2024年5月27日发(作者：萨雨旋)
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利说明书
(21)申请号 CN2.5
(22)申请日 2021.06.17
(71)申请人 叶心阳
地址 325200 浙江省温州市瑞安市安阳街道金色家园5幢1单元401室
(72)发明人 叶心阳
(74)专利代理机构 33402 杭州高盟专利代理事务所(普通合伙)
代理人 单燕君
(51)
G03F7/20(20060101)
权利要求说明书 说明书 幅图
(10)申请公布号 CN 113467192 A
(43)申请公布日 2021.10.01
(54)发明名称
置
(57)摘要
本发明一种光刻机投影物镜镜头的
一种光刻机投影物镜镜头的装调装
装调装置，包括工作台，工作台的顶端面
上对称固定连接有两个固定柱，两个固定
柱的内部均设有螺纹杆，两个固定柱的顶
端面上固定连接有固定板，固定板的顶部
设有第一电机，第一电机的输出端贯穿固
定板，固定板的内部设有活动机构，固定
板的下方设有升降板，本发明所达到的有
益效果是：活动机构可以实现调节物镜镜
头上下移动的效果，升降稳定不易出现晃
动的现象，旋转机构可以实现调节物镜镜
头水平移动的效果，可以起到将物镜镜头
进行快速对物镜镜头进行拆装更换，移动
机构可以避免出现在移动插块对物镜镜头
进行固定安装时，出现插块晃动的现象，
进而影响物镜镜头的安装固定效果。
法律状态
法律状态公告日
法律状态信息
2021-10-26
实质审查的生效
2021-12-21
发明专利申请公布后的撤回
2021-10-01
公开
法律状态
实质审查的生效
发明专利申请公布后的
撤回
公开
权 利 要 求 说 明 书
【一种光刻机投影物镜镜头的装调装置】的权利说明书内容是......请下载后查看
说 明 书
【一种光刻机投影物镜镜头的装调装置】的说明书内容是......请下载后查看
2024年5月27日发(作者：萨雨旋)
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利说明书
(21)申请号 CN2.5
(22)申请日 2021.06.17
(71)申请人 叶心阳
地址 325200 浙江省温州市瑞安市安阳街道金色家园5幢1单元401室
(72)发明人 叶心阳
(74)专利代理机构 33402 杭州高盟专利代理事务所(普通合伙)
代理人 单燕君
(51)
G03F7/20(20060101)
权利要求说明书 说明书 幅图
(10)申请公布号 CN 113467192 A
(43)申请公布日 2021.10.01
(54)发明名称
置
(57)摘要
本发明一种光刻机投影物镜镜头的
一种光刻机投影物镜镜头的装调装
装调装置，包括工作台，工作台的顶端面
上对称固定连接有两个固定柱，两个固定
柱的内部均设有螺纹杆，两个固定柱的顶
端面上固定连接有固定板，固定板的顶部
设有第一电机，第一电机的输出端贯穿固
定板，固定板的内部设有活动机构，固定
板的下方设有升降板，本发明所达到的有
益效果是：活动机构可以实现调节物镜镜
头上下移动的效果，升降稳定不易出现晃
动的现象，旋转机构可以实现调节物镜镜
头水平移动的效果，可以起到将物镜镜头
进行快速对物镜镜头进行拆装更换，移动
机构可以避免出现在移动插块对物镜镜头
进行固定安装时，出现插块晃动的现象，
进而影响物镜镜头的安装固定效果。
法律状态
法律状态公告日
法律状态信息
2021-10-26
实质审查的生效
2021-12-21
发明专利申请公布后的撤回
2021-10-01
公开
法律状态
实质审查的生效
发明专利申请公布后的
撤回
公开
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