2024年3月14日发(作者：于文栋)
JEM－200CX透射电镜使用说明
操作规程
一、开机程序
1. 确认下列开关和部位在正常位置：
READY 绿灯亮
AIRLOCK OPEN 绿灯亮
ACCELERATING VOLTAGE：HT--- OFF
FILAMENT EMISSION： OFF
物镜光栏位置---0
选区光栏位置---0
样品台倾转角---0
2. 开机：
开启冷却水循环装置；
启动稳压电源，稳定于220V；查看电源箱供电指示灯亮；
用钥匙启动主机：从OFF位快旋到START位，松手后钥匙自动回至
ON位。等待约20分钟，仪器自动抽空（表现为：面板灯亮--压缩
机工作--机械泵工作--水循环开始--真空系统DP绿灯亮--真空系统
HIGH绿灯亮、READY绿灯亮）。
二、找电子束
1. 确认READY和AIRLOCK OPEN绿灯亮；
2. 样品台已插入镜筒；
3. 加高压：按下HT键后，80－100－120－160－200KV依次缓慢按键，并注意观察束
流表指示是否正常，200KV下束流在95～115μA。
4. 加灯丝：将FILAMENT EMISSION 钮慢旋至锁定位置。
5. 在LOW MAG或MAG＜1万倍下，调节大小CONDENSER钮，得到光斑。（若无
光，则移动样品或样品台退出光路后找亮）。
6. 用CONDENSER钮将光斑大小改变，若光斑偏离荧光屏中心，用左右ALIGNMENT：
TRANS将光斑拉回。
三、聚光镜光栏（一般不动）
1. 确认电子束流已聚于屏中心（无样品挡光）；
2. SCAN模式下，将聚光镜光栏顺旋插入（常用2号）；
3. 用CONDENSER改变光斑大小，调节聚光镜光栏小旋钮，使光以屏中心同心扩展、
收缩，即得同心圆。
四、1－3合轴（一般勿调）
1.
2.
3.
4.
SPOT SIZE 2，调出亮斑并会聚、移至屏中心。
MAG模式，＜1万倍, SPOT SIZE 1。
束流聚小于屏中心，若偏离中心，用GUN ALIGNMENT：TRANS （X、Y）拉回。
SPOT SIZE 3 ，聚小光斑，若不在屏中心，用左右ALIGNMENT：TRANS拉回；
若光斑消失，则改用SPOT SIZE 2，将束流调至屏中心后，再改为SPOT SIZE 3 调
节。
5. 反复3、4步，使束流不偏离中心。
6. 返回常用束斑尺寸：SPOT SIZE 2。
五、聚光镜消像散
1.
2.
3.
4.
MAG模式，＜1万倍, COND STIGMATOR 开关置ON；
SPOT SIZE 2；
插入聚光镜光栏并调正（一般已在2号位，勿动）；
光斑聚至最小，用小会聚钮使光斑欠亮和过亮扩大，光斑较圆且不变形，则说明无
像散；若光斑变椭圆，则进行下步调节；
5. 慢旋COND STIGMATOR：X、Y钮，使光斑变圆；
6. 反复步骤4、5，直至像散消除。
六、调灯丝像 （非管理人员勿调）
1.
2.
3.
4.
MAG模式，～5000倍。
SPOT SIZE 2。
CONDENSER 聚光，使光斑最小，并移至中心。
缓慢逆转灯丝发射钮（FILAMENT EMISSION），至看到灯丝欠饱和像，即车轮像。
若车轮像对称，则省略步骤5，若车轮像不对称，则进行下面调节。
5. 慢旋GUN ALIGNMENT：TILT（X、Y），使灯丝像对称。
6. 慢顺旋灯丝发射钮至车轮像消失并锁住；若光斑不在屏中心，则用左右
ALIGNMENT：TRANS拉回中心。
七、电压中心调节（大于10万倍照像或高分辨工作时做）
2024年3月14日发(作者：于文栋)
JEM－200CX透射电镜使用说明
操作规程
一、开机程序
1. 确认下列开关和部位在正常位置：
READY 绿灯亮
AIRLOCK OPEN 绿灯亮
ACCELERATING VOLTAGE：HT--- OFF
FILAMENT EMISSION： OFF
物镜光栏位置---0
选区光栏位置---0
样品台倾转角---0
2. 开机：
开启冷却水循环装置；
启动稳压电源，稳定于220V；查看电源箱供电指示灯亮；
用钥匙启动主机：从OFF位快旋到START位，松手后钥匙自动回至
ON位。等待约20分钟，仪器自动抽空（表现为：面板灯亮--压缩
机工作--机械泵工作--水循环开始--真空系统DP绿灯亮--真空系统
HIGH绿灯亮、READY绿灯亮）。
二、找电子束
1. 确认READY和AIRLOCK OPEN绿灯亮；
2. 样品台已插入镜筒；
3. 加高压：按下HT键后，80－100－120－160－200KV依次缓慢按键，并注意观察束
流表指示是否正常，200KV下束流在95～115μA。
4. 加灯丝：将FILAMENT EMISSION 钮慢旋至锁定位置。
5. 在LOW MAG或MAG＜1万倍下，调节大小CONDENSER钮，得到光斑。（若无
光，则移动样品或样品台退出光路后找亮）。
6. 用CONDENSER钮将光斑大小改变，若光斑偏离荧光屏中心，用左右ALIGNMENT：
TRANS将光斑拉回。
三、聚光镜光栏（一般不动）
1. 确认电子束流已聚于屏中心（无样品挡光）；
2. SCAN模式下，将聚光镜光栏顺旋插入（常用2号）；
3. 用CONDENSER改变光斑大小，调节聚光镜光栏小旋钮，使光以屏中心同心扩展、
收缩，即得同心圆。
四、1－3合轴（一般勿调）
1.
2.
3.
4.
SPOT SIZE 2，调出亮斑并会聚、移至屏中心。
MAG模式，＜1万倍, SPOT SIZE 1。
束流聚小于屏中心，若偏离中心，用GUN ALIGNMENT：TRANS （X、Y）拉回。
SPOT SIZE 3 ，聚小光斑，若不在屏中心，用左右ALIGNMENT：TRANS拉回；
若光斑消失，则改用SPOT SIZE 2，将束流调至屏中心后，再改为SPOT SIZE 3 调
节。
5. 反复3、4步，使束流不偏离中心。
6. 返回常用束斑尺寸：SPOT SIZE 2。
五、聚光镜消像散
1.
2.
3.
4.
MAG模式，＜1万倍, COND STIGMATOR 开关置ON；
SPOT SIZE 2；
插入聚光镜光栏并调正（一般已在2号位，勿动）；
光斑聚至最小，用小会聚钮使光斑欠亮和过亮扩大，光斑较圆且不变形，则说明无
像散；若光斑变椭圆，则进行下步调节；
5. 慢旋COND STIGMATOR：X、Y钮，使光斑变圆；
6. 反复步骤4、5，直至像散消除。
六、调灯丝像 （非管理人员勿调）
1.
2.
3.
4.
MAG模式，～5000倍。
SPOT SIZE 2。
CONDENSER 聚光，使光斑最小，并移至中心。
缓慢逆转灯丝发射钮（FILAMENT EMISSION），至看到灯丝欠饱和像，即车轮像。
若车轮像对称，则省略步骤5，若车轮像不对称，则进行下面调节。
5. 慢旋GUN ALIGNMENT：TILT（X、Y），使灯丝像对称。
6. 慢顺旋灯丝发射钮至车轮像消失并锁住；若光斑不在屏中心，则用左右
ALIGNMENT：TRANS拉回中心。
七、电压中心调节（大于10万倍照像或高分辨工作时做）