2024年9月20日发(作者：易新文)

Telact8中文說明書

TELCLEANTRACKACT8

型号：A810WCWD-IF

对于200毫米晶圆

单块配置

晶圆流程：从左到右

运载站(CRA)1x4型，带拾取级，包括6个密理博智能泵

具有高速传送机构的处理块

a)通过MilliporeIntelligen泵（数量2）进行3次分配的光刻

胶涂布机单元

b)显影单元，通过H型喷嘴分配1份溶液(数量2)

c)为1台开发设备(数量1)分配额外的显影剂

d)LHP，低温热板(数量10)

e)CPL，冷却板(数量4)

f)ADH，附着力促进剂单元(数量1)

g)TCP，传输冷却板(数量1)

h)用于涂布机的可编程转鼓清洗系统(数量1)

I)可编程PTI排气控制器(数量4)

用于佳能FPA-3000i5步进机的接口单元(IRA),包括一个多缓冲

单元和晶片边缘曝光(WEE)

化学柜1

a)HMDS的加压罐

b)稀释剂缓冲罐，3升(数量2)

c)显影剂缓冲罐，3升(数量2)

化学柜2

a)显影剂脱气模块(数量2)

b)稀释剂脱气模块

温度控制架

a)冷却板的热电偶模块(数量4)

b)水循环装置(数量4)

涂布机温度和湿度控制装置

软件包

a)TELGEM在线软件

b)级联晶片流软件

c)系统登录软件

二氧化碳灭火系统准备就绪(管道和线路)

紫外线/红外线火灾探测器(数量3)

额外的5加仑不锈钢罐(数量5)

2024年9月20日发(作者：易新文)

Telact8中文說明書

TELCLEANTRACKACT8

型号：A810WCWD-IF

对于200毫米晶圆

单块配置

晶圆流程：从左到右

运载站(CRA)1x4型，带拾取级，包括6个密理博智能泵

具有高速传送机构的处理块

a)通过MilliporeIntelligen泵（数量2）进行3次分配的光刻

胶涂布机单元

b)显影单元，通过H型喷嘴分配1份溶液(数量2)

c)为1台开发设备(数量1)分配额外的显影剂

d)LHP，低温热板(数量10)

e)CPL，冷却板(数量4)

f)ADH，附着力促进剂单元(数量1)

g)TCP，传输冷却板(数量1)

h)用于涂布机的可编程转鼓清洗系统(数量1)

I)可编程PTI排气控制器(数量4)

用于佳能FPA-3000i5步进机的接口单元(IRA),包括一个多缓冲

单元和晶片边缘曝光(WEE)

化学柜1

a)HMDS的加压罐

b)稀释剂缓冲罐，3升(数量2)

c)显影剂缓冲罐，3升(数量2)

化学柜2

a)显影剂脱气模块(数量2)

b)稀释剂脱气模块

温度控制架

a)冷却板的热电偶模块(数量4)

b)水循环装置(数量4)

涂布机温度和湿度控制装置

软件包

a)TELGEM在线软件

b)级联晶片流软件

c)系统登录软件

二氧化碳灭火系统准备就绪(管道和线路)

紫外线/红外线火灾探测器(数量3)

额外的5加仑不锈钢罐(数量5)