2024年6月5日发(作者：赫寄翠)
鑫图Dhyana XF95
~100%
Peak QE
80eV-1000eV
软X射线背照式sCMOS相机
1.0
0.8
0.6
0.4
0.2
0.0
22.5
mm
x 22.5
mm
成像面积
高帧率
48fps
@4MP
10
-7
Pa
真空兼容度
应用方向:
-50°C
@20°C
深度制冷
软X射线散射，软X射线光谱，极紫外光谱，
叠层衍射成像，高次谐波辐射等。
鑫图Dhyana XF95 产品介绍
Dhyana XF95（简称：XF95）新一代软X射线背照式sCMOS相机，不仅具有超高灵敏度，大面阵、高速、高动态等
性能优势,还特别针对高能射线应用特点进行了全新性能升级和技术改造：
①采用新一代无抗反射镀膜背照式sCMOS芯片，在对应80eV-1000eV光子能量范围内量子效率大幅提升，整体超过
了90%，部分波段达到了近乎100%的超高水平，具有更专业的软X射线、极紫外成像性能和抗辐射损伤能力。
[1]
②采用鑫图全新真空制冷结构，可以兼容10
-7
Pa的真空腔体环境应用，制冷深度可低于环境温度70℃，最高可达
-50℃的深度制冷水平，大幅降低相机本底噪声和热噪声，提升相机的长时曝光工作时间。
量子效率
1.0
0.8
0.6
0.4
0.2
0.0
普通背照式sCMOS
无抗反射镀膜背照式sCMOS
主要技术参数
芯片类型
型号
Dhyana XF95
有效面积
无抗反射镀膜背照式sCMOS
11μm x 11μm
分辨率
像素尺寸
2英寸（ 22.5mm x 22.5mm ）
4MP, 2048(H) x 2048(V)
~100%
光谱范围
峰值量子效率*
读出噪声
满阱容量
80eV-1000eV，200nm-1100nm
高增益: 1.6e-(Median)
应用参考
Dhyana相机
帧率
典型值: 90ke-
真空兼容度*
数据接口
法兰尺寸
HDR: 24fps；STD: 48fps
10
-7
Pa ( Max. )
低至 -50°C (环境 25°C)
最大制冷温差
CameraLink & USB3.0
DN100CF / 接受客户定制
图1：法国SOLEIL 同步加速器光束线密室
[2]
图2：Dhyana相机186 eV光束衍射图
[2]
应用评价：“背照式sCMOS技术可以非常有吸引力的成本适应特
CCD相机相比，可显著缩短成像应用的采集时间。”
[3]
⸺ Journal of Synchrotron Radiation, 2020.
* 备注：
定应用，并且整体显示出了良好的动态范围，与常用的经典背照式
① QE值来源芯片出厂报告，详细性能评估请参考专业论文；
② 真空密封度数据来源第三方专业测评机构；
③ 相机其他光电参数评估严格执行EMVA1288测试标准。
结构尺寸
45
water connetors(2PLS)
for OD 6mm soft hose
Trigger in
Trigger out
USB 3.0 with
M3 locking screw
DC 12V
Indictor
ON/OFF Switch
110
Cameralink (2PLCS)
7.9
±0.5
Image plane of sensor
16x 8.4 Thru.
P.C.D
130.3
Horizontal
152.4
DN 100CF
4xM3
5mm
P.C.D
66
5
0
Vertical
140.1
152
Pixel(0 0)
[1]Harada, Tetsuo , et al. "High-exposure-durability, high-quantum-efficiency (>90%) backside-illuminated soft-X-ray CMOS sensor." Applied Physics Express
[2]Desjardins, K. , et al. "Characterization of a back-illuminated CMOS camera for soft x-ray coherent scattering." PROCEEDINGS OF THE 13TH INTERNATIONAL
[3]Backside-illuminated scientific CMOS detector for soft X-ray resonant scattering and ptychography[J]. Journal of Synchrotron Radiation, 2020.
CONFERENCE ON SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION ‒ SRI2018 2019.
13.1(2020):016502 (4pp).
参考：
2024年6月5日发(作者：赫寄翠)
鑫图Dhyana XF95
~100%
Peak QE
80eV-1000eV
软X射线背照式sCMOS相机
1.0
0.8
0.6
0.4
0.2
0.0
22.5
mm
x 22.5
mm
成像面积
高帧率
48fps
@4MP
10
-7
Pa
真空兼容度
应用方向:
-50°C
@20°C
深度制冷
软X射线散射，软X射线光谱，极紫外光谱，
叠层衍射成像，高次谐波辐射等。
鑫图Dhyana XF95 产品介绍
Dhyana XF95（简称：XF95）新一代软X射线背照式sCMOS相机，不仅具有超高灵敏度，大面阵、高速、高动态等
性能优势,还特别针对高能射线应用特点进行了全新性能升级和技术改造：
①采用新一代无抗反射镀膜背照式sCMOS芯片，在对应80eV-1000eV光子能量范围内量子效率大幅提升，整体超过
了90%，部分波段达到了近乎100%的超高水平，具有更专业的软X射线、极紫外成像性能和抗辐射损伤能力。
[1]
②采用鑫图全新真空制冷结构，可以兼容10
-7
Pa的真空腔体环境应用，制冷深度可低于环境温度70℃，最高可达
-50℃的深度制冷水平，大幅降低相机本底噪声和热噪声，提升相机的长时曝光工作时间。
量子效率
1.0
0.8
0.6
0.4
0.2
0.0
普通背照式sCMOS
无抗反射镀膜背照式sCMOS
主要技术参数
芯片类型
型号
Dhyana XF95
有效面积
无抗反射镀膜背照式sCMOS
11μm x 11μm
分辨率
像素尺寸
2英寸（ 22.5mm x 22.5mm ）
4MP, 2048(H) x 2048(V)
~100%
光谱范围
峰值量子效率*
读出噪声
满阱容量
80eV-1000eV，200nm-1100nm
高增益: 1.6e-(Median)
应用参考
Dhyana相机
帧率
典型值: 90ke-
真空兼容度*
数据接口
法兰尺寸
HDR: 24fps；STD: 48fps
10
-7
Pa ( Max. )
低至 -50°C (环境 25°C)
最大制冷温差
CameraLink & USB3.0
DN100CF / 接受客户定制
图1：法国SOLEIL 同步加速器光束线密室
[2]
图2：Dhyana相机186 eV光束衍射图
[2]
应用评价：“背照式sCMOS技术可以非常有吸引力的成本适应特
CCD相机相比，可显著缩短成像应用的采集时间。”
[3]
⸺ Journal of Synchrotron Radiation, 2020.
* 备注：
定应用，并且整体显示出了良好的动态范围，与常用的经典背照式
① QE值来源芯片出厂报告，详细性能评估请参考专业论文；
② 真空密封度数据来源第三方专业测评机构；
③ 相机其他光电参数评估严格执行EMVA1288测试标准。
结构尺寸
45
water connetors(2PLS)
for OD 6mm soft hose
Trigger in
Trigger out
USB 3.0 with
M3 locking screw
DC 12V
Indictor
ON/OFF Switch
110
Cameralink (2PLCS)
7.9
±0.5
Image plane of sensor
16x 8.4 Thru.
P.C.D
130.3
Horizontal
152.4
DN 100CF
4xM3
5mm
P.C.D
66
5
0
Vertical
140.1
152
Pixel(0 0)
[1]Harada, Tetsuo , et al. "High-exposure-durability, high-quantum-efficiency (>90%) backside-illuminated soft-X-ray CMOS sensor." Applied Physics Express
[2]Desjardins, K. , et al. "Characterization of a back-illuminated CMOS camera for soft x-ray coherent scattering." PROCEEDINGS OF THE 13TH INTERNATIONAL
[3]Backside-illuminated scientific CMOS detector for soft X-ray resonant scattering and ptychography[J]. Journal of Synchrotron Radiation, 2020.
CONFERENCE ON SYNCHROTRON RADIATION INSTRUMENTATION ‒ SRI2018 2019.
13.1(2020):016502 (4pp).
参考：