2024年5月20日发(作者：抄萍)
nEXT300D涡轮分子泵
nEXT300D是一款采用混合轴承的新型复合涡轮分子泵，用以代替EXT406PX
ISO100涡轮分子泵，其接口法兰有ISO100和CF100两种，对N2的抽速为300l/s。nEXT
在以前产品的基础上改进轴承技术，下轴承为油润滑陶瓷轴承，上轴承为永久性磁悬浮
轴承，使得用户就可以自行维护；同时改进转子设计，增加一个分子拖曳级，提高了泵
速和压缩比。nEXT泵的电机驱动电压为24~48V DC，与DX泵和TIC控制器兼容，这
样一台nEXT300D泵、一台TIC控制器、一个空冷或水冷附件，再选用一台合适的前级
泵就可以组成一套基本的抽真空系统。
性能特点
● 转子设计技术先进，大大提高抽气速率和压缩比。
● 日常维护用户就可以进行，无需复杂工具，拆卸简单。
● 设计紧凑，性能优越，利于系统集成。
● 与Edwards TIC涡轮仪表控制器兼容，可以连接3个真空规，无需再配备其它真空规控
制器。
● 通过RoHS认证和CSA/UL认证。
性能曲线
安装尺寸
订货信息
产品描述
nEXT300D涡轮分子泵：接口法兰ISO100
nEXT300D涡轮分子泵：接口法兰ISO100，80W
货号
B82200100
B82200101
nEXT300D涡轮分子泵：接口法兰CF100
nEXT300D涡轮分子泵：接口法兰CF100，80W
B82200200
B82200201
技术参数
入口法兰
出口法兰
泵速
N
2
He
H
2
压缩比
N
2
He
H
2
极限真空（RV前级泵，ISO/CF）
推荐前级泵
*
放气口
吹扫净化口
最大入口连续流速（N
2
）
†
水冷（水温15°C，环境温度40°C）
空冷（环境温度35 °C）
泵转速
额定转速
待机转速
可调功率范围
启动时间（达到90%转速）
模拟输出
冷却方式
空冷时的环境温度范围
最小水冷流速（水温15°C）
水温范围
最大入口温度
工作姿态
噪音（1m）
最大允许磁场强度
推荐控制器
稳态功耗
60000 rpm
33000~60000rpm（缺省设置42000 rpm）
50~200W（缺省设置160W）
145s
‡
泵转速、功耗、泵温、控制温度
空冷/水冷
5~35°C
15 l/h
10~20°C
80°C
垂直，倾斜度小于±2º
<45 dB(A)
5mT
TIC200涡轮仪表控制器
20W
95 sccm
115 sccm
>1×10
11
1×10
6
5×10
4
<6×10
-8
/ <5×10
-10
mbar
RV12/XDS10
1/8 inch BSP内螺纹
1/8 inch BSP内螺纹
300 l/s
340l/s
280l/s
DN100ISO-K，DN100CF
DN25NW
* 根据应用也可以使用较小的前级泵，可以使用极限真空小于5 mbar的隔膜泵，如XDD1。
† 高于该流速，转速将会下降到额定转速以下。
‡ 功耗80 W
空冷和水冷附件需另购
2024年5月20日发(作者：抄萍)
nEXT300D涡轮分子泵
nEXT300D是一款采用混合轴承的新型复合涡轮分子泵，用以代替EXT406PX
ISO100涡轮分子泵，其接口法兰有ISO100和CF100两种，对N2的抽速为300l/s。nEXT
在以前产品的基础上改进轴承技术，下轴承为油润滑陶瓷轴承，上轴承为永久性磁悬浮
轴承，使得用户就可以自行维护；同时改进转子设计，增加一个分子拖曳级，提高了泵
速和压缩比。nEXT泵的电机驱动电压为24~48V DC，与DX泵和TIC控制器兼容，这
样一台nEXT300D泵、一台TIC控制器、一个空冷或水冷附件，再选用一台合适的前级
泵就可以组成一套基本的抽真空系统。
性能特点
● 转子设计技术先进，大大提高抽气速率和压缩比。
● 日常维护用户就可以进行，无需复杂工具，拆卸简单。
● 设计紧凑，性能优越，利于系统集成。
● 与Edwards TIC涡轮仪表控制器兼容，可以连接3个真空规，无需再配备其它真空规控
制器。
● 通过RoHS认证和CSA/UL认证。
性能曲线
安装尺寸
订货信息
产品描述
nEXT300D涡轮分子泵：接口法兰ISO100
nEXT300D涡轮分子泵：接口法兰ISO100，80W
货号
B82200100
B82200101
nEXT300D涡轮分子泵：接口法兰CF100
nEXT300D涡轮分子泵：接口法兰CF100，80W
B82200200
B82200201
技术参数
入口法兰
出口法兰
泵速
N
2
He
H
2
压缩比
N
2
He
H
2
极限真空（RV前级泵，ISO/CF）
推荐前级泵
*
放气口
吹扫净化口
最大入口连续流速（N
2
）
†
水冷（水温15°C，环境温度40°C）
空冷（环境温度35 °C）
泵转速
额定转速
待机转速
可调功率范围
启动时间（达到90%转速）
模拟输出
冷却方式
空冷时的环境温度范围
最小水冷流速（水温15°C）
水温范围
最大入口温度
工作姿态
噪音（1m）
最大允许磁场强度
推荐控制器
稳态功耗
60000 rpm
33000~60000rpm（缺省设置42000 rpm）
50~200W（缺省设置160W）
145s
‡
泵转速、功耗、泵温、控制温度
空冷/水冷
5~35°C
15 l/h
10~20°C
80°C
垂直，倾斜度小于±2º
<45 dB(A)
5mT
TIC200涡轮仪表控制器
20W
95 sccm
115 sccm
>1×10
11
1×10
6
5×10
4
<6×10
-8
/ <5×10
-10
mbar
RV12/XDS10
1/8 inch BSP内螺纹
1/8 inch BSP内螺纹
300 l/s
340l/s
280l/s
DN100ISO-K，DN100CF
DN25NW
* 根据应用也可以使用较小的前级泵，可以使用极限真空小于5 mbar的隔膜泵，如XDD1。
† 高于该流速，转速将会下降到额定转速以下。
‡ 功耗80 W
空冷和水冷附件需另购