2024年5月6日发(作者：厚嘉祯)

磁控溅射沉积系统

用户手册

声明：

感谢您购买中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（以下简称沈阳科仪公司）

的设备 ，请您在使用该设备之前认真阅读本说明书，当您拿到该说明书时，请认

真阅读以下声明。如不接受本声明，请立即与本公司联系，否则视为全部接受本声

明。

1. 本说明书所有内容，未经沈阳科仪公司书面同意，任何人均不得以任何方式

（复制、扫描、备份、转借、转发、转载、上传、摘编、修改、出版、展示、

翻译成其它语言、传播以及任何其它方式）向第三方提供本说明书的部分或

全部内容。如有违反，沈阳科仪公司将保留一切权利。

2. 本说明书仅供使用者参考，可作为使用者所在公司学习、培训的内部资料。

3. 本说明书所详述的内容，不排除有误或遗漏的可能性。如对本说明书内容有

疑问，请与沈阳科仪公司联系。

4. 关于知识产权，请严格遵守知识产权保护的相关法律法规。

5. 本说明书解释权归中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司所有。

保护知识产权、促进创新发展；运用知识产权、发展知识经济；打击盗版侵权 、

繁荣文化事业；保护知识产权、激励自主创新；加强知识产权保护、规范市场经济

秩序；保护知识产权从你我做起！人人应该做到这样！

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