2024年3月10日发(作者：虢梅红)

磁控溅射技术沉积NSN70隔热膜的实验研究

蒋恒;戴彬;饶敏

【期刊名称】《核聚变与等离子体物理》

【年(卷),期】2017(037)003

【摘 要】利用磁控溅射技术,在柔性基材PET上沉积AgCu合金制备的NSN系列

隔热膜,继承了单Ag隔热膜良好的光谱选择性,同时能有效的解决Ag易硫化的难

题.通过选择合适的AgCu合金靶材、NSN70隔热膜的膜系设计与制备、样品的形

貌检测、耐候性实验、光学性能测试等多方面研究了NSN隔热膜.实验结果为以后

大规模工业化生产NSN系列隔热膜奠定基础.

【总页数】5页(P361-365)

【作 者】蒋恒;戴彬;饶敏

【作者单位】核工业西南物理研究院,成都 610041;核工业西南物理研究院,成都

610041;核工业西南物理研究院,成都 610041

【正文语种】中 文

【中图分类】O539

【相关文献】

1.磁控溅射法沉积TCO薄膜的电源技术 [J], 陈宇;李民英

2.高功率脉冲磁控溅射技术沉积硬质涂层研究进展 [J], 王启民;张小波;张世宏;王

成勇;伍尚华

3.2019高功率脉冲磁控溅射沉积薄膜技术与应用会议将在兰州召开 [J], 无;

4.2019高功率脉冲磁控溅射沉积薄膜技术与应用专题会议将于上海召开 [J], 本刊

编辑部

5.等离子体发射监控系统参与的中频孪生反应磁控溅射沉积TiO_2薄膜的实验研

究 [J], 赵嘉学;王军生

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2024年3月10日发(作者：虢梅红)

磁控溅射技术沉积NSN70隔热膜的实验研究

蒋恒;戴彬;饶敏

【期刊名称】《核聚变与等离子体物理》

【年(卷),期】2017(037)003

【摘 要】利用磁控溅射技术,在柔性基材PET上沉积AgCu合金制备的NSN系列

隔热膜,继承了单Ag隔热膜良好的光谱选择性,同时能有效的解决Ag易硫化的难

题.通过选择合适的AgCu合金靶材、NSN70隔热膜的膜系设计与制备、样品的形

貌检测、耐候性实验、光学性能测试等多方面研究了NSN隔热膜.实验结果为以后

大规模工业化生产NSN系列隔热膜奠定基础.

【总页数】5页(P361-365)

【作 者】蒋恒;戴彬;饶敏

【作者单位】核工业西南物理研究院,成都 610041;核工业西南物理研究院,成都

610041;核工业西南物理研究院,成都 610041

【正文语种】中 文

【中图分类】O539

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1.磁控溅射法沉积TCO薄膜的电源技术 [J], 陈宇;李民英

2.高功率脉冲磁控溅射技术沉积硬质涂层研究进展 [J], 王启民;张小波;张世宏;王

成勇;伍尚华

3.2019高功率脉冲磁控溅射沉积薄膜技术与应用会议将在兰州召开 [J], 无;

4.2019高功率脉冲磁控溅射沉积薄膜技术与应用专题会议将于上海召开 [J], 本刊

编辑部

5.等离子体发射监控系统参与的中频孪生反应磁控溅射沉积TiO_2薄膜的实验研

究 [J], 赵嘉学;王军生

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