控制回路中，它的信号线与电源地线是分离开的。
如上所述，LVDT具有诸多卓越的品质，具有良好的重复
性，虽然LVDT已问世多年，但它仍不失为很多位置传
感问题行之有效的解决方案，坚固的结构提供了更高的可
靠性。
三．低测定力• • •效果可比拟非接触
四．超高真直度• • •可测定试片之长距离测定
局部0.005um/5mm、全域0.2um/100mm
真直度保证• • •确保测定图形不受影响
五．即时监控量测位置• • •可易辨认微小样品
六．形状及粗度解析
粗度规范对应：可对应各种国际新旧标准规范，测定参
数多达60种
可测定段差及PITCH量测
七．扩充成三次元设备• • •可观察样品全貌
追加三次元解析软件：可测定STEP移动量1um之三
次元微细形状测定
三、X 軸 (基準軸)：
1. 移动量(最大測長)：100mm
2. 移動的真直度：0.2μm/100mm
3. 移動,測定速度：0.02 ~ 10mm/s
4. 線性尺(linar scale)：分解能 0.1μm
四、Z軸：
1. 移动量：50mm
2. 移動速度：max.2mm/S
3. 檢出器自動停止機能
4. 位置決定分解能：0.2μm
五、工件台：
1. 工件台尺寸：φ160mm
2. 機械手動倾斜： ± 1mm/150mm
六、工件觀察：max.110 倍(可選購其它高倍率CCD)
七、床台：材質為花崗岩石
八、防振台(選購)：落地型或桌上型
九、電源：AC100V±10%,
50/60HZ, 300VA
十、本體外觀尺寸及重量：
W494×D458×H610mm, 120kg
(不含防震台)