2024年5月20日发(作者：周莹玉)

FPA—2000il型i线步进机

郑国强;王庆丰

【期刊名称】《电子工业专用设备》

【年(卷),期】1991(020)003

【摘 要】FPA—2000il型i线步进机是日本佳能公司生产的用于16MDRAM批量

生产的机型。该装置配备了数值孔径为0.52、曝光面积为加20mm见方的i谱线

透镜。16MDRAM的设计规范约为0.5μm。FPA一2000il型机具有0.5μm的分

辨率,是满足0.5μm工艺时代的大数值孔径i线步进机。

【总页数】5页(P57-61)

【作 者】郑国强;王庆丰

【作者单位】不详;不详

【正文语种】中 文

【中图分类】TN470.57

【相关文献】

1.采用逐场调平和总体对准技术的0.54NAi线片子步进机 [J], Brin.,MA;童志义

2.0.5μm光刻采用大数孔径i线步进机 [J], Arno.,WH;葛励冲

3.河钢邯钢中板厂中板线步进炉托出机出钢能力优化提升 [J], 周小磊;寇腾飞;李岳;

黄琼

4.一种新型的I线和DUV线步进机的设计思路 [J], Unge.,R

5.用L298实现雷管脚线合股剥皮机多步进电机控制 [J], 李文江;汝长青;张岩

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2024年5月20日发(作者：周莹玉)

FPA—2000il型i线步进机

郑国强;王庆丰

【期刊名称】《电子工业专用设备》

【年(卷),期】1991(020)003

【摘 要】FPA—2000il型i线步进机是日本佳能公司生产的用于16MDRAM批量

生产的机型。该装置配备了数值孔径为0.52、曝光面积为加20mm见方的i谱线

透镜。16MDRAM的设计规范约为0.5μm。FPA一2000il型机具有0.5μm的分

辨率,是满足0.5μm工艺时代的大数值孔径i线步进机。

【总页数】5页(P57-61)

【作 者】郑国强;王庆丰

【作者单位】不详;不详

【正文语种】中 文

【中图分类】TN470.57

【相关文献】

1.采用逐场调平和总体对准技术的0.54NAi线片子步进机 [J], Brin.,MA;童志义

2.0.5μm光刻采用大数孔径i线步进机 [J], Arno.,WH;葛励冲

3.河钢邯钢中板厂中板线步进炉托出机出钢能力优化提升 [J], 周小磊;寇腾飞;李岳;

黄琼

4.一种新型的I线和DUV线步进机的设计思路 [J], Unge.,R

5.用L298实现雷管脚线合股剥皮机多步进电机控制 [J], 李文江;汝长青;张岩

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