2024年3月26日发(作者：徐吉帆)
真空热处理工艺
所谓真空热处理是工件在10
-1
~10
-2
Pa真空介质中进行加热到所需要的温度，然后在不同介质中以不
同冷却的热处理方法。
真空热处理被当代热处理界称为高效、节能和无污染的清洁热处理。真空热处理的零件具有无氧化，
无脱碳、脱气、脱脂，表面质量好，变形小，综合力学性能高，可靠性好等一系列优点。因此，真空热
处理受到国内外广泛的重视和普遍的应用。并把真空热处理普及程度作为衡量一个国家热处理技术水平
的重要标志。真空热处理技术是近四十年以来热处理工艺发展的热点，也是当今先进制造技术的重要领
域。
一、真空热处理工艺原理和真空热处理和加热特点
（1）金属在真空状态下的相变特点。
在与大气压只差0.1MPa范围内的真空下，固态相变热力学、动力学不产生什么变化。在制订真空
热处理工艺规程时，完全可以依据在常压下固态相变的原理。完全可以参考常压下各种类型组织转变的
数据。
（2）真空脱气作用，提高金属材料的物理性能和力学性能。
（3）真空脱脂作用。
（4）金属的蒸发：在真空状态下加热，工件表面元素会发生蒸发现象。
表一各种金属的蒸气压
金属
Cu
Ag
Be
Mg
Ca
Ba
Zn
Cd
Hg
Ae
Li
Na
K
In
C
Si
Ti
Zr
Sn
达到下列蒸气压的平衡温度（℃）
10
-2
Pa
1035
848
1029
301
463
406
248
180
-5.5
808
377
195
123
746
2288
1116
1249
1660
922
10
-1
Pa
1141
936
1130
331
528
546
292
220
13
889
439
238
161
840
2471
1223
1384
1861
1042
1Pa
1273
1047
1246
343
605
629
323
264
48
996
514
291
207
952
2681
1343
1546
2001
1189
10Pa
1422
1184
1395
515
700
730
405
321
82
1123
607
356
265
1088
2926
1485
1742
2212
1373
133Pa
1628
1353
1582
605
817
858
-
-
126
1179
725
437
338
1260
3214
1670
-
2549
1609
熔点（℃）
1038
961
1284
651
851
717
419
321
-38.9
660
179
98
64
157
-
1410
1721
1830
232
2024年3月26日发(作者：徐吉帆)
真空热处理工艺
所谓真空热处理是工件在10
-1
~10
-2
Pa真空介质中进行加热到所需要的温度，然后在不同介质中以不
同冷却的热处理方法。
真空热处理被当代热处理界称为高效、节能和无污染的清洁热处理。真空热处理的零件具有无氧化，
无脱碳、脱气、脱脂，表面质量好，变形小，综合力学性能高，可靠性好等一系列优点。因此，真空热
处理受到国内外广泛的重视和普遍的应用。并把真空热处理普及程度作为衡量一个国家热处理技术水平
的重要标志。真空热处理技术是近四十年以来热处理工艺发展的热点，也是当今先进制造技术的重要领
域。
一、真空热处理工艺原理和真空热处理和加热特点
（1）金属在真空状态下的相变特点。
在与大气压只差0.1MPa范围内的真空下，固态相变热力学、动力学不产生什么变化。在制订真空
热处理工艺规程时，完全可以依据在常压下固态相变的原理。完全可以参考常压下各种类型组织转变的
数据。
（2）真空脱气作用，提高金属材料的物理性能和力学性能。
（3）真空脱脂作用。
（4）金属的蒸发：在真空状态下加热，工件表面元素会发生蒸发现象。
表一各种金属的蒸气压
金属
Cu
Ag
Be
Mg
Ca
Ba
Zn
Cd
Hg
Ae
Li
Na
K
In
C
Si
Ti
Zr
Sn
达到下列蒸气压的平衡温度（℃）
10
-2
Pa
1035
848
1029
301
463
406
248
180
-5.5
808
377
195
123
746
2288
1116
1249
1660
922
10
-1
Pa
1141
936
1130
331
528
546
292
220
13
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1384
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1042
1Pa
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605
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1546
2001
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-
-
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437
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-
2549
1609
熔点（℃）
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660
179
98
64
157
-
1410
1721
1830
232