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蓝宝石衬底退火后表面缺陷的研究

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2024年4月22日发(作者:和飞瑶)

试验研究

文章编号:1671-8909(2019)3-00031-002

清洗世界

Cleaning World

第35卷第4期

2019年4月

蓝宝石衬底退火后表面缺陷的研究

陈铭欣,周志豪,谢斌晖,陈启福

(福建晶安光电有限公司

福建

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