2024年6月15日发(作者：羽含灵)

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(21)申请号 CN2.2

(22)申请日 2015.12.28

(71)申请人 中国科学院重庆绿色智能技术研究院

地址 400714 重庆市北碚区方正大道266号

(72)发明人 姜浩 马金鑫 高翾 徐鑫 李朝龙 李占成 史浩飞

(74)专利代理机构

代理人

(51)

C01B31/04

权利要求说明书 说明书 幅图

(10)申请公布号 CN 105600774 A

(43)申请公布日 2016.05.25

(54)发明名称

一种石墨烯“卷对卷”转移装备及转

移方法

(57)摘要

本发明涉及一种石墨烯“卷对卷”转

移装备及转移方法，该装备由上料装置、

压合装置、加电鼓泡预剥离装置、加电剥

离装置、水冲洗装置、吹干装置和收卷装

置组成；上述装置依次顺序排布，并通过

导向辊调整方向连接。所涉及的转移方法

为：在生长石墨烯表面涂布一层透明支撑

涂层，烘干收卷后安放到转移装备上，通

过压合装置加压加热方式与目标基底压

合，继而通过加电鼓泡预剥离装置使石墨

烯与生长基底铜箔预分离，再经过加电剥

离装置使生长基底铜箔与石墨烯彻底分

离，最后用去离子水冲洗、吹干并收卷完

成转移。本发明中的转移装备结构紧凑，

与转移方法配合使用可实现石墨烯薄膜的

“卷对卷”式快速、高效及高质量转移。

法律状态

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态

权 利 要 求 说 明 书

1.一种石墨烯“卷对卷”转移装备，其特征在于，该装备由上料装置(001)、压合装置

(002)、加电鼓泡预剥离装置(003)、加电剥离装置(004)、水冲洗装置

装置(006)和收卷装置(007)组成；上述装置依次顺序排

述压合装置(002)包括一对主动施

装置

(005)、吹干

布，并通过导向辊调整方向；所

压辊，在施加压力同时可以加热；所述加电鼓泡预剥离

(003)包括数对主动施压辊，加压同时可以加电；所述加电剥离装置(004)包括一对

2.一种使用如权利要求1所述的一种石墨烯“卷对卷”转移装备的转移方法，其特征

在于，

步骤S01，在生长石墨烯表面涂布一层透明支撑涂层(02)，并烘干收卷，得到铜箔/

石 墨烯/透明支撑涂层的复合结构1；其中的透明支撑涂层(02)为

体中的一种或几种的共聚物；透明

步骤如下：

主动施压辊，加压同时可以加电。

甲基丙烯酸酯和丙烯酸酯单

支撑涂层(02)厚度为0.5～20um；

步骤S02，将步骤S01中得到的复合结构1卷材安放到转移装备中上料装置(001)上，

通过压合装置(002)加压加热方式与目标基底(01)预压合，得到

石墨烯/铜箔的复合结构2；其中压合的

150℃；

目标基底/透明支撑涂层/

压力范围为0.1MPa至1Mpa，压合加热温度为50至

步骤S03，对步骤S02中得到的复合结构2通过加电鼓泡预剥离装置(003)，使石墨

烯 (03)与生长基底铜箔(04)预分离；其中加压加电鼓泡预剥离过

至1Mpa，施加电流范围为1～10A；加程的压力范围为0.1MPa

压加电鼓泡预剥离过程的时间为1～10min；

步骤S04，在转移装备上通过加电剥离装置(004)，使生长基底铜箔(04)与石墨烯

(03)彻底分离，得到目标基底/透明支撑涂层/石墨烯的复合结构3；其

力范围为0.1MPa至1Mpa，施加电流范中加压加电剥离的压

围为1～10A；

步骤S05，对步骤S04中得到的复合结构3用去离子水水冲洗装置(005)冲洗，用吹

干

装置(006)吹干，最后用收卷装置(007)收卷。

说 明 书

技术领域

本发明涉及一种石墨烯“卷对卷”转移装备及转移方法，属于石墨烯生产技术

背景技术

石墨烯是近年来发现的二维纳米材料，具有众多优异性能。其中，极高的透

关

现有成熟的石墨烯规模化制备的方法是化学气相沉积法(CVD)，CVD法

实

制备石墨烯一般选用不透明的金属作为生长基底，例如铜箔、镍箔等。然而，

际应用中通常需将石墨烯转移到其它基底，例如柔性透明的PET、

现有石墨烯转移方法需借助过度支撑材料，如PMMA，硅胶

并配合释放溶铜工艺，通过两次贴合过程将石墨

程复杂，石墨烯易破损，转移效率低、成

了石墨烯的产业化应用。

过率及超高的载流子迁移率，使其可作为全新的透明导电材料而备受工业界

注。

领域。

PEN基底。

薄膜、热释胶带等，

烯转移到目标基底。存在操作过

本高，溶铜废液污染等问题，严重限制

发明内容

为了克服上述背景技术中的不足，本发明提供一种石墨烯“卷对卷”转移装备

及转移方法，简化规模化生产工艺，提高转移石墨烯的完整性、均匀性和一

致性。

本发明所涉及的一种石墨烯“卷对卷”转移装备，该装备由上料装置(001)、

压合装置(002)、加电鼓泡预剥离装置(003)、加电剥离装置(004)、水冲洗装

压

置(005)、吹干装置(006)和收卷装置(007)组成；上述装置依次顺序排布，

并通过导向辊调整方向；所述压合装置(002)包括一对主动施压辊，在施加

力同时可以加热；所述加电鼓泡预剥离装置(003)包括数对主动施压

同时可以加电；所述加电剥离装置(004)包括一对主动施压辊，

加电。

辊，加压

加压同时可以

本发明还涉及一种使用上述石墨烯“卷对卷”转移装备的转移方法，步骤如

步骤S01，在生长石墨烯表面涂布一层透明支撑涂层(02)，并烘干收卷，

度

步骤S02，将步骤S01中得到的复合结构1卷材安放到转移装备中上料装置

步骤S03，对步骤S02中得到的复合结构2通过加电鼓泡预剥离装置(003)，

使石墨烯(03)与生长基底铜箔(04)预分离；其中加压加电鼓泡预剥离过程的

压力范围为0.1MPa至1Mpa，施加电流范围为1～10A；加压加电鼓泡预剥

程的时间为1～10min；

(001)上，通过压合装置(002)加压加热方式与目标基底(01)预压合，得到

目标基底/透明支撑涂层/石墨烯/铜箔的复合结构2；其中压合的压力范围为

0.1MPa至1Mpa，压合加热温度为50至150℃；

得到铜箔/石墨烯/透明支撑涂层的复合结构1；其中的透明支撑涂层(02)为甲

基丙烯酸酯和丙烯酸酯单体中的一种或几种的共聚物；透明支撑涂层(02)厚

为0.5～20um；

下：

离过

步骤S04，在转移装备上通过加电剥离装置(004)，使生长基底铜箔(04)

与石墨烯(03)彻底分离，得到目标基底/透明支撑涂层/石墨烯的复合结构3；

其中加压加电剥离的压力范围为0.1MPa至1Mpa，施加电流范围为1～10A；

步骤S05，对步骤S04中得到的复合结构3用去离子水水冲洗装置(005)

本发明克服了背景技术中的不足，提供一种石墨烯“卷对卷”转移装备及转

移方法，转移装备结构紧凑，可实现石墨烯薄膜的“卷对卷”式快速转移；转

法简单高效，转移质量佳，非常适合石墨烯薄膜产品规模化生产。

冲洗，用吹干装置(006)吹干，最后用收卷装置(007)收卷。

移方

附图说明

图1为本发明所涉及的一种石墨烯“卷对卷”转移装备的结构示意图，其中，

001为上料装置、002为压合装置、003为加电鼓泡预剥离装置、004为加电

装置、005为水冲洗装置、006为吹干装置、007为收卷装置。 剥离

图2为本发明所涉及的使用这种石墨烯“卷对卷”转移装备的转移方法步骤

图，其中，S01为步骤S01，S02为步骤S02,S03为步骤S03,S04为步骤

为步骤S05。 S04,S05

图3为本发明所涉及的复合结构1示意图。

图4为本发明所涉及的复合结构2示意图。

图5为本发明所涉及的复合结构3示意图。

图2至图5中，各标号所代表的部件如下：01为目标基底，02为透明支撑

涂层，03为石墨烯，04为生长基底铜箔。

具体实施方式

以下结合附图和实施例对本发明进行描述，所举实例只用于解释本发明，并

实施例一

本发明所涉及一种石墨烯“卷对卷”转移装备结构如图1所示，该装备由上料

装置(001)、压合装置(002)、加电鼓泡预剥离装置(003)、加电剥离装置(004)、

水冲洗装置(005)、吹干装置(006)和收卷装置(007)组成；上述装置依

序排布，并通过导向辊调整方向；所述压合装置(002)包括一对主动

在施加压力同时可以加热；所述加电鼓泡预剥离装置(003)包

辊，加压同时可以加电；所述加电剥离装置(004)包括

同时可以加电。

非用于限定本发明的范围。

次顺

施压辊，

括数对主动施压

一对主动施压辊，加压

实施例二

本发明所涉及一种使用石墨烯“卷对卷”转移装备进行转移的方法步骤如图2

步骤S01，将甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸

异辛酯的共聚物配成溶液涂布于PET表面，加热干燥后形成厚度约2微米

明支撑涂层(02)并收卷，得到具有铜箔/石墨烯/透明支撑涂层的复合

卷材如图3；

所示，具体如下：

的透

结构1的

步骤S02，将步骤S01中得到的复合结构1卷材安放到转移装备上，通过压

合装置(002)加压加热方式与目标基底(01)预压合，压力为0.3MPa，温度为

95℃得到目标基底/透明支撑涂层/石墨烯/铜箔的复合结构2如图4；

步骤S03，步骤S02中得到的复合结构2通过加电鼓泡预剥离装置(003)，

步骤S04，通过转移装备的加电剥离装置(004)，使生长基底铜箔(04)与

步骤S05，对步骤04中得到的复合结构3用去离子水水冲洗装置(005)冲

本实施例中所转移石墨烯方阻为357±63欧方，转移完整且方阻分布范围窄。

实施例三

本发明所涉及一种使用石墨烯“卷对卷”转移装备进行转移的方法步骤如图2

步骤S01，将甲基丙烯酸降冰片酯、丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸异辛酯及丙烯

酸四氢呋喃酯共聚物溶液涂布于PET表面，加热固化干燥后形成厚度约5

的透明支撑涂层(02)并收卷，得到具有铜

1的卷材如图3；

所示，具体如下：

洗，用吹干装置(006)吹干，最后用收卷装置(007)收卷。

石墨烯(03)彻底分离，施加压力为0.2MPa，电流为5A，得到目标基底/透明

支撑涂层/石墨烯的复合结构3如图5；

施加压力为0.4MPa，电流为4A，时间为5min，使石墨烯(03)与生长基底铜

箔(04)预分离；

微米

箔/石墨烯/透明支撑涂层的复合结构

步骤S02，将步骤S01中得到的复合结构1卷材安放到转移装备上，通过压

合装置(002)加压加热方式与目标基底(01)预压合，压力为0.6MPa，温度为

130℃得到目标基底/透明支撑涂层/石墨烯/铜箔的复合结构2如图4；

步骤S03，步骤S02中得到的复合结构2通过加电鼓泡预剥离装置(003)，

铜

步骤S04，通过转移装备的加电剥离装置(004)，使生长基底铜箔(04)与

步骤S05，对步骤S04中得到的复合结构3用去离子水水冲洗装置(005)

本实施例中所转移石墨烯方阻为366±57欧方，转移完整且方阻分布范围窄。

实施例三

本发明所涉及一种使用石墨烯“卷对卷”转移装备进行转移的方法步骤如图2

步骤S01，将甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸降冰片酯、丙烯酸异辛酯共聚物溶液

并

3；

步骤S02，将步骤S01中得到的复合结构1卷材安放到转移装备上，通过压

合装置(002)加压加热方式与目标基底(01)预压合，压力为0.1MPa，温度为

60℃得到目标基底/透明支撑涂层/石墨烯/铜箔的复合结构2如图4；

涂布于PET表面，加热固化干燥后形成厚度约12微米的透明支撑涂层(02)

收卷，得到具有铜箔/石墨烯/透明支撑涂层的复合结构1的卷材如图

所示，具体如下：

冲洗，用吹干装置(006)吹干，最后用收卷装置(007)收卷。

石墨烯(03)彻底分离，施加压力为0.6MPa，电流为2A，得到目标基底/透明

支撑涂层/石墨烯的复合结构3如图5；

施加压力为0.5MPa，电流为2A，时间为10min，使石墨烯(03)与生长基底

箔(04)预分离；

步骤S03，步骤S02中得到的复合结构2通过加电鼓泡预剥离装置(003)，

步骤S04，通过转移装备的加电剥离装置(004)，使生长基底铜箔(04)与

步骤S05，对步骤S04中得到的复合结构3用去离子水水冲洗装置(005)

本实施例中所转移石墨烯方阻为426±77欧方，转移完整且方阻分布范围窄。

实施例四

本发明所涉及一种使用石墨烯“卷对卷”转移装备进行转移的方法步骤如图2

步骤S01，将甲基丙烯酸降冰片酯与丙烯酸乙酯共聚物溶液涂布于PET表

具

步骤S02，将步骤S01中得到的复合结构1卷材安放到转移装备上，通过压

步骤S03，步骤S02中得到的复合结构2通过加电鼓泡预剥离装置(003)，

施加压力为0.6MPa，电流为3A，时间为2min，使石墨烯(03)与生长基底铜

合装置(002)加压加热方式与目标基底预压合，压力为0.4MPa，温度为55℃

得到目标基底/透明支撑涂层/石墨烯/铜箔的复合结构2如图4；

面，加热固化干燥后形成厚度约17微米的透明支撑涂层(02)并收卷，得到

有铜箔/石墨烯/透明支撑涂层的复合结构1的卷材如图3；

所示，具体如下：

冲洗，用吹干装置(006)吹干，最后用收卷装置(007)收卷。

石墨烯(03)彻底分离，施加压力为0.3MPa，电流为6A，得到目标基底/透明

支撑涂层/石墨烯的复合结构3如图5；

施加压力为0.2MPa，电流为7A，时间为3min，使石墨烯(03)与生长基底铜

箔(04)预分离；

箔(04)预分离；

步骤S04，通过转移装备的加电剥离装置(004)，使生长基底铜箔(04)与

步骤S05，对步骤S04中得到的复合结构3用去离子水水冲洗装置(005)

本实施例中所转移石墨烯方阻为351±61欧方，转移完整且方阻分布范围窄。

实施例五

本发明所涉及一种使用石墨烯“卷对卷”转移装备进行转移的方法步骤如图2

步骤S01，将聚甲基丙烯酸甲酯溶液涂布于PET表面，加热干燥后形成厚度

的

步骤S02，将步骤S01中得到的复合结构1卷材安放到转移装备上，通过压

步骤S03，步骤S02中得到的复合结构2通过加电鼓泡预剥离装置(003)，

施加压力为0.3MPa，电流为7A，时间为2min，使石墨烯(03)与生长基底铜

箔(04)预分离；

合装置(002)加压加热方式与目标基底(01)预压合，压力为0.5MPa，温度为

105℃得到目标基底/透明支撑涂层/石墨烯/铜箔的复合结构2如图4；

约1微米的透明支撑涂层(02)并收卷，得到具有铜箔/石墨烯/透明支撑涂层

复合结构1的卷材如图3；

所示，具体如下：

冲洗，用吹干装置(006)吹干，最后用收卷装置(007)收卷。

石墨烯(03)彻底分离，施加压力为0.5MPa，电流为4A，得到目标基底/透明

支撑涂层/石墨烯的复合结构3如图5；

步骤S04，通过转移装备的加电剥离装置(004)，使生长基底铜箔(04)与

步骤S05，对步骤S04中得到的复合结构3用去离子水水冲洗装置(005)

本实施例中所转移石墨烯方阻为377±58欧方，转移完整且方阻分布范围窄。

冲洗，用吹干装置(006)吹干，最后用收卷装置(007)收卷。

石墨烯(03)彻底分离，施加压力为0.3MPa，电流为3A，得到目标基底/透明

支撑涂层/石墨烯的复合结构3如图5；

2024年6月15日发(作者：羽含灵)

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(21)申请号 CN2.2

(22)申请日 2015.12.28

(71)申请人 中国科学院重庆绿色智能技术研究院

地址 400714 重庆市北碚区方正大道266号

(72)发明人 姜浩 马金鑫 高翾 徐鑫 李朝龙 李占成 史浩飞

(74)专利代理机构

代理人

(51)

C01B31/04

权利要求说明书 说明书 幅图

(10)申请公布号 CN 105600774 A

(43)申请公布日 2016.05.25

(54)发明名称

一种石墨烯“卷对卷”转移装备及转

移方法

(57)摘要

本发明涉及一种石墨烯“卷对卷”转

移装备及转移方法，该装备由上料装置、

压合装置、加电鼓泡预剥离装置、加电剥

离装置、水冲洗装置、吹干装置和收卷装

置组成；上述装置依次顺序排布，并通过

导向辊调整方向连接。所涉及的转移方法

为：在生长石墨烯表面涂布一层透明支撑

涂层，烘干收卷后安放到转移装备上，通

过压合装置加压加热方式与目标基底压

合，继而通过加电鼓泡预剥离装置使石墨

烯与生长基底铜箔预分离，再经过加电剥

离装置使生长基底铜箔与石墨烯彻底分

离，最后用去离子水冲洗、吹干并收卷完

成转移。本发明中的转移装备结构紧凑，

与转移方法配合使用可实现石墨烯薄膜的

“卷对卷”式快速、高效及高质量转移。

法律状态

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态

权 利 要 求 说 明 书

1.一种石墨烯“卷对卷”转移装备，其特征在于，该装备由上料装置(001)、压合装置

(002)、加电鼓泡预剥离装置(003)、加电剥离装置(004)、水冲洗装置

装置(006)和收卷装置(007)组成；上述装置依次顺序排

述压合装置(002)包括一对主动施

装置

(005)、吹干

布，并通过导向辊调整方向；所

压辊，在施加压力同时可以加热；所述加电鼓泡预剥离

(003)包括数对主动施压辊，加压同时可以加电；所述加电剥离装置(004)包括一对

2.一种使用如权利要求1所述的一种石墨烯“卷对卷”转移装备的转移方法，其特征

在于，

步骤S01，在生长石墨烯表面涂布一层透明支撑涂层(02)，并烘干收卷，得到铜箔/

石 墨烯/透明支撑涂层的复合结构1；其中的透明支撑涂层(02)为

体中的一种或几种的共聚物；透明

步骤如下：

主动施压辊，加压同时可以加电。

甲基丙烯酸酯和丙烯酸酯单

支撑涂层(02)厚度为0.5～20um；

步骤S02，将步骤S01中得到的复合结构1卷材安放到转移装备中上料装置(001)上，

通过压合装置(002)加压加热方式与目标基底(01)预压合，得到

石墨烯/铜箔的复合结构2；其中压合的

150℃；

目标基底/透明支撑涂层/

压力范围为0.1MPa至1Mpa，压合加热温度为50至

步骤S03，对步骤S02中得到的复合结构2通过加电鼓泡预剥离装置(003)，使石墨

烯 (03)与生长基底铜箔(04)预分离；其中加压加电鼓泡预剥离过

至1Mpa，施加电流范围为1～10A；加程的压力范围为0.1MPa

压加电鼓泡预剥离过程的时间为1～10min；

步骤S04，在转移装备上通过加电剥离装置(004)，使生长基底铜箔(04)与石墨烯

(03)彻底分离，得到目标基底/透明支撑涂层/石墨烯的复合结构3；其

力范围为0.1MPa至1Mpa，施加电流范中加压加电剥离的压

围为1～10A；

步骤S05，对步骤S04中得到的复合结构3用去离子水水冲洗装置(005)冲洗，用吹

干

装置(006)吹干，最后用收卷装置(007)收卷。

说 明 书

技术领域

本发明涉及一种石墨烯“卷对卷”转移装备及转移方法，属于石墨烯生产技术

背景技术

石墨烯是近年来发现的二维纳米材料，具有众多优异性能。其中，极高的透

关

现有成熟的石墨烯规模化制备的方法是化学气相沉积法(CVD)，CVD法

实

制备石墨烯一般选用不透明的金属作为生长基底，例如铜箔、镍箔等。然而，

际应用中通常需将石墨烯转移到其它基底，例如柔性透明的PET、

现有石墨烯转移方法需借助过度支撑材料，如PMMA，硅胶

并配合释放溶铜工艺，通过两次贴合过程将石墨

程复杂，石墨烯易破损，转移效率低、成

了石墨烯的产业化应用。

过率及超高的载流子迁移率，使其可作为全新的透明导电材料而备受工业界

注。

领域。

PEN基底。

薄膜、热释胶带等，

烯转移到目标基底。存在操作过

本高，溶铜废液污染等问题，严重限制

发明内容

为了克服上述背景技术中的不足，本发明提供一种石墨烯“卷对卷”转移装备

及转移方法，简化规模化生产工艺，提高转移石墨烯的完整性、均匀性和一

致性。

本发明所涉及的一种石墨烯“卷对卷”转移装备，该装备由上料装置(001)、

压合装置(002)、加电鼓泡预剥离装置(003)、加电剥离装置(004)、水冲洗装

压

置(005)、吹干装置(006)和收卷装置(007)组成；上述装置依次顺序排布，

并通过导向辊调整方向；所述压合装置(002)包括一对主动施压辊，在施加

力同时可以加热；所述加电鼓泡预剥离装置(003)包括数对主动施压

同时可以加电；所述加电剥离装置(004)包括一对主动施压辊，

加电。

辊，加压

加压同时可以

本发明还涉及一种使用上述石墨烯“卷对卷”转移装备的转移方法，步骤如

步骤S01，在生长石墨烯表面涂布一层透明支撑涂层(02)，并烘干收卷，

度

步骤S02，将步骤S01中得到的复合结构1卷材安放到转移装备中上料装置

步骤S03，对步骤S02中得到的复合结构2通过加电鼓泡预剥离装置(003)，

使石墨烯(03)与生长基底铜箔(04)预分离；其中加压加电鼓泡预剥离过程的

压力范围为0.1MPa至1Mpa，施加电流范围为1～10A；加压加电鼓泡预剥

程的时间为1～10min；

(001)上，通过压合装置(002)加压加热方式与目标基底(01)预压合，得到

目标基底/透明支撑涂层/石墨烯/铜箔的复合结构2；其中压合的压力范围为

0.1MPa至1Mpa，压合加热温度为50至150℃；

得到铜箔/石墨烯/透明支撑涂层的复合结构1；其中的透明支撑涂层(02)为甲

基丙烯酸酯和丙烯酸酯单体中的一种或几种的共聚物；透明支撑涂层(02)厚

为0.5～20um；

下：

离过

步骤S04，在转移装备上通过加电剥离装置(004)，使生长基底铜箔(04)

与石墨烯(03)彻底分离，得到目标基底/透明支撑涂层/石墨烯的复合结构3；

其中加压加电剥离的压力范围为0.1MPa至1Mpa，施加电流范围为1～10A；

步骤S05，对步骤S04中得到的复合结构3用去离子水水冲洗装置(005)

本发明克服了背景技术中的不足，提供一种石墨烯“卷对卷”转移装备及转

移方法，转移装备结构紧凑，可实现石墨烯薄膜的“卷对卷”式快速转移；转

法简单高效，转移质量佳，非常适合石墨烯薄膜产品规模化生产。

冲洗，用吹干装置(006)吹干，最后用收卷装置(007)收卷。

移方

附图说明

图1为本发明所涉及的一种石墨烯“卷对卷”转移装备的结构示意图，其中，

001为上料装置、002为压合装置、003为加电鼓泡预剥离装置、004为加电

装置、005为水冲洗装置、006为吹干装置、007为收卷装置。 剥离

图2为本发明所涉及的使用这种石墨烯“卷对卷”转移装备的转移方法步骤

图，其中，S01为步骤S01，S02为步骤S02,S03为步骤S03,S04为步骤

为步骤S05。 S04,S05

图3为本发明所涉及的复合结构1示意图。

图4为本发明所涉及的复合结构2示意图。

图5为本发明所涉及的复合结构3示意图。

图2至图5中，各标号所代表的部件如下：01为目标基底，02为透明支撑

涂层，03为石墨烯，04为生长基底铜箔。

具体实施方式

以下结合附图和实施例对本发明进行描述，所举实例只用于解释本发明，并

实施例一

本发明所涉及一种石墨烯“卷对卷”转移装备结构如图1所示，该装备由上料

装置(001)、压合装置(002)、加电鼓泡预剥离装置(003)、加电剥离装置(004)、

水冲洗装置(005)、吹干装置(006)和收卷装置(007)组成；上述装置依

序排布，并通过导向辊调整方向；所述压合装置(002)包括一对主动

在施加压力同时可以加热；所述加电鼓泡预剥离装置(003)包

辊，加压同时可以加电；所述加电剥离装置(004)包括

同时可以加电。

非用于限定本发明的范围。

次顺

施压辊，

括数对主动施压

一对主动施压辊，加压

实施例二

本发明所涉及一种使用石墨烯“卷对卷”转移装备进行转移的方法步骤如图2

步骤S01，将甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸

异辛酯的共聚物配成溶液涂布于PET表面，加热干燥后形成厚度约2微米

明支撑涂层(02)并收卷，得到具有铜箔/石墨烯/透明支撑涂层的复合

卷材如图3；

所示，具体如下：

的透

结构1的

步骤S02，将步骤S01中得到的复合结构1卷材安放到转移装备上，通过压

合装置(002)加压加热方式与目标基底(01)预压合，压力为0.3MPa，温度为

95℃得到目标基底/透明支撑涂层/石墨烯/铜箔的复合结构2如图4；

步骤S03，步骤S02中得到的复合结构2通过加电鼓泡预剥离装置(003)，

步骤S04，通过转移装备的加电剥离装置(004)，使生长基底铜箔(04)与

步骤S05，对步骤04中得到的复合结构3用去离子水水冲洗装置(005)冲

本实施例中所转移石墨烯方阻为357±63欧方，转移完整且方阻分布范围窄。

实施例三

本发明所涉及一种使用石墨烯“卷对卷”转移装备进行转移的方法步骤如图2

步骤S01，将甲基丙烯酸降冰片酯、丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸异辛酯及丙烯

酸四氢呋喃酯共聚物溶液涂布于PET表面，加热固化干燥后形成厚度约5

的透明支撑涂层(02)并收卷，得到具有铜

1的卷材如图3；

所示，具体如下：

洗，用吹干装置(006)吹干，最后用收卷装置(007)收卷。

石墨烯(03)彻底分离，施加压力为0.2MPa，电流为5A，得到目标基底/透明

支撑涂层/石墨烯的复合结构3如图5；

施加压力为0.4MPa，电流为4A，时间为5min，使石墨烯(03)与生长基底铜

箔(04)预分离；

微米

箔/石墨烯/透明支撑涂层的复合结构

步骤S02，将步骤S01中得到的复合结构1卷材安放到转移装备上，通过压

合装置(002)加压加热方式与目标基底(01)预压合，压力为0.6MPa，温度为

130℃得到目标基底/透明支撑涂层/石墨烯/铜箔的复合结构2如图4；

步骤S03，步骤S02中得到的复合结构2通过加电鼓泡预剥离装置(003)，

铜

步骤S04，通过转移装备的加电剥离装置(004)，使生长基底铜箔(04)与

步骤S05，对步骤S04中得到的复合结构3用去离子水水冲洗装置(005)

本实施例中所转移石墨烯方阻为366±57欧方，转移完整且方阻分布范围窄。

实施例三

本发明所涉及一种使用石墨烯“卷对卷”转移装备进行转移的方法步骤如图2

步骤S01，将甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸降冰片酯、丙烯酸异辛酯共聚物溶液

并

3；

步骤S02，将步骤S01中得到的复合结构1卷材安放到转移装备上，通过压

合装置(002)加压加热方式与目标基底(01)预压合，压力为0.1MPa，温度为

60℃得到目标基底/透明支撑涂层/石墨烯/铜箔的复合结构2如图4；

涂布于PET表面，加热固化干燥后形成厚度约12微米的透明支撑涂层(02)

收卷，得到具有铜箔/石墨烯/透明支撑涂层的复合结构1的卷材如图

所示，具体如下：

冲洗，用吹干装置(006)吹干，最后用收卷装置(007)收卷。

石墨烯(03)彻底分离，施加压力为0.6MPa，电流为2A，得到目标基底/透明

支撑涂层/石墨烯的复合结构3如图5；

施加压力为0.5MPa，电流为2A，时间为10min，使石墨烯(03)与生长基底

箔(04)预分离；

步骤S03，步骤S02中得到的复合结构2通过加电鼓泡预剥离装置(003)，

步骤S04，通过转移装备的加电剥离装置(004)，使生长基底铜箔(04)与

步骤S05，对步骤S04中得到的复合结构3用去离子水水冲洗装置(005)

本实施例中所转移石墨烯方阻为426±77欧方，转移完整且方阻分布范围窄。

实施例四

本发明所涉及一种使用石墨烯“卷对卷”转移装备进行转移的方法步骤如图2

步骤S01，将甲基丙烯酸降冰片酯与丙烯酸乙酯共聚物溶液涂布于PET表

具

步骤S02，将步骤S01中得到的复合结构1卷材安放到转移装备上，通过压

步骤S03，步骤S02中得到的复合结构2通过加电鼓泡预剥离装置(003)，

施加压力为0.6MPa，电流为3A，时间为2min，使石墨烯(03)与生长基底铜

合装置(002)加压加热方式与目标基底预压合，压力为0.4MPa，温度为55℃

得到目标基底/透明支撑涂层/石墨烯/铜箔的复合结构2如图4；

面，加热固化干燥后形成厚度约17微米的透明支撑涂层(02)并收卷，得到

有铜箔/石墨烯/透明支撑涂层的复合结构1的卷材如图3；

所示，具体如下：

冲洗，用吹干装置(006)吹干，最后用收卷装置(007)收卷。

石墨烯(03)彻底分离，施加压力为0.3MPa，电流为6A，得到目标基底/透明

支撑涂层/石墨烯的复合结构3如图5；

施加压力为0.2MPa，电流为7A，时间为3min，使石墨烯(03)与生长基底铜

箔(04)预分离；

箔(04)预分离；

步骤S04，通过转移装备的加电剥离装置(004)，使生长基底铜箔(04)与

步骤S05，对步骤S04中得到的复合结构3用去离子水水冲洗装置(005)

本实施例中所转移石墨烯方阻为351±61欧方，转移完整且方阻分布范围窄。

实施例五

本发明所涉及一种使用石墨烯“卷对卷”转移装备进行转移的方法步骤如图2

步骤S01，将聚甲基丙烯酸甲酯溶液涂布于PET表面，加热干燥后形成厚度

的

步骤S02，将步骤S01中得到的复合结构1卷材安放到转移装备上，通过压

步骤S03，步骤S02中得到的复合结构2通过加电鼓泡预剥离装置(003)，

施加压力为0.3MPa，电流为7A，时间为2min，使石墨烯(03)与生长基底铜

箔(04)预分离；

合装置(002)加压加热方式与目标基底(01)预压合，压力为0.5MPa，温度为

105℃得到目标基底/透明支撑涂层/石墨烯/铜箔的复合结构2如图4；

约1微米的透明支撑涂层(02)并收卷，得到具有铜箔/石墨烯/透明支撑涂层

复合结构1的卷材如图3；

所示，具体如下：

冲洗，用吹干装置(006)吹干，最后用收卷装置(007)收卷。

石墨烯(03)彻底分离，施加压力为0.5MPa，电流为4A，得到目标基底/透明

支撑涂层/石墨烯的复合结构3如图5；

步骤S04，通过转移装备的加电剥离装置(004)，使生长基底铜箔(04)与

步骤S05，对步骤S04中得到的复合结构3用去离子水水冲洗装置(005)

本实施例中所转移石墨烯方阻为377±58欧方，转移完整且方阻分布范围窄。

冲洗，用吹干装置(006)吹干，最后用收卷装置(007)收卷。

石墨烯(03)彻底分离，施加压力为0.3MPa，电流为3A，得到目标基底/透明

支撑涂层/石墨烯的复合结构3如图5；