2024年8月28日发(作者：欧阳子安)
SUNSTAR传感与控制/TEL:FAX:E-MAIL:**************
气流质量传感器
系列
小流量
放大
特点：
激光校整保证了一致的互换性
●
测量流速可至
1.0LPM
●
AWM3000
系列是输出为
1-5V
的气体质量流量传感器，图
1
、图
2
、图
3
分别为传感器内部的发热器控制电路、双传感电路、差分放大电路
图
1
发热控制电路
图
2
传感桥供电电路
技术规格
：
10.0
±
0.01VDC
AWM3100V
流量范围（
span
）
压力范围
(psi)
(
参照附录
)
输出电压
@
标定点
零点电压
零点漂移
+25~-25
˚
C
+25~+85
˚
C
输出电压漂移
Max
+25~-25
˚
C
+25~+85
˚
C
重复性
&
迟滞
Max
-4%
读数
+4%
读数
±0.5
%
读数
±5.0
%
读数
±5.0
%
读数
± 1
%
读数
+24.0%
读数
-24.0%
读数
±0.5
%
读数
-5%
读数
+5%
读数
±1
%
读数
±25mV±100mV
±25mV
±25mV
5VDC@
200sccm
3.4VDC@
25sccm
±
2.0
”水柱
5VDC@
2
”水柱
1.00±0.08mV
5VDC
1000sccm
1.00±0.1VDC
+200sccm
AWM3150V
+30sccm
AWM3200V
AWM3300V
+1000sccm
1.00±0.05VDC1.00±0.1VDC
图
3
差分放大电路
Min
电源（
VDC
）
功耗（
mW
）
反应时间（
ms
）
共模压力
(psi)
工作温度
储存温度（˚
C
）
冲击
(5drops,6axis)
8.0
---
---
---
-25~85
˚
C
-40~90
˚
C
100g
峰值
(5drops,6axis)
Typ.
10
±0
.01
50
1.0
---
Max.
15 (2)
60
3.0 (1)
25
注：
1
、信号处理最初预热所须时间最多
1
分钟
2
、输出电压随电源电压而比率变化
3
、
差压器件的温漂主要是由气体的浓度随温度而变化
气流器件的温漂主要是薄膜
TCR
的系数的二次根及厚膜电阻的温飘，加上运放的
温飘
安装尺寸
4
、为防止损坏，最大允许流量变化值：
5.0SLPM/1.0
秒
推荐型号
AWM3100V
AWM3201CR
AWM3200V
AWM3300V
注：正向气流方向被定义为从
P
１孔流向
P2
孔，并导致正的输出，不要施加超过
10
磅的力在２个测量空孔的每个方向上。
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- 47 -
量程
+200SCCM
±0.5英寸水
±2英寸水
+1000SCCM
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气流质量传感器
系列
小流量
/
无放大
输出气流
VS
器件互换性
AWM3100V
Flow
Sccm
200
175
150
125
100
75
50
20
0
NOM
VDC
5.00
4.80
4.50
4.17
3.75
3.27
2.67
1.90
1.00
TOL
V
0.15
0.16
0.17
0.18
0.19
0.19
0.17
0.13
0.05
Flow
Sccm
30
20
10
5
4
3
2
1
0
AWM3150V
NOM
VDC
3.75
2.90
1.95
1.50
1.40
1.30
1.20
1.10
1.00
TOL
±m
V
0.70
0.45
0.20
0.10
0.08
0.08
0.07
0.06
0.05
Pressure
in H
2
O
2.00
1.75
1.50
1.25
1.00
0.75
0.50
0.25
0.00
AWM3200V
NOM
VDC
5.00
4.59
4.16
3.70
3.25
2.65
2.15
1.55
1.00
TOL
±mV
0.15
0.15
0.16
0.20
0.22
0.22
0.19
0.11
0.08
Flow
Sccm
1000
900
800
700
600
500
400
300
200
100
0
AWM3300V
NOM
VDC
5.00
4.90
4.80
4.66
4.42
4.18
3.82
3.41
2.96
2.30
1.00
TOL
±
mV
0.15
0.16
0.17
0.18
0.19
0.20
0.21
0.19
0.17
0.14
0.10
输出曲线
AWM3150V
输出电压
VS
气流
AWM3100V
输出电压
VS
气流
AWM3200V
输出电压
VS
气流
AWM3300V
输出电压
VS
气流
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- 48 -
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气流质量传感器
系列
微差压
/
双向流量测量
AWM3000
系列新产品
●
技术规格
：
10.0
±
0.01VDC
AWM3200CR*
流量范围（
span
）
压力范围
(psi)
输出类型
输出
@
标定点
零点输出
零点漂移
-25
～
+25
˚C
+25
～
85
˚C
输出温漂
Max
+25
～
-25
˚C
+25
～
85
˚C
线性误差
外接输出阻抗
反应时间（
ms
）注
1
重复性
&
迟滞
Max
电源（
VDC
）
±
5mA DC(max)
±
0.7mA DC(max)
+24%
读数
-31%
读数
±
5%
读数
100~300
Ω
60ms(max)
±
0.5%
读数
10
±
0.01
Min
功耗（
mW
）
共模压力（
psi
）
标定气体
工作温度
储存温度（˚C）
冲击
---
---
氮气
-25~85
˚C
-40~90
˚C
100g
峰值
(5drops,6axis)
±
0.4mA DC(max)
±
0.6mA DC(max), 0.1mA typ
+32%
读数
注
3
-32%
读数
±
5%
读数
100-300
Ω
60ms(max)
±
0.5%
读数
10±0.01
Typ.
50
---
100
25
-5%
读数
+5%
读数
---
---
3ms
±
1%
读数
8-15
±
0.050VDC
0- 2
”水柱
4-20mA DC
（线性）
20.0
±
1 mA DC @2"H
2
O
4.00
±
0.3mA DC
1- 0.5
”水柱
4-20mA DC
（线性）
20.0
±
1 mA DC @5"H
2
O
4.00
±
0.4mA DC
1-5VDC(
注
2)
5.00
±
0.150VDC
3.00
±
0.05VDC
AWM3201CR*
AWM3303V
±
1000sccm(1 SLPM)
AWM3200CR
水
-
利用热微桥原理测量
2
”
柱微差压，
4-20mA
标准输
出
AWM3201CR
-
利用热微桥原理测量
0.5
”
水柱微差压，
4-20mA
标准
输出
AWM3303V
-1
升
/
分钟流量双向测量
●
●
输出气流
VS
器件互换性
*AWM3200CR
与
AWM3201CR
为线性
4-20mA
输出，见图
AWM3303V
Flow
Sccm
1000
800
600
400
200
0
-200
-400
-600
-800
-1000
NOM
VDC
5.00
4.82
4.67
4.42
3.96
3.00
2.03
1.62
1.35
1.15
1.00
TOL
±
mV
0.15
0.18
0.20
0.20
0.15
0.05
0.18
0.20
0.25
0.30
0.35
注：
1
、信号处理最初预热所须时间最多
1
分钟
2
、输出电压随电源电压而比率变化
3
、差压器件的温漂主要是由于气体的浓度随温度而变化
气流器件的温漂主要是由于薄膜
TCR
的系数的二次根及厚膜电阻的温漂，加上运放的温漂
*5
微米过滤网必须在微差压传感器上
输出曲线
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- 49 -
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SUNSTAR商斯达实业集团是集研发、生产、工程、销售、代理经销 、技术咨询、信息服务等
为一体的高科技企业，是专业高科技电子产品生产厂家，是具有10多年历史的专业电子元器件
供应商，是中国最早和最大的仓储式连锁规模经营大型综合电子零部件代理分销商之一,是一家
专业代理和分銷世界各大品牌IC芯片和電子元器件的连锁经营綜合性国际公司，专业经营进口、
国产名厂名牌电子元件，型号、种类齐全。在香港、北京、深圳、上海、西安、成都等全国主要
电子市场设有直属分公司和产品展示展销窗口门市部专卖店及代理分销商，已在全国范围内建成
强大统一的供货和代理分销网络。 我们专业代理经销、开发生产电子元器件、集成电路、传感
器、微波光电元器件、工控机/DOC/DOM电子盘、专用电路、单片机开发、MCU/DSP/ARM/FPGA
软件硬件、二极管、三极管、模块等，是您可靠的一站式现货配套供应商、方案提供商、部件功
能模块开发配套商。商斯达实业公司拥有庞大的资料库，有数位毕业于著名高校——有中国电子
工业摇篮之称的西安电子科技大学（西军电）并长期从事国防尖端科技研究的高级工程师为您精
挑细选、量身订做各种高科技电子元器件，并解决各种技术问题。
更多产品请看本公司产品专用销售网站:
商斯达中国传感器科技信息网：/
商斯达工控安防网：/
商斯达电子元器件网：/
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传感器销售热线：
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深圳赛格展销部：深圳华强北路赛格电子市场2583号 电话： 25059422
技术支持:
欢迎索取免费详细资料、设计指南和光盘 ；产品凡多，未能尽录，欢迎来电查询。
北京分公司：北京海淀区知春路132号中发电子大厦3097号
TEL：************82615020 135****9838FAX：************
上海分公司：上海市北京东路668号上海賽格电子市场2B35号
TEL：************56703037 137****5389FAX：************
西安分公司：西安高新开发区20所(中国电子科技集团导航技术研究所)
西安劳动南路88号电子商城二楼D23号
TEL：************130****7981FAX*************
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2024年8月28日发(作者：欧阳子安)
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气流质量传感器
系列
小流量
放大
特点：
激光校整保证了一致的互换性
●
测量流速可至
1.0LPM
●
AWM3000
系列是输出为
1-5V
的气体质量流量传感器，图
1
、图
2
、图
3
分别为传感器内部的发热器控制电路、双传感电路、差分放大电路
图
1
发热控制电路
图
2
传感桥供电电路
技术规格
：
10.0
±
0.01VDC
AWM3100V
流量范围（
span
）
压力范围
(psi)
(
参照附录
)
输出电压
@
标定点
零点电压
零点漂移
+25~-25
˚
C
+25~+85
˚
C
输出电压漂移
Max
+25~-25
˚
C
+25~+85
˚
C
重复性
&
迟滞
Max
-4%
读数
+4%
读数
±0.5
%
读数
±5.0
%
读数
±5.0
%
读数
± 1
%
读数
+24.0%
读数
-24.0%
读数
±0.5
%
读数
-5%
读数
+5%
读数
±1
%
读数
±25mV±100mV
±25mV
±25mV
5VDC@
200sccm
3.4VDC@
25sccm
±
2.0
”水柱
5VDC@
2
”水柱
1.00±0.08mV
5VDC
1000sccm
1.00±0.1VDC
+200sccm
AWM3150V
+30sccm
AWM3200V
AWM3300V
+1000sccm
1.00±0.05VDC1.00±0.1VDC
图
3
差分放大电路
Min
电源（
VDC
）
功耗（
mW
）
反应时间（
ms
）
共模压力
(psi)
工作温度
储存温度（˚
C
）
冲击
(5drops,6axis)
8.0
---
---
---
-25~85
˚
C
-40~90
˚
C
100g
峰值
(5drops,6axis)
Typ.
10
±0
.01
50
1.0
---
Max.
15 (2)
60
3.0 (1)
25
注：
1
、信号处理最初预热所须时间最多
1
分钟
2
、输出电压随电源电压而比率变化
3
、
差压器件的温漂主要是由气体的浓度随温度而变化
气流器件的温漂主要是薄膜
TCR
的系数的二次根及厚膜电阻的温飘，加上运放的
温飘
安装尺寸
4
、为防止损坏，最大允许流量变化值：
5.0SLPM/1.0
秒
推荐型号
AWM3100V
AWM3201CR
AWM3200V
AWM3300V
注：正向气流方向被定义为从
P
１孔流向
P2
孔，并导致正的输出，不要施加超过
10
磅的力在２个测量空孔的每个方向上。
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- 47 -
量程
+200SCCM
±0.5英寸水
±2英寸水
+1000SCCM
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气流质量传感器
系列
小流量
/
无放大
输出气流
VS
器件互换性
AWM3100V
Flow
Sccm
200
175
150
125
100
75
50
20
0
NOM
VDC
5.00
4.80
4.50
4.17
3.75
3.27
2.67
1.90
1.00
TOL
V
0.15
0.16
0.17
0.18
0.19
0.19
0.17
0.13
0.05
Flow
Sccm
30
20
10
5
4
3
2
1
0
AWM3150V
NOM
VDC
3.75
2.90
1.95
1.50
1.40
1.30
1.20
1.10
1.00
TOL
±m
V
0.70
0.45
0.20
0.10
0.08
0.08
0.07
0.06
0.05
Pressure
in H
2
O
2.00
1.75
1.50
1.25
1.00
0.75
0.50
0.25
0.00
AWM3200V
NOM
VDC
5.00
4.59
4.16
3.70
3.25
2.65
2.15
1.55
1.00
TOL
±mV
0.15
0.15
0.16
0.20
0.22
0.22
0.19
0.11
0.08
Flow
Sccm
1000
900
800
700
600
500
400
300
200
100
0
AWM3300V
NOM
VDC
5.00
4.90
4.80
4.66
4.42
4.18
3.82
3.41
2.96
2.30
1.00
TOL
±
mV
0.15
0.16
0.17
0.18
0.19
0.20
0.21
0.19
0.17
0.14
0.10
输出曲线
AWM3150V
输出电压
VS
气流
AWM3100V
输出电压
VS
气流
AWM3200V
输出电压
VS
气流
AWM3300V
输出电压
VS
气流
SUNSTAR自动化/TEL:FAX:E-MAIL:**************
- 48 -
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气流质量传感器
系列
微差压
/
双向流量测量
AWM3000
系列新产品
●
技术规格
：
10.0
±
0.01VDC
AWM3200CR*
流量范围（
span
）
压力范围
(psi)
输出类型
输出
@
标定点
零点输出
零点漂移
-25
～
+25
˚C
+25
～
85
˚C
输出温漂
Max
+25
～
-25
˚C
+25
～
85
˚C
线性误差
外接输出阻抗
反应时间（
ms
）注
1
重复性
&
迟滞
Max
电源（
VDC
）
±
5mA DC(max)
±
0.7mA DC(max)
+24%
读数
-31%
读数
±
5%
读数
100~300
Ω
60ms(max)
±
0.5%
读数
10
±
0.01
Min
功耗（
mW
）
共模压力（
psi
）
标定气体
工作温度
储存温度（˚C）
冲击
---
---
氮气
-25~85
˚C
-40~90
˚C
100g
峰值
(5drops,6axis)
±
0.4mA DC(max)
±
0.6mA DC(max), 0.1mA typ
+32%
读数
注
3
-32%
读数
±
5%
读数
100-300
Ω
60ms(max)
±
0.5%
读数
10±0.01
Typ.
50
---
100
25
-5%
读数
+5%
读数
---
---
3ms
±
1%
读数
8-15
±
0.050VDC
0- 2
”水柱
4-20mA DC
（线性）
20.0
±
1 mA DC @2"H
2
O
4.00
±
0.3mA DC
1- 0.5
”水柱
4-20mA DC
（线性）
20.0
±
1 mA DC @5"H
2
O
4.00
±
0.4mA DC
1-5VDC(
注
2)
5.00
±
0.150VDC
3.00
±
0.05VDC
AWM3201CR*
AWM3303V
±
1000sccm(1 SLPM)
AWM3200CR
水
-
利用热微桥原理测量
2
”
柱微差压，
4-20mA
标准输
出
AWM3201CR
-
利用热微桥原理测量
0.5
”
水柱微差压，
4-20mA
标准
输出
AWM3303V
-1
升
/
分钟流量双向测量
●
●
输出气流
VS
器件互换性
*AWM3200CR
与
AWM3201CR
为线性
4-20mA
输出，见图
AWM3303V
Flow
Sccm
1000
800
600
400
200
0
-200
-400
-600
-800
-1000
NOM
VDC
5.00
4.82
4.67
4.42
3.96
3.00
2.03
1.62
1.35
1.15
1.00
TOL
±
mV
0.15
0.18
0.20
0.20
0.15
0.05
0.18
0.20
0.25
0.30
0.35
注：
1
、信号处理最初预热所须时间最多
1
分钟
2
、输出电压随电源电压而比率变化
3
、差压器件的温漂主要是由于气体的浓度随温度而变化
气流器件的温漂主要是由于薄膜
TCR
的系数的二次根及厚膜电阻的温漂，加上运放的温漂
*5
微米过滤网必须在微差压传感器上
输出曲线
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