2024年1月4日发(作者：孙馨)
时间：二O二一年七月二十九日
1-9级可能是参照的ISO的标准国际标准,之阿布丰王创作
时间：二O二一年七月二十九日
一般我们所说的百级相当于ISO5级
万级相当于ISO7级
十万级相当于ISO8级
一百万级相当于ISO9级
1,洁净室或洁净区内空气悬浮粒子洁净品级 还有著名的美国联邦标准（.209系列）可以参考；
2,ISO1644的ISO5相当于.209系列的100级（≥0.5μm粒子,≤3.5颗/升,或100颗/ft,或3530颗/m）
3,洁净度品级在100级以下者（1000,10000级等）通经常使用0.5μm粒径考核的居多；
4,随着微电子技术的发展,洁净度品级相应提高,洁净室检测粒径也越来越小（见表）,对粒子检测仪器的要求固然也越来越高,对洁净室设计和施工方而言,在验收时,可能不止用一个粒径（如0.5μm）而要用到更多的粒径,如0.3 μm 0.2μm 甚至0.1μm对洁净室进行检测评定.
ISO 1644国际标准中洁净室或洁净区选用的空气悬浮粒子洁净度品级
即是或年夜于相应粒径的最年夜允许浓度（粒/m）
1μm
3335μm
时间：二O二一年七月二十九日
时间：二O二一年七月二十九日
ISO1
ISO2
ISO3
ISO4
ISO5
ISO6
ISO7
ISO8
ISO9
10
100
1000
10000
100000
1000000
2
24
237
2365
23651
236514
10
102
1018
10176
101763
4
35
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35168
351676
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35167572
8
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831764
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29251
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时间：二O二一年七月二十九日
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时间：二O二一年七月二十九日
1-9级可能是参照的ISO的标准国际标准,之阿布丰王创作
时间：二O二一年七月二十九日
一般我们所说的百级相当于ISO5级
万级相当于ISO7级
十万级相当于ISO8级
一百万级相当于ISO9级
1,洁净室或洁净区内空气悬浮粒子洁净品级 还有著名的美国联邦标准（.209系列）可以参考；
2,ISO1644的ISO5相当于.209系列的100级（≥0.5μm粒子,≤3.5颗/升,或100颗/ft,或3530颗/m）
3,洁净度品级在100级以下者（1000,10000级等）通经常使用0.5μm粒径考核的居多；
4,随着微电子技术的发展,洁净度品级相应提高,洁净室检测粒径也越来越小（见表）,对粒子检测仪器的要求固然也越来越高,对洁净室设计和施工方而言,在验收时,可能不止用一个粒径（如0.5μm）而要用到更多的粒径,如0.3 μm 0.2μm 甚至0.1μm对洁净室进行检测评定.
ISO 1644国际标准中洁净室或洁净区选用的空气悬浮粒子洁净度品级
即是或年夜于相应粒径的最年夜允许浓度（粒/m）
1μm
3335μm
时间：二O二一年七月二十九日
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时间：二O二一年七月二十九日
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