2024年5月30日发(作者：洪惜天)

氦质谱检漏仪原理

氦质谱检漏仪是一种常用的气体检测设备，它主要用于检测和

定位微小的气体泄漏点。其原理基于气体分子在电场中的电离

和加速运动过程，并通过质谱仪进行分析和检测。

具体原理如下：

1. 气体进样：被测气体（通常为氦气）通过进样系统进入质谱

仪。进样方式可以是直接进入或者通过泵抽取。

2. 电离：进入质谱仪的氦气通过电离器（通常为电子轰击电离

器）被电子轰击后发生电离，即氦气分子损失一个或多个电子

而形成正离子。这些正离子具有较高的能量。

3. 加速：经过电离的氦气正离子通过加速器被加速到高速，具

备足够的动能以便能够进入质谱仪的质量分析区域。

4. 质量分析：加速后的氦气正离子进入质谱仪的磁场区域。利

用磁场的弯曲效应，根据正离子的质量-电荷比进行分离和筛

选。在磁场的作用下，不同质量的正离子会分别偏转到不同的

角度，并最终达到质谱仪的离子计数器。

5. 检测与分析：质谱仪的离子计数器对不同质量的氦气正离子

进行计数和分析。通过测量各个质量的氦气正离子的数目和能

量，可以确定被测气体中的氦气浓度和泄漏位置。

通过以上步骤，氦质谱检漏仪可以实现对微小气体泄漏的检测

和定位。由于氦气具有较小的分子尺寸和良好的扩散性能，使

得该检漏仪非常灵敏，对于气体泄漏点的检测具有很高的精度

和可靠性。

2024年5月30日发(作者：洪惜天)

氦质谱检漏仪原理

氦质谱检漏仪是一种常用的气体检测设备，它主要用于检测和

定位微小的气体泄漏点。其原理基于气体分子在电场中的电离

和加速运动过程，并通过质谱仪进行分析和检测。

具体原理如下：

1. 气体进样：被测气体（通常为氦气）通过进样系统进入质谱

仪。进样方式可以是直接进入或者通过泵抽取。

2. 电离：进入质谱仪的氦气通过电离器（通常为电子轰击电离

器）被电子轰击后发生电离，即氦气分子损失一个或多个电子

而形成正离子。这些正离子具有较高的能量。

3. 加速：经过电离的氦气正离子通过加速器被加速到高速，具

备足够的动能以便能够进入质谱仪的质量分析区域。

4. 质量分析：加速后的氦气正离子进入质谱仪的磁场区域。利

用磁场的弯曲效应，根据正离子的质量-电荷比进行分离和筛

选。在磁场的作用下，不同质量的正离子会分别偏转到不同的

角度，并最终达到质谱仪的离子计数器。

5. 检测与分析：质谱仪的离子计数器对不同质量的氦气正离子

进行计数和分析。通过测量各个质量的氦气正离子的数目和能

量，可以确定被测气体中的氦气浓度和泄漏位置。

通过以上步骤，氦质谱检漏仪可以实现对微小气体泄漏的检测

和定位。由于氦气具有较小的分子尺寸和良好的扩散性能，使

得该检漏仪非常灵敏，对于气体泄漏点的检测具有很高的精度

和可靠性。