2024年3月13日发(作者：酆丽容)
JSM 7500扫描电镜培训总结
腾玉奇
1.基本操作规程
1.1检查仪器状态
查看实验记录本看仪器是否正常（上一个人记录为“OK”），并检查电镜真
空度（一般为9.6×10
-5
Pa）及样品台位置是否为“X=0,Y=0,Z=8”。 仪器正常才
可进行操作。
1.2放入样品
（1） 进样操作会接触电镜内部，必须戴手套操作；
（2） 将制备好的样品（需平台和清洁）放入样品座中。调节样品高度，样
品不得高于样品座上沿。若高于样品座上沿，需要在选择样品台类别
窗口offset后“0.0”处填入高出上沿高度值。高度调整适当后，稍微
拧紧侧面螺丝固定好样品台即可；
（3） 预抽室放气，按下“Vent”键，待Vent指示灯停止闪烁，打开预抽室
仓门，将样品座平边推入样品座卡槽，样品座有孔的一边朝里，并压
一下样品座。关上仓门并扣紧，按下“EVAC”键，抽真空，待EVAC
指示灯停止闪烁，将样品杆放下到水平位置，轻推样品杆完全进入样
品室，无法再推动为止（不可用蛮力硬推），确认“HLDR”灯亮，轻
拉样品杆直至样品杆末端台阶露出导板外，将样品杆竖起卡好。在控
制软件中，按“确定”。
1.3观察样品
（1） 待真空抽至“5×10
-4
”后，点加电压“ON”，待电流上升至选择的发
射电流后，按下“GUN”。
加速电压的设置：一般观察选择5kv，需要较高分辨率时可选用较高
的加速电压，但不要超过15kv，如果测试能谱，可选用20kv。同时
须注意，加速电压越高，分辨率越高，但电子束探测深度增加，会使
得样品表面细节被掩盖。
探针电流（Probe Current）设置：一般SEI选8， EDS选13以上，
数值越大，探针电流越大，图像信噪比越高，但分辨率越低，要获取
高分辨图像时一般取5-7；
发射电流选择：一般选择10μA；
（2） 工作距离选择：一般选用3，6和8mm，数值越小，样品离物镜越近，
分辨率越高，但景深越小；
（3） 控制图像移动可用鼠标右键单击实现，可将点击目标移至屏幕中央；
也可用鼠标左键拖动图像，鼠标左键移动范围有限，且为电子束移动，
样品不动；
（4） 观察样品和图像获取步骤：Low Mag（快速移动到要观察的样品上）
--ACB（自动黑白对比）--调焦—改变放大倍数--配合Alignment，和
像散调节—得到一幅满意的图像；
图像存储：在保存一幅图像之前，需选择扫描模式，有两种。一种是Fine View，
然后Freeze，或者是直接在Quick View时按Photo键，它包含了Fine View 和
Freeze两步操作，但时间会稍长。
1.4取出样品
（1） 取样操作会接触电镜内部，必须戴手套操作；
（2） 先关闭“Gun”，灯亮。关闭高压，按下“Exchange Position”和“Home
Position”键。确认“EXCH POSN”灯亮；
（3） 将样品杆放下置水平位置，向前轻推样品杆至无法再推动为止。先将
样品杆轻拉一小段距离，确认“EXCH POSN”灯灭，再继续向后拉
回样品杆，直至样品杆末端台阶露出导板外，将样品杆竖起卡好；
（4） 按下“Vent”键，待Vent指示灯停止闪烁，松开预抽室锁扣，打开预
抽室，取出样品，将预抽室抽好真空（按“EVAC”键）。
（5） 做完电镜需要登记，如实记录操作的时间、姓名等信息，并写上电镜
的状态（是否正常等），若有问题及时向老师汇报。
2.注意事项
（1） 在接触到样品座的所有操作，必须戴手套；
（2） 在拧样品座上的螺丝时，要轻拧，不得使大力，防止固定螺丝损坏；
（3） 换样品时样品杆只能在水平方向上平行滑动，不得随意倾斜、旋转等，
样品杆操作要在水平方向上轻推轻拉；
（4） 样品预抽室放大气前必须关闭高压系统；
（5） 关闭高压系统前必须先关闭“Gun”--灯亮。操作顺序不得反转；
（6） 在打开“Gun”--灯灭时，样品室真空度必须高于5×10
-4
Pa；
（7） 严禁测试磁性材料样品；
（8） 样品测试前必须确定其粘结的牢固程度，防止悬浮颗粒进入电镜；
（9） 工作距离“WD”一般不得小于3mm。
3.培训体会
通过这次由王京霞老师组织、陈青山工程师讲授的为期两天的电镜培训，让
我对电镜的构造、原理、基本操作及精细调节等方面有了全面精准的理解，对电
镜的认识达到了一个新的高度。
在SEM分析测试技术的培训学习之前，我以为并不难做，就像以前的实验
一样，做完实验写完实验报告就完事，直到本次学习结束时，我才知道其实并不
容易。
在做实验前，一定要将实验原理弄懂，因为这是实验的基础，否则将会使做
实验时的难度加大。做实验时一定要亲力亲为，务必将每个步骤，每个细节弄清
楚，试验结束后还要进行复习、思考，这样的印象才深刻。本次实验的学习中老
师还根据自己的切实体会交给我们一些书本上没有的知识，拓宽了我们的知识
面。
通过本次SEM分析测试技术的学习，我学到了不少实用的知识和操作技能，
更重要的是学到了做实验的过程，思考问题的方法，这与其他的实验是同用的，
真正使我们受益匪浅。
之前对电镜的基本操作在师兄师姐的指导下已基本掌握，这次培训的收获主
要是对一些细节的学习和如何获取高质量的图片。在此我举几个例子说明下。
样品台的清洁。制样时样品台要保证清洁，否则会污染电镜内部，对电镜的
真空度及探头等造成不好的影响。在以前没有太在意这个问题，只是粗略地将样
品台擦拭；以后处理样品台要保证其清洁，除去上面的导电胶等，并用乙醇或者
丙酮彻底清洁。
WD及Z轴的调节。以前在使用电镜的过程中，基本没有更改过WD的值，
一般使用的是默认的8mm，通过工程师的讲解，发现在日常的使用中可先将其
调制3mm，这样可以使图像达到比较高的分辨率；并且倍数越大时，要想得到
更高分辨率的图片，最好是降低WD的值。
样品台的倾斜（T）与旋转（R）。之前在需要观测样品斜侧面时总是找不到
合适的办法，这次通过陈工程师的示范操作，学会了断面形貌分析的步骤，T的
范围一般在-10°到70°之间。另外，我们日常用到的image rotation是图像的旋
转，其旋转的是电子束，与样品台的直接旋转是不一样的。
GB模式。一般样品为不导电或者导电性差时，容易发生充放电的现象，这
对图片的获取很不利，而GB模式通过对样品台加一个偏压（2kv）为解决这个
问题提供了一个途径。在调低加速电压不能使图片达到高分辨、不充放电时，可
以尝试GB模式。
去户籍科，找到属于自己的那页户口卡，借走原件。再和户籍科老师要一下
你们这一级的户口首页，复印一份，去保卫处（我们学校是盖的保卫处的）盖个
红章，再拿身份证原件，结婚照
2024年3月13日发(作者：酆丽容)
JSM 7500扫描电镜培训总结
腾玉奇
1.基本操作规程
1.1检查仪器状态
查看实验记录本看仪器是否正常（上一个人记录为“OK”），并检查电镜真
空度（一般为9.6×10
-5
Pa）及样品台位置是否为“X=0,Y=0,Z=8”。 仪器正常才
可进行操作。
1.2放入样品
（1） 进样操作会接触电镜内部，必须戴手套操作；
（2） 将制备好的样品（需平台和清洁）放入样品座中。调节样品高度，样
品不得高于样品座上沿。若高于样品座上沿，需要在选择样品台类别
窗口offset后“0.0”处填入高出上沿高度值。高度调整适当后，稍微
拧紧侧面螺丝固定好样品台即可；
（3） 预抽室放气，按下“Vent”键，待Vent指示灯停止闪烁，打开预抽室
仓门，将样品座平边推入样品座卡槽，样品座有孔的一边朝里，并压
一下样品座。关上仓门并扣紧，按下“EVAC”键，抽真空，待EVAC
指示灯停止闪烁，将样品杆放下到水平位置，轻推样品杆完全进入样
品室，无法再推动为止（不可用蛮力硬推），确认“HLDR”灯亮，轻
拉样品杆直至样品杆末端台阶露出导板外，将样品杆竖起卡好。在控
制软件中，按“确定”。
1.3观察样品
（1） 待真空抽至“5×10
-4
”后，点加电压“ON”，待电流上升至选择的发
射电流后，按下“GUN”。
加速电压的设置：一般观察选择5kv，需要较高分辨率时可选用较高
的加速电压，但不要超过15kv，如果测试能谱，可选用20kv。同时
须注意，加速电压越高，分辨率越高，但电子束探测深度增加，会使
得样品表面细节被掩盖。
探针电流（Probe Current）设置：一般SEI选8， EDS选13以上，
数值越大，探针电流越大，图像信噪比越高，但分辨率越低，要获取
高分辨图像时一般取5-7；
发射电流选择：一般选择10μA；
（2） 工作距离选择：一般选用3，6和8mm，数值越小，样品离物镜越近，
分辨率越高，但景深越小；
（3） 控制图像移动可用鼠标右键单击实现，可将点击目标移至屏幕中央；
也可用鼠标左键拖动图像，鼠标左键移动范围有限，且为电子束移动，
样品不动；
（4） 观察样品和图像获取步骤：Low Mag（快速移动到要观察的样品上）
--ACB（自动黑白对比）--调焦—改变放大倍数--配合Alignment，和
像散调节—得到一幅满意的图像；
图像存储：在保存一幅图像之前，需选择扫描模式，有两种。一种是Fine View，
然后Freeze，或者是直接在Quick View时按Photo键，它包含了Fine View 和
Freeze两步操作，但时间会稍长。
1.4取出样品
（1） 取样操作会接触电镜内部，必须戴手套操作；
（2） 先关闭“Gun”，灯亮。关闭高压，按下“Exchange Position”和“Home
Position”键。确认“EXCH POSN”灯亮；
（3） 将样品杆放下置水平位置，向前轻推样品杆至无法再推动为止。先将
样品杆轻拉一小段距离，确认“EXCH POSN”灯灭，再继续向后拉
回样品杆，直至样品杆末端台阶露出导板外，将样品杆竖起卡好；
（4） 按下“Vent”键，待Vent指示灯停止闪烁，松开预抽室锁扣，打开预
抽室，取出样品，将预抽室抽好真空（按“EVAC”键）。
（5） 做完电镜需要登记，如实记录操作的时间、姓名等信息，并写上电镜
的状态（是否正常等），若有问题及时向老师汇报。
2.注意事项
（1） 在接触到样品座的所有操作，必须戴手套；
（2） 在拧样品座上的螺丝时，要轻拧，不得使大力，防止固定螺丝损坏；
（3） 换样品时样品杆只能在水平方向上平行滑动，不得随意倾斜、旋转等，
样品杆操作要在水平方向上轻推轻拉；
（4） 样品预抽室放大气前必须关闭高压系统；
（5） 关闭高压系统前必须先关闭“Gun”--灯亮。操作顺序不得反转；
（6） 在打开“Gun”--灯灭时，样品室真空度必须高于5×10
-4
Pa；
（7） 严禁测试磁性材料样品；
（8） 样品测试前必须确定其粘结的牢固程度，防止悬浮颗粒进入电镜；
（9） 工作距离“WD”一般不得小于3mm。
3.培训体会
通过这次由王京霞老师组织、陈青山工程师讲授的为期两天的电镜培训，让
我对电镜的构造、原理、基本操作及精细调节等方面有了全面精准的理解，对电
镜的认识达到了一个新的高度。
在SEM分析测试技术的培训学习之前，我以为并不难做，就像以前的实验
一样，做完实验写完实验报告就完事，直到本次学习结束时，我才知道其实并不
容易。
在做实验前，一定要将实验原理弄懂，因为这是实验的基础，否则将会使做
实验时的难度加大。做实验时一定要亲力亲为，务必将每个步骤，每个细节弄清
楚，试验结束后还要进行复习、思考，这样的印象才深刻。本次实验的学习中老
师还根据自己的切实体会交给我们一些书本上没有的知识，拓宽了我们的知识
面。
通过本次SEM分析测试技术的学习，我学到了不少实用的知识和操作技能，
更重要的是学到了做实验的过程，思考问题的方法，这与其他的实验是同用的，
真正使我们受益匪浅。
之前对电镜的基本操作在师兄师姐的指导下已基本掌握，这次培训的收获主
要是对一些细节的学习和如何获取高质量的图片。在此我举几个例子说明下。
样品台的清洁。制样时样品台要保证清洁，否则会污染电镜内部，对电镜的
真空度及探头等造成不好的影响。在以前没有太在意这个问题，只是粗略地将样
品台擦拭；以后处理样品台要保证其清洁，除去上面的导电胶等，并用乙醇或者
丙酮彻底清洁。
WD及Z轴的调节。以前在使用电镜的过程中，基本没有更改过WD的值，
一般使用的是默认的8mm，通过工程师的讲解，发现在日常的使用中可先将其
调制3mm，这样可以使图像达到比较高的分辨率；并且倍数越大时，要想得到
更高分辨率的图片，最好是降低WD的值。
样品台的倾斜（T）与旋转（R）。之前在需要观测样品斜侧面时总是找不到
合适的办法，这次通过陈工程师的示范操作，学会了断面形貌分析的步骤，T的
范围一般在-10°到70°之间。另外，我们日常用到的image rotation是图像的旋
转，其旋转的是电子束，与样品台的直接旋转是不一样的。
GB模式。一般样品为不导电或者导电性差时，容易发生充放电的现象，这
对图片的获取很不利，而GB模式通过对样品台加一个偏压（2kv）为解决这个
问题提供了一个途径。在调低加速电压不能使图片达到高分辨、不充放电时，可
以尝试GB模式。
去户籍科，找到属于自己的那页户口卡，借走原件。再和户籍科老师要一下
你们这一级的户口首页，复印一份，去保卫处（我们学校是盖的保卫处的）盖个
红章，再拿身份证原件，结婚照