2024年8月29日发(作者：洋尔阳)

SEMI MF

1188-1105

36

用短基线红外吸收法测试硅中间隙原子

氧含量

SEMI MF

1153-1106

SEMI MF

1152-0305

SEMI MF

1049-0304

SEMI

MF1048-1105

SEMI MF

978-1106

37

38

39

40

41

SEMI MF

951-0305

SEMI MF

950-1106

SEMI MF

928-0305

SEMI MF

847-0705

SEMI MF

728-1106

SEMI MF

723-1105

SEMI MF

674-0705

SEMI MF

673-1105

SEMI MF

672-0706

SEMI MF

671-0705

SEMI MF

标准名称

42

43

44

45 尺寸测量用光学显微镜预置标准

掺硼、掺磷和掺砷硅片的电阻率与掺杂

剂浓度的换算惯例

扩展电阻测量用硅的制备

46

47

48

49

50

51

657-0705

52

SEMI MF

576-0706

SEMI MF

534-9796

SEMI MF

533-0706

SEMI MF

525-0705

SEMI MF

523-0706

SEMI MF

397-1106

SEMI MF

391-1106

SEMI M F

374-1105

SEMI MF

154-1105

53

54

55

56 硅抛光片的目检规程

57

58

59

鉴别镜面状硅片外表观察到的结构和沾

污的指南

60

61

SEMI MF

110-1105

SEMI MF

95-1105

SEMI MF

84-1105

SEMI MF

81-1105

SEMI MF

43-0705

SEMI MF

42-1105

SEMI MF

28-1106

标准名称

62

63

64

65

66

67

68

SEMI MF

26-0305

SEMI

ME1392-3005

在外表反射或散射的角分辨光散射测量

指南

69

2024年8月29日发(作者：洋尔阳)

SEMI MF

1188-1105

36

用短基线红外吸收法测试硅中间隙原子

氧含量

SEMI MF

1153-1106

SEMI MF

1152-0305

SEMI MF

1049-0304

SEMI

MF1048-1105

SEMI MF

978-1106

37

38

39

40

41

SEMI MF

951-0305

SEMI MF

950-1106

SEMI MF

928-0305

SEMI MF

847-0705

SEMI MF

728-1106

SEMI MF

723-1105

SEMI MF

674-0705

SEMI MF

673-1105

SEMI MF

672-0706

SEMI MF

671-0705

SEMI MF

标准名称

42

43

44

45 尺寸测量用光学显微镜预置标准

掺硼、掺磷和掺砷硅片的电阻率与掺杂

剂浓度的换算惯例

扩展电阻测量用硅的制备

46

47

48

49

50

51

657-0705

52

SEMI MF

576-0706

SEMI MF

534-9796

SEMI MF

533-0706

SEMI MF

525-0705

SEMI MF

523-0706

SEMI MF

397-1106

SEMI MF

391-1106

SEMI M F

374-1105

SEMI MF

154-1105

53

54

55

56 硅抛光片的目检规程

57

58

59

鉴别镜面状硅片外表观察到的结构和沾

污的指南

60

61

SEMI MF

110-1105

SEMI MF

95-1105

SEMI MF

84-1105

SEMI MF

81-1105

SEMI MF

43-0705

SEMI MF

42-1105

SEMI MF

28-1106

标准名称

62

63

64

65

66

67

68

SEMI MF

26-0305

SEMI

ME1392-3005

在外表反射或散射的角分辨光散射测量

指南

69