2024年4月26日发(作者：官理)
Ag—MgF2金属陶瓷薄膜的制备及其微观
结构研究
22一2真空科学与技术
22OVACUUMSCIENCEA3,'DTECHNOLOGY(CHINA,
第18卷第3期
1998年5月
Ag—MgF2金属陶瓷薄膜
的制备及其微观结构研究
SunZh~oo,UAhla,XuZhiyuan,SunDawing
(啦栅盯旺,喊f舳嘶.哟,2姗)
Al吲瑚dA~UgV2.硼lfi~nsweresuec,.~ullyby~.~CIRlmde∞The珂icro商nlc呐
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0.26102,0.23540,0.20393nm肿Bpec吣."Filesm~ceblnd~e1.既画瞄
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n山砬b艇thanth日l印叫edby'ec㈣akenmti~gdE
KeywordsAg~.Y2cetfilm,Pl~on,Microstmcture,Estate
摘要用真空双蔫发源交替蔫发法和单蒸发源混合瞬时蒸发法制备了A金属陶瓷
薄膜.透射
电镜,电子衍射,X射线衍射以及X射线光电子能谱分折结果表明,薄膜由晶态超微
粒Ag镶嵌于主要为非
晶态的Mg中构成.AMg形成的金属陶瓷复合晶体结构所对应的主要谱峰为
d=0.26102,0.23540,
0.~0393-血用真空单蒸发源混合瞬时蒸发法制备的培№薄膜表面元素的结合能
大于双蒸发源交替
蒸发法翻备的薄膜表面元
关键词Ag-Mg~2
1引言
哗鳖银铷
金属陶瓷薄膜的研究是材料科学中的一个新领域,近年来颇受人们关
注.Ag-M#'~,AS-
sio工,,,等金属陶瓷薄膜已被很多人研究过u"J,有些已被
应用于光
电功能材料中.Ag和M_,2是重要的光学材料和电学材料,它们都具有简单不变的
晶体结
构将这两种材料制成金属陶瓷薄膜,定将具有新的特殊性能.但是,由于这种金属
陶瓷薄
膜的微观结构的复杂性(例如空隙效应等),使得这方面的研究工作进展缓慢.迄今
为止,只
见到过dziska-Josifovaka等】的一篇报道.
*本项目为安徽省自彝鸟科学基金资助课艇.
纠
;|
明完一
龠合泖
第3期孙兆奇等:AMg金属陶瓷薄膜的制备及其微观结构研究
本实验用真空蒸镀法制备了Ag-MgF2金属陶瓷
薄膜,并用透射电镜(TEM),电子衍射(ED),X射线衍
射(Ⅺ∞),x射线光电子能谱(Ⅺ)分析和研究了AS-
M金属陶瓷薄膜的晶体结构和电子能态.
2024年4月26日发(作者：官理)
Ag—MgF2金属陶瓷薄膜的制备及其微观
结构研究
22一2真空科学与技术
22OVACUUMSCIENCEA3,'DTECHNOLOGY(CHINA,
第18卷第3期
1998年5月
Ag—MgF2金属陶瓷薄膜
的制备及其微观结构研究
SunZh~oo,UAhla,XuZhiyuan,SunDawing
(啦栅盯旺,喊f舳嘶.哟,2姗)
Al吲瑚dA~UgV2.硼lfi~nsweresuec,.~ullyby~.~CIRlmde∞The珂icro商nlc呐
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KeywordsAg~.Y2cetfilm,Pl~on,Microstmcture,Estate
摘要用真空双蔫发源交替蔫发法和单蒸发源混合瞬时蒸发法制备了A金属陶瓷
薄膜.透射
电镜,电子衍射,X射线衍射以及X射线光电子能谱分折结果表明,薄膜由晶态超微
粒Ag镶嵌于主要为非
晶态的Mg中构成.AMg形成的金属陶瓷复合晶体结构所对应的主要谱峰为
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0.~0393-血用真空单蒸发源混合瞬时蒸发法制备的培№薄膜表面元素的结合能
大于双蒸发源交替
蒸发法翻备的薄膜表面元
关键词Ag-Mg~2
1引言
哗鳖银铷
金属陶瓷薄膜的研究是材料科学中的一个新领域,近年来颇受人们关
注.Ag-M#'~,AS-
sio工,,,等金属陶瓷薄膜已被很多人研究过u"J,有些已被
应用于光
电功能材料中.Ag和M_,2是重要的光学材料和电学材料,它们都具有简单不变的
晶体结
构将这两种材料制成金属陶瓷薄膜,定将具有新的特殊性能.但是,由于这种金属
陶瓷薄
膜的微观结构的复杂性(例如空隙效应等),使得这方面的研究工作进展缓慢.迄今
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见到过dziska-Josifovaka等】的一篇报道.
*本项目为安徽省自彝鸟科学基金资助课艇.
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第3期孙兆奇等:AMg金属陶瓷薄膜的制备及其微观结构研究
本实验用真空蒸镀法制备了Ag-MgF2金属陶瓷
薄膜,并用透射电镜(TEM),电子衍射(ED),X射线衍
射(Ⅺ∞),x射线光电子能谱(Ⅺ)分析和研究了AS-
M金属陶瓷薄膜的晶体结构和电子能态.