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一种离子注入纳米强化层的制备方法
2024年9月11日发(作者：郸念瑶)
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利说明书
(21)申请号 CN2.4
(22)申请日 2021.12.22
(71)申请人 北京机械工业自动化研究所有限公司
地址 100120 北京市西城区德胜门外教场口街1号
(72)发明人 邱维维 王非 李晓会 包知迪
(74)专利代理机构
代理人
(51)
C23C14/48
C23C14/14
(10)申请公布号 CN 114457317 A
(43)申请公布日 2022.05.10
权利要求说明书 说明书 幅图
(54)发明名称
法
(57)摘要
一种离子注入纳米强化层的制备方
一种离子注入纳米强化层的制备方
法，包括如下步骤：对待加工件进行预处
理，采用超声波清洗对所述待加工件进行
离子注入前的清洗；将清洗后的所述待加
工件放入真空室内，装夹在工装卡具上并
抽真空；对所述待加工件进行升温；采用
气体离子源或MEVVA离子源对所述待加
工件进行非金属离子注入；以及采用
MEVVA离子源对所述待加工件进行金属
离子注入。本发明在不改变引出离子能量
的条件下，通过增加待加工件内部原子之
间的间距后，再进行离子注入，大大提高
了注入离子入射到工件表面的浓度和深
度，改变了工件材料更深层次的化合物，
以及强化相，进一步提高了工件材料表面
的硬度和抗接触疲劳性能，从而可以进一
步延长工件改性层的寿命。
法律状态
法律状态公告日
法律状态信息
2022-05-10
公开
实质审查的生效IPC(主分
2022-05-27
类):C23C14/48专利申请
号:2申请
日:20211222
法律状态
发明专利申请公布
实质审查的生效
权 利 要 求 说 明 书
【一种离子注入纳米强化层的制备方法】的权利说明书内容是......请下载后查看
说 明 书
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2024年9月11日发(作者：郸念瑶)
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利说明书
(21)申请号 CN2.4
(22)申请日 2021.12.22
(71)申请人 北京机械工业自动化研究所有限公司
地址 100120 北京市西城区德胜门外教场口街1号
(72)发明人 邱维维 王非 李晓会 包知迪
(74)专利代理机构
代理人
(51)
C23C14/48
C23C14/14
(10)申请公布号 CN 114457317 A
(43)申请公布日 2022.05.10
权利要求说明书 说明书 幅图
(54)发明名称
法
(57)摘要
一种离子注入纳米强化层的制备方
一种离子注入纳米强化层的制备方
法，包括如下步骤：对待加工件进行预处
理，采用超声波清洗对所述待加工件进行
离子注入前的清洗；将清洗后的所述待加
工件放入真空室内，装夹在工装卡具上并
抽真空；对所述待加工件进行升温；采用
气体离子源或MEVVA离子源对所述待加
工件进行非金属离子注入；以及采用
MEVVA离子源对所述待加工件进行金属
离子注入。本发明在不改变引出离子能量
的条件下，通过增加待加工件内部原子之
间的间距后，再进行离子注入，大大提高
了注入离子入射到工件表面的浓度和深
度，改变了工件材料更深层次的化合物，
以及强化相，进一步提高了工件材料表面
的硬度和抗接触疲劳性能，从而可以进一
步延长工件改性层的寿命。
法律状态
法律状态公告日
法律状态信息
2022-05-10
公开
实质审查的生效IPC(主分
2022-05-27
类):C23C14/48专利申请
号:2申请
日:20211222
法律状态
发明专利申请公布
实质审查的生效
权 利 要 求 说 明 书
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