2024年3月18日发(作者：祢若薇)
机械二次配施工技术规范
一、机械二次配HOOK UP工程（一标段）包含系统
1、CDA/GN2
2、bulk gas（GO2,PN2,PAr,Phe,PO2,PH2,）
3、Exhaust EX-ALK（碱排）,EX-ACID（酸排）,EX-SOX（有机）,EX-CVD(粉尘）,EX-STR,
EX-OA(新风）,GEX-Dry、GEX-High Temp、GEX-Wet,
4、Water:PCW、CTW、UPW/DIW、ROW(软化水）
5、PV
6、Drain
7、阀门、仪表、调压阀、流量计
8、高架地板开孔及保护、墙面开孔及防火封堵密封、楼板开孔及封堵保护、天花盲板开孔及PVC板密封保护
天花盲板开孔及PVC地砖密封保护。
9、提供阀表区域上方视窗高架地板。
10、以上系统所需的辅料
包含以上系统二次配的设计、材料采购、空间管理、组织安装、测试、调试、标识、turn on及完工后的运行。
机械二次配基本要求
1、二次配管路用高架地板开孔，开孔安装管路后须用PVC地砖平面密封和3mm厚 sus304立方体保护。(SUS304
用于保护穿越高架地板孔洞或楼板的管路及孔，以现场实际孔大小及管路高低进行保护。
2、二次配管路穿越土建墙、库板墙由开孔、并进行防火密封。密封表面须用钢板加固，穿孔管路需加装套管。
3、二次配用楼板孔洞开孔、防水密封、且需加套管。
4、二次配管路穿越天花盲板的开孔由二次配厂商负责，开孔后需用成品保护罩保护。
5、阀表盘正对的高架地板须更换为透明视窗板，并将更换后的高架地板存放在指定位置或安装在指定位置。
6、阀表盘两端均须用成品C型钢固定。
7、管路接头处须用不掉色记号笔画标定线画标定线用无尘纸标定位置，在管路接头有位移时能有效的发现。
8、本包所施工所有系统均须进行名称标识，标识规格须送审招标方。经招标方同意后，才可施工。标识间距不
大于3m。
9、二次配所有支架均需采用成品支架，支架间距需按照招标方要求（固定牢靠、不能占用人员通道、不得占用
设备检修空间）。
10、排气系统每个点都需按照招标方要求安装预留测试孔。
11、对于硬质管材易损件或不易拆卸的管件、阀表（如PCW流量计、丝扣阀表等），大于等于1寸需增设活接头
或软接头，以方便维修，增设接头材质需优于原管道材质。
材料包装要求
所有管路、管件、阀门、仪表均需采用洁净袋密封包装，管材、管件的密封堵头需在进行连接时才能拆除。
深化设计及施工图要求
1、每种介质在二次配施工前五天需完成二次配的深化设计，至少包含管径、流量计算、空间走向及配置图提供、
图面需套底图标定位置
深化图及计算书经招标方确认合格后才允许施工。
二次配每个米包含的内容
每米应包含二次配阀盘、阀盘底座、管道、接头（swagelok、Union、VCR、Quick connector、Flange等型号，
具体视机台接头形式而定）、弯头、支架、大小头、垫片、三通、小尺寸管路的软管等。阀盘包括：阀盘盘面、
底座、球阀、压力表、调压阀、流量计等，此外还包含满足招标技术规格书要求所必须的辅助材料，如必要的
管道支架、标签、挂牌等。
主系统Take off点使用时须结合流量平衡考虑，并征得业主负责人审核同意，依据实际状况开Tee并预留阀门。
阀门仪表配置要求
1、 CDA/GN2：一个球阀、一个调压阀(视设备需求压力确定是否安装)、一个压力表，（压力表在系统管路中开
TEE安装）；
2、 bulk gas：一个隔膜阀、一个调压阀、一个压力表，（压力表在系统管路中开TEE安装）；
3、 Exhaust：一个阀、一个负压表（带支架安装）、一个预留测试孔；(CVD排气每个点做双回路，用阀门进行
切换)
4、 PCW：两个球阀、一个压力表、一个流量计；CTW：一个压力表、一个球阀；UPW/DIW、ROW(软化水）
两个球阀、一个压力表；
5、 PV：一个球阀、一个压力表；
6、 Stripper排液需接至有机系、水系双系统并在高架地板下方设置切换阀；
7、 高架地板下阀盘需带底座。
材料挥发物要求
1.投标时需提供管材粘固剂的材料化学挥发物气体性能检测报告（检测单位为SGS），且符合如下材料化学挥发
物气体的要求（检测结果为于真空状态下放置4周后测试所得数据）：
材料
粘固剂，清洗剂
Organic Gas
ugC/m.h
≤10
2
Silicon Absorbed Gas
ugC/m.h
≤0.1
2
NH
3
ugC/m.h
≤1
2
2.清洗剂和粘固剂需由同一制造商提供，粘固剂和胶粘性要符合管道与管件制造商的要求，以确保两者兼容，
并同时符合CECS 41： 2004和CJJ/T 29-2010。
3.用液态粘固剂粘接管道时,要有足够的通风设施；
4.使用粘固剂之前，须确保粘结段已使用清洁剂清洁干净，无油渍无杂物；
5.管路胶黏前，须在管路上标示承插深度，确保管路承插到位；
CDA/GN2
使用316LBA
管道尺寸符合JIS G3459 、ASTM A269/270及ASTM A312标准150A及以下管道使用Sch5S规格, 150A以上
管道使用Sch10S规格
所有材料必须全程原品牌工厂生产
所有管道制造时必须在线退火，消除应力
所有材料必须采用超纯水清洗，1000级或更高洁净室双层洁净包装
不锈钢管道焊接（氩弧焊）用氩气纯度在5N以上（99.999%）
304LAP管含油量小于0.1mg/ft2
焊接方法：自动焊接
对整个系统管道做抗压测试：
1MPa(或者1.25倍使用气体压力,以两者间大的优先)充气30分钟无压力变化
对全系统管路进行颗粒测试: 颗粒≦10个/CFT (0.1ｕ)
2024年3月18日发(作者：祢若薇)
机械二次配施工技术规范
一、机械二次配HOOK UP工程（一标段）包含系统
1、CDA/GN2
2、bulk gas（GO2,PN2,PAr,Phe,PO2,PH2,）
3、Exhaust EX-ALK（碱排）,EX-ACID（酸排）,EX-SOX（有机）,EX-CVD(粉尘）,EX-STR,
EX-OA(新风）,GEX-Dry、GEX-High Temp、GEX-Wet,
4、Water:PCW、CTW、UPW/DIW、ROW(软化水）
5、PV
6、Drain
7、阀门、仪表、调压阀、流量计
8、高架地板开孔及保护、墙面开孔及防火封堵密封、楼板开孔及封堵保护、天花盲板开孔及PVC板密封保护
天花盲板开孔及PVC地砖密封保护。
9、提供阀表区域上方视窗高架地板。
10、以上系统所需的辅料
包含以上系统二次配的设计、材料采购、空间管理、组织安装、测试、调试、标识、turn on及完工后的运行。
机械二次配基本要求
1、二次配管路用高架地板开孔，开孔安装管路后须用PVC地砖平面密封和3mm厚 sus304立方体保护。(SUS304
用于保护穿越高架地板孔洞或楼板的管路及孔，以现场实际孔大小及管路高低进行保护。
2、二次配管路穿越土建墙、库板墙由开孔、并进行防火密封。密封表面须用钢板加固，穿孔管路需加装套管。
3、二次配用楼板孔洞开孔、防水密封、且需加套管。
4、二次配管路穿越天花盲板的开孔由二次配厂商负责，开孔后需用成品保护罩保护。
5、阀表盘正对的高架地板须更换为透明视窗板，并将更换后的高架地板存放在指定位置或安装在指定位置。
6、阀表盘两端均须用成品C型钢固定。
7、管路接头处须用不掉色记号笔画标定线画标定线用无尘纸标定位置，在管路接头有位移时能有效的发现。
8、本包所施工所有系统均须进行名称标识，标识规格须送审招标方。经招标方同意后，才可施工。标识间距不
大于3m。
9、二次配所有支架均需采用成品支架，支架间距需按照招标方要求（固定牢靠、不能占用人员通道、不得占用
设备检修空间）。
10、排气系统每个点都需按照招标方要求安装预留测试孔。
11、对于硬质管材易损件或不易拆卸的管件、阀表（如PCW流量计、丝扣阀表等），大于等于1寸需增设活接头
或软接头，以方便维修，增设接头材质需优于原管道材质。
材料包装要求
所有管路、管件、阀门、仪表均需采用洁净袋密封包装，管材、管件的密封堵头需在进行连接时才能拆除。
深化设计及施工图要求
1、每种介质在二次配施工前五天需完成二次配的深化设计，至少包含管径、流量计算、空间走向及配置图提供、
图面需套底图标定位置
深化图及计算书经招标方确认合格后才允许施工。
二次配每个米包含的内容
每米应包含二次配阀盘、阀盘底座、管道、接头（swagelok、Union、VCR、Quick connector、Flange等型号，
具体视机台接头形式而定）、弯头、支架、大小头、垫片、三通、小尺寸管路的软管等。阀盘包括：阀盘盘面、
底座、球阀、压力表、调压阀、流量计等，此外还包含满足招标技术规格书要求所必须的辅助材料，如必要的
管道支架、标签、挂牌等。
主系统Take off点使用时须结合流量平衡考虑，并征得业主负责人审核同意，依据实际状况开Tee并预留阀门。
阀门仪表配置要求
1、 CDA/GN2：一个球阀、一个调压阀(视设备需求压力确定是否安装)、一个压力表，（压力表在系统管路中开
TEE安装）；
2、 bulk gas：一个隔膜阀、一个调压阀、一个压力表，（压力表在系统管路中开TEE安装）；
3、 Exhaust：一个阀、一个负压表（带支架安装）、一个预留测试孔；(CVD排气每个点做双回路，用阀门进行
切换)
4、 PCW：两个球阀、一个压力表、一个流量计；CTW：一个压力表、一个球阀；UPW/DIW、ROW(软化水）
两个球阀、一个压力表；
5、 PV：一个球阀、一个压力表；
6、 Stripper排液需接至有机系、水系双系统并在高架地板下方设置切换阀；
7、 高架地板下阀盘需带底座。
材料挥发物要求
1.投标时需提供管材粘固剂的材料化学挥发物气体性能检测报告（检测单位为SGS），且符合如下材料化学挥发
物气体的要求（检测结果为于真空状态下放置4周后测试所得数据）：
材料
粘固剂，清洗剂
Organic Gas
ugC/m.h
≤10
2
Silicon Absorbed Gas
ugC/m.h
≤0.1
2
NH
3
ugC/m.h
≤1
2
2.清洗剂和粘固剂需由同一制造商提供，粘固剂和胶粘性要符合管道与管件制造商的要求，以确保两者兼容，
并同时符合CECS 41： 2004和CJJ/T 29-2010。
3.用液态粘固剂粘接管道时,要有足够的通风设施；
4.使用粘固剂之前，须确保粘结段已使用清洁剂清洁干净，无油渍无杂物；
5.管路胶黏前，须在管路上标示承插深度，确保管路承插到位；
CDA/GN2
使用316LBA
管道尺寸符合JIS G3459 、ASTM A269/270及ASTM A312标准150A及以下管道使用Sch5S规格, 150A以上
管道使用Sch10S规格
所有材料必须全程原品牌工厂生产
所有管道制造时必须在线退火，消除应力
所有材料必须采用超纯水清洗，1000级或更高洁净室双层洁净包装
不锈钢管道焊接（氩弧焊）用氩气纯度在5N以上（99.999%）
304LAP管含油量小于0.1mg/ft2
焊接方法：自动焊接
对整个系统管道做抗压测试：
1MPa(或者1.25倍使用气体压力,以两者间大的优先)充气30分钟无压力变化
对全系统管路进行颗粒测试: 颗粒≦10个/CFT (0.1ｕ)