2024年4月23日发(作者：丛青)
UltratechLSA101激光尖峰退火系统
企业之窗?电子工业毫用设苗■
ech展位号#5233
一
I_UltratechUnityAP30.0宽场光刻
UnityAP300
宽场光刻系统以
Ultratech的Unity
平台为创建基
础,可为很多先
进的封装应用提
供高生产率和拥
有超强的性价
比.UnityAP300W采用WynnDyson镜头设计,具
系统...........__L
有自主定位系统,使本产品易于集成到客户的生
产设施中.同时,该设备还具有针对特定市场的技
术选择,比如翘曲晶圆处理,晶圆边缘曝光,以及
晶圆边缘排除功能等.此外,该设备还具备可以有
效地满足重组晶圆和穿透硅通孔(TSV)工艺领域
新兴的3D封装要求.
UnityAP300W光刻系统为先进封装市场上
使用的现有厚或薄光阻工艺提供了领先的技术和
高度的经济价值.
.址.址.址.址.址龇.止.S屯
SEMICONChina2012,Ultratech展位号#5233
十._UItratechLSA101激光尖峰退火系
LSAl01是Ultratech最新一代激光尖峰退火
系统,支持28nm及更先进技术节点的交界激活
和其他先进的前端退火工艺.该系统以其前身
LSA100A采用的,经过实地验证的长波长技术为
基础,为高级CMOS制造提供优秀的固有优
势——在模块的内均匀性和独立于设计布局的工
艺成果上表现卓越.此外,LSA101利用新的顶级
相干光学设计,可在晶圆平面上产生更长,更集
中,更均匀的激光束,从而实现了业界领先的最大
产能一60W/h.这一产能比它的前身LSA]00A增
加了将近2倍.与LSA100A相比,新系统产能的
显着增加,使得拥有成本降低了65%.LSA101实
现了2001JS的最小驻留时间,从而减少了晶圆翘
曲和光刻叠对误差.由此所带来的灵活性,让LSA
能够以高加工温度满足高端产品需求,这一点对
于向未来具有积极应变工程设计的产品节点的扩
展来说尤为关键.通过维持
核心的长波长技术,并对上
述创新设计做出改进,
LSA101在降低所有权成本
方面实现了重大突破,同时
在系统性能和28nm及更
先进节点的可扩展性方面
实现了重要提升.
.址.址.S.址.S.址
广NordsonASYMTEK在APEX2012上
展出系列点胶解决方
点胶,涂覆与喷射技术的领先企业Nordson
ASYMTEK参展了2012IPCAPEX,并于3200展
位现场演示了其自动精确涂覆及喷射技术工艺,展
览于加州圣地亚哥举办.NordsonASYMTEK的应
用工程师们在展览现场会就设备,应用和生产工艺
与参观者进行交流.产品演示包括非接触式喷射点
2024年4月23日发(作者：丛青)
UltratechLSA101激光尖峰退火系统
企业之窗?电子工业毫用设苗■
ech展位号#5233
一
I_UltratechUnityAP30.0宽场光刻
UnityAP300
宽场光刻系统以
Ultratech的Unity
平台为创建基
础,可为很多先
进的封装应用提
供高生产率和拥
有超强的性价
比.UnityAP300W采用WynnDyson镜头设计,具
系统...........__L
有自主定位系统,使本产品易于集成到客户的生
产设施中.同时,该设备还具有针对特定市场的技
术选择,比如翘曲晶圆处理,晶圆边缘曝光,以及
晶圆边缘排除功能等.此外,该设备还具备可以有
效地满足重组晶圆和穿透硅通孔(TSV)工艺领域
新兴的3D封装要求.
UnityAP300W光刻系统为先进封装市场上
使用的现有厚或薄光阻工艺提供了领先的技术和
高度的经济价值.
.址.址.址.址.址龇.止.S屯
SEMICONChina2012,Ultratech展位号#5233
十._UItratechLSA101激光尖峰退火系
LSAl01是Ultratech最新一代激光尖峰退火
系统,支持28nm及更先进技术节点的交界激活
和其他先进的前端退火工艺.该系统以其前身
LSA100A采用的,经过实地验证的长波长技术为
基础,为高级CMOS制造提供优秀的固有优
势——在模块的内均匀性和独立于设计布局的工
艺成果上表现卓越.此外,LSA101利用新的顶级
相干光学设计,可在晶圆平面上产生更长,更集
中,更均匀的激光束,从而实现了业界领先的最大
产能一60W/h.这一产能比它的前身LSA]00A增
加了将近2倍.与LSA100A相比,新系统产能的
显着增加,使得拥有成本降低了65%.LSA101实
现了2001JS的最小驻留时间,从而减少了晶圆翘
曲和光刻叠对误差.由此所带来的灵活性,让LSA
能够以高加工温度满足高端产品需求,这一点对
于向未来具有积极应变工程设计的产品节点的扩
展来说尤为关键.通过维持
核心的长波长技术,并对上
述创新设计做出改进,
LSA101在降低所有权成本
方面实现了重大突破,同时
在系统性能和28nm及更
先进节点的可扩展性方面
实现了重要提升.
.址.址.S.址.S.址
广NordsonASYMTEK在APEX2012上
展出系列点胶解决方
点胶,涂覆与喷射技术的领先企业Nordson
ASYMTEK参展了2012IPCAPEX,并于3200展
位现场演示了其自动精确涂覆及喷射技术工艺,展
览于加州圣地亚哥举办.NordsonASYMTEK的应
用工程师们在展览现场会就设备,应用和生产工艺
与参观者进行交流.产品演示包括非接触式喷射点