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光学薄膜现代分析测试方法

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2024年4月26日发(作者:汉冷之)

一、金相实验室

• Leica DM/RM 光学显微镜

主要特性:用于金相显微分析,可直观检测金属材料的微观组织,如原材料缺陷、偏

析、初生碳化物、脱碳层、氮化层及焊接、冷加工、铸造、锻造、热处理等等不同状态下

的组织组成,从而判断材质优劣。须进行样品制备工作,最大放大倍数约1400倍。

• Leica 体视显微镜

主要特性:1、用于观察材料的表面低倍形貌,初步判断材质缺陷;

2、观察断口的宏观断裂形貌,初步判断裂纹起源。

• 热振光模拟显微镜

• 图象分析仪

• 莱卡DM/RM 显微镜附 CCD数码 照相装置

[

二、电子显微镜实验室

• 扫描电子显微镜(附电子探针) (JEOL JSM5200,JOEL JSM820,JEOL JSM6335)

主要特性:

1、用于断裂分析、断口的高倍显微形貌分析,如解理断裂、疲劳断裂(疲劳辉纹)、

晶间断裂(氢脆、应力腐蚀、蠕变、高温回火脆性、起源于晶界的脆性物、析出物等)、侵

蚀形貌、侵蚀产物分析及焊缝分析。

2、附带能谱,用于微区成分分析及较小样品的成分分析、晶体学分析,测量点阵参数

/合金相、夹杂物分析、浓度梯度测定等。

3、用于金属、半导体、电子陶瓷、电容器的失效分析及材质检验、放大倍率:

10X—300,000X;样品尺寸:—10cm;分辩率:1—50nm。

• 透射电子显微镜(菲利蒲 CM-20,CM-200)

主要特性:

1、需进行试样制备为金属薄膜,试样厚度须<200nm。用于薄膜表面科学分析,带能

谱,可进行化学成分分析。

2、有三种衍射花样:斑点花样、菊池线花样、会聚束花样。斑点花样用于确定第二相、

孪晶、有序化、调幅结构、取向关系、成象衍射条件。菊池线花样用于衬度分析、结构分

析、相变分析以及晶体精确取向、布拉格位移矢量、电子波长测定。会聚束花样用于测定

2024年4月26日发(作者:汉冷之)

一、金相实验室

• Leica DM/RM 光学显微镜

主要特性:用于金相显微分析,可直观检测金属材料的微观组织,如原材料缺陷、偏

析、初生碳化物、脱碳层、氮化层及焊接、冷加工、铸造、锻造、热处理等等不同状态下

的组织组成,从而判断材质优劣。须进行样品制备工作,最大放大倍数约1400倍。

• Leica 体视显微镜

主要特性:1、用于观察材料的表面低倍形貌,初步判断材质缺陷;

2、观察断口的宏观断裂形貌,初步判断裂纹起源。

• 热振光模拟显微镜

• 图象分析仪

• 莱卡DM/RM 显微镜附 CCD数码 照相装置

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二、电子显微镜实验室

• 扫描电子显微镜(附电子探针) (JEOL JSM5200,JOEL JSM820,JEOL JSM6335)

主要特性:

1、用于断裂分析、断口的高倍显微形貌分析,如解理断裂、疲劳断裂(疲劳辉纹)、

晶间断裂(氢脆、应力腐蚀、蠕变、高温回火脆性、起源于晶界的脆性物、析出物等)、侵

蚀形貌、侵蚀产物分析及焊缝分析。

2、附带能谱,用于微区成分分析及较小样品的成分分析、晶体学分析,测量点阵参数

/合金相、夹杂物分析、浓度梯度测定等。

3、用于金属、半导体、电子陶瓷、电容器的失效分析及材质检验、放大倍率:

10X—300,000X;样品尺寸:—10cm;分辩率:1—50nm。

• 透射电子显微镜(菲利蒲 CM-20,CM-200)

主要特性:

1、需进行试样制备为金属薄膜,试样厚度须<200nm。用于薄膜表面科学分析,带能

谱,可进行化学成分分析。

2、有三种衍射花样:斑点花样、菊池线花样、会聚束花样。斑点花样用于确定第二相、

孪晶、有序化、调幅结构、取向关系、成象衍射条件。菊池线花样用于衬度分析、结构分

析、相变分析以及晶体精确取向、布拉格位移矢量、电子波长测定。会聚束花样用于测定

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