2024年8月14日发(作者：威元绿)
维普资讯
第３１卷第１期
２００８年２．月
电子器件
Ｃｈｉｎｅｓｅ Ｊｏｕｍａｌ Ｏｆ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｄｅｖｉｃｅｓ
Ｖｏ１．３１ Ｎｏ．１
Ｆｅｂ．２００８
Ｃａｔｈｏｄｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ Ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆ Ｂａ３ Ｇａ（ＰＯ４）３：Ｄｙ３＋Ｐｈｏｓｐｈｏｒ
ＤＵＡＮ Ｃ ，ＣＨＥＮ Ｊｕｎ 一，ＤＥＮＧ Ｓ Ｚ ，ＸＵＮ Ｓ ，ＨＡＮ Ｂｉｎｇ ，ＬＩＡＮＧ Ｈ Ｂ ，ＳＵ＠ａｎｇ
ｆ Ｌ ｓ缸 Ｋ 上，口６Ｄｍ细 。，ｏ 。 加 ＾缸 ｒ 如口 丁 加 。ｇ ，口 Ｇ眦 ｇ 。 ｇ Ｐ加 Ｋ 上，口６Ｄｍ细 。，Ｄ 户 ］
｝Ｍａｔｅｒｉａｌ ａｎｄ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｓｕｎ Ｙａｔ－ｓｅｎ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｇｕａｎｇｚｈｏｕ ５１０２７５，Ｐ．Ｒ．Ｃｈｉｎａ；
ｌ ２．Ｓｃｈｏｏｌ ｏｆ Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ ａｎｄ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｓｕｎ Ｙａｔ－ｓｅｎ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｇｕａｎｇｚｈｏｕ ５１０２７５，Ｐ．Ｒ．Ｃｈｉｎａ
Ｉ
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Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｃａｔｈｏｄｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆ Ｂａ３ Ｇｄ（ＰＯ４）３：Ｄｙ３＋ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｗｅｒｅ ｓｔｕｄｉｅｄ．Ｔｈｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｗａｓ
ｓｙｎｔｈｅｓｉｚｅｄ ｂｙ ｈｉｇｈ－ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ｓｏｌｉｄ－ｐｈａｓｅ ｒｅａｃｔｉｏｎ．Ｃａｔｈｏｄｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ ｓｐｅｃｔｒａ，ｔｈｅ Ｃｏｍｍｉｓｓｉｏｎ Ｉｎ－
ｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ ｄｅ １’Ｅｃｌａｉｒａｇｅ ｃｏｌｏｕｒ ｃｏｏｒｄｉｎａｔｅｓ ａｎｄ ｐｈｏｔｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ ｓｐｅｃｔｒａ ｗｅｒｅ ｄｅｔｅｒｍｉｎｅｄ．Ｔｈｅ Ｃａｔｈｏ－
ｄｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ ｓｈｏｗｓ ｔｈａｔ ｔｈｅ Ｃｏｍｍｉｓｓｉｏｎ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ ｄｅ ｌ’Ｅｃｌａｉｒａｇｅ（ＣＩＥ）ｃｈｒｏｍａｔｉｃｉｔｙ
ｃｏｏｒｄｉｎａｔｅｓ ｏｆ Ｂａ３Ｇｄ（ＰＯ４）３：０．０６Ｄｙ计ｐｈｏｓｐｈｏｒ ａｒｅ ｘ＝０．４５４ ａｎｄ ｙ＝Ｏ．４２４，ａｎｄ ｔｈｅ ｃｏｌｏｒ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ｉｓ
２８８９．３ Ｋ．Ｔｈｅ ｒｅｓｕｌｔｓ ｓｈｏｗ ｔｈａｔ ｔｈｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｉｓ ａ １ｏｗ ｃｏｌｏｒ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ，ｗａｒｍ－ｗｈｉｔｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｗｉｔｈ ｈｉｇｈ
ｓａｔｕｒａｔｉｏｎ ｃｕｒｒｅｎｔｓ ａｎｄ ｃａｎ ｅｎｄｕｒｅ ｈｉｇｈ－ｃｕｒｒｅｎｔ－ｄｅｎｓｉｔｙ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ．
Ｋｅｙ ｗｏｒｄｓ：ｃａｔｈｏｄｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ；ｐｈｏｓｐｈｏｒ；Ｂａ３Ｇｄ（ＰＯ４）３：Ｄｙ３十
Ｅ］ Ｃ：４２６０
Ｂａ３ Ｇａ（ＰＯ４ ３：Ｄｙ３＋ 荧光粉阴极射线发光研究＊
段春艳 ，陈 军 ，邓少芝 ，许宁生 ，韩 冰 ，梁宏斌 ，苏 锵
（＼．２ 萋中山大学化学与化学工程学院， 广州 ５蝮１０２７ ５梢 戢糯点她 ），
摘 要：本文研究了采用高温固相法合成的Ｂａ３Ｇｄ（ＰＯ４）。：Ｄｙ３ 荧光粉的阴极射线发光特性。测试并比较了电子轰击前后
荧光粉的ＣＬ谱、色坐标以及ＰＬ谱变化。Ｂａ３Ｇｄ（ＰＯ４）。：０．Ｏ６Ｄｙ３ 荧光粉的色坐标为ｘ＝０．４５４，ｙ一０．４２４，Ｔ ＝２８８９．３ Ｋ。
测试结果显示该荧光粉是一种低色温、暖白光荧光粉，并且具有高的饱和电流，有耐大电流密度电子束轰击的能力。
关键词：阴极射线发光；荧光粉；Ｂａ３Ｇｄ（ＰＯ４）。：Ｄｙ３
中图分类号：ＴＮ８７３．３ 文献标识码：Ａ 文章编号：１００５－９４９０（２００８）０１－０１８４－０５
Ｉｎ ｒｅｃｅｎｔ ｙｅａｒｓ，ｓｉｇｎｉｆｉｃａｎｔ ｐｒｏｇｒｅｓｓｅｓ ｈａｖｅ ｂｅｅｎ
ｍａｄｅ ｉｎ ｔｈｅ ａｒｅａ ｏｆ ｃａｔｈｏｄｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ ｌｉｇｈｔ ｓｏｕｒｃｅｓ
ｅｍｐｌｏｙｉｎｇ ｆｉｅｌｄ ｅｍｉｓｓｉｏｎ ｃａｔｈｏｄｅ．ｗｈｉｃｈ ｈａｖｅ ｔｈｅ ａｄ—
ｖａｎｔａｇｅｓ ｏｆ ｈｉｇｈ ｂｒｉｇｈｔｎｅｓｓ。１ｏｗ－ｐｏｗｅｒ ｃｏｎｓｕｍｐｔｉｏｎ
ａｎｄ ａｒｅ ｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔａｌｌｙ ｆｒｉｅｎｄｌｙ［１－４３．Ｂｕｔ ａｓ ｔｏ ｔｈｅ
ｒａｙ ｔｕｂｅｓ（ａＲ，］ ）ｏｒ ｐｒｏｊｅｃｔｉｏｎ ｔｕｂｅｓ（ＰＲ，］ ）．Ｃａｔｈ—
ｄｏｌｏｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｆｏｒ ａｐｐｌｉａｔｃｉｏｎ ｉｎ ｆｉｅｌｄ ｅｍｉｓ—
ｓｉｏｎ １ｉｇｈｔ ｓｏｕｒｃｅ ｒｅｑｕｉｒｅｓ ｈｉｇｈ ｅｆｆｉａｃｙ ｃａｔ １ｏｗｅｒ ｅｘｃｉａ－ ｔ
ｔｉｏｎ ｖｏｌａｇｅｓ（５～１０ ｋＶ）ｔｔｈａｎ ＣＲ＿ＴＳ ａｎｄ ＰＲＴＳ，ｔｈｅｒ－
ｌ＇ｎａ１ ｓｔａｂｉｌｉｔｙ ｕｎｄｅｒ ｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓ ｈｉｇｈｅｒ ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｉｅｓ
ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ，ｍｏｓｔ ｏｆ ｔｈｅ ｒｅｐｏｒｔｅｄ ｆｉｄｄ ｅｍｉｓｓｉｏｎ ｌｉｇｈｔ
ｏｕｒｃｅｓ ｕｔｉｓｌｉｚｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ ｏｐｔｉｉｚｅｍｄ ｆｏｒ ｃｏｌｏｒ ｃａｔｈｏｄｅ－
（１００～２００“Ａ／ｃｍ２），ａｎｄ ｈａｖｉｎｇ ｃｏｌｏｒ ｃｏｏｒｄｉｎａｔｅｓ
（ｗｈｉｔｅ １ｉｇｈｔ）ｏｆ ｔｒａｄｉｔｉｏｎａｌ １ｉｇｈｔ ｓｏｕｒｃｅｓ，Ｕｓｕａｌｌｙ，ｒｅ－
收稿日期：２００７－０４－３０
基金项目：Ｓｅｅ Ａｃｋｎｏｗｌｅｄｇｍｅｎｔｓ
作者简介：段春艳（１９７６一），女，博士研究生，研究方向为场发射显示器用荧光粉；
陈军（１９６７一），男，教授，主要研究方向为纳米光电材料及器件；
邓少芝（１９６３一），女，教授，主要研究方向为纳米光电材料及器件；
许宁生（１９５７－），男，教授，主要研究方向为纳米光电材料及器件；
韩
苏
冰（１９８３一），男，硕士研究生，研究方向为稀土发光材料的光谱性质；
锵（１９３１一），男，中国科学院院士，教授，研究方向为稀土化学与物理．
梁宏斌（１９６５一），男，副教授，研究方向为稀土化学与物理；
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第１期 段春艳，陈 军等：Ｂａ。Ｇａ（ＰＯ４）。：Ｄｙ。＋荧光粉阴极射线发光研究 １８５
ｓｅａｒｃｈｅｒｓ ｒｅｌｙ ｏｎ ｍｉｘｉｎｇ ｔｈｒｅｅ ｐｒｉｍａｒｙ ｃｏｌｏｒ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ
ｔｏ ａｃｈｉｅｖｅ ｔｈｅ ｗａｒｍ－ｗｈｉｔｅ ｏｒ ｃｏｌｄ－ｗｈｉｔｅ ｌｉｇｈｔ ｐｈｏｓ—
ｐｈｏｒｓ ｆｏｒ ｃａｔｈｏｄｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ ｖａｃｕｕｍ ｌｉｇｈｔ ｓｏｕｒｃｅｓｌ＿５Ｊ．
Ｉｎ ｔｈｅ ｍｉｘｅｄ ｗｈｉｔｅ ｌｉｇｈｔ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ，ｔｈｅ ｇｒｅｅｎ
ｆｉｌｍ，ｏｒｇａｎｉｃ ｌａｃｑｕｅｒ ｗｈｉｃｈ ｈａｓ ｔｈｅ ｆｕｎｃｔｉｏｎ ｏｆ ｃｒｅａｔｉｎｇ
ａ ｉｇｈ ｒｈｅｆｌｅｃｔｉｖｅ ａｌｕｍｉｎｕｍ－ｍｉｒｒｏｒ ｗａ ｓｐｒａｙｅｄ ｏｎｔｏ ｔｈｅ
ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｌａｙｅｒ．Ｔｈｅｎ ｔｈｅ ａｌｕｍｉｎｕｍ ｌａｙｅｒ ｗａｓ ｅｖａｐｏ—
ｒａｔｅｄ ｏｎｔｏ ｔｈｉｓ ｌａｃｑｕｅｒｅｄ ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｌａｙｅｒ． ｔｅｒ ｅｖａｐｏ—
ｏｒ ｂｌｕｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ，ｅｓｐｅｃｉａｌｌｙ ｂｌｕｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ，ｏｆ—
ｔｅｎ ａｒｅ ｓｕｌｆｉｄｅ－ｂａｓｅｄ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ．Ｉｔ ｉｓ ｗｅｌｌ ｋｎｏｗｎ
ｔｈａｔ ｓｕｌｆｉｄｅ—－ｂａｓｅｄ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ ｈａｖｅ ｔｈｅ ｈｉｇｈｅｓｔ ｌｕ—－
ｒａｔｉｏｎ ｏｆ ｔｈｅ ａｌｕｍｉｎｕｍ ｆｉｌｍ，ｔｈｅ ｓａｍｐｌｅｓ ｗｅｒｅ ｂａｋｅｄ
ａｔ ３９０℃ｆｏｒ ｔｅｎ ｍｉｎｕｔｅｓ ｉｎ ａｉｒ ａｎｄ ｔｈｅ ｌａｃｑｕｅｒ ｗａｓ ｒｅ—
ｍｏｖｅｄ．Ｔｈｅ ＣＩ ｓｐｅｃｔｒｕｍ。ｔｈｅ Ｃｏｍｍｉｓｓｉｏｎ Ｉｎｔｅｍａ—
ｔｉｏｎａｌ ｄｅ ｌ’Ｅｃｌａｉｒａｇｅ（ＣＩＥ）ｃｏｌｏｕｒ ｃｏｏｒｄｉｎａｔｅｓ ａｎｄ ＣＬ
ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ ｗｅｒｅ ｍｅａｓｕｒｅｄ ｉｎ ａｎ ｕｌｔｒａｈｉｇｈ ｖａｃｕｕｍ ｃｈａｍ—
ｍｉｎｏｕｓ ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｉｅｓ ａｎｄ ｅｘｃｅｌｌｅｎｔ ｃｈｒｏｍａｔｉｃｉｔｙ ｉｎ ａｌｌ
ｔｈｅ ｃｕｒｒｅｎｔｌｙ ａｖａｉｌａｂｌｅ ｉｎｄｕｓｔｒｉａｌ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ［ ．Ｂｕｔ
ｓｕｌｆｉｄｅ—ｂａｓｅｄ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ ｆａｃｅ ｔｈｅ ｐｒｏｂｌｅｍｓ ｏｆ
ｃａｔｈｏ－ｄｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ ｄｅｇｒａｄａｔｉｏｎ ａｎｄ ｄｅｃｏｍｐｏｓｉ—
ｔｉｏｎ，ａｎｄ ｇｅｎｅｒａｔｅ ｈａｒｍｆｕｌ ｇａｓｅｓ ｃａｕｓｉｎｇ ｔｈｅ ｐｏｉ—
ｓｏｎｉｎｇ ｏｆ ｔｈｅ ｃｏｌｄ ｃａｔｈｏｄｅ．Ｍｏｒｅｏｖｅｒ，ｃａｔｈｏｄｏｌｕｍｉ—
ｎｅｓｃｅｎｔ ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ ｏｆ ｔｈｅｓｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ ｔｅｎｄｓ ｔｏ ｓａｔｕｒａｔｅ
ａｔ ｈｉｇｈ－ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｉｅｓ．Ａ１ｌ ｔｈｅｓｅ ｃａｎ ｃａｕｓｅ ｃｈｒｏｍａ—
ｔｉｃｉｔｙ ｐｒｏｂｌｅｍ ｉｎ ｍｉｘｅｄ ｗｈｉｔｅ ｌｉｇｈｔ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ．Ｔｈｅｒｅ—
ｆｏｒｅ，ｔｈｅ ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ ｏｆ ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｍａｔｅｒｉａｌｓ ｉｓ ｏｎｅ ｏｆ
ｔｈｅ ｋｅｙ ｉｓｓｕｅｓ ｆｏｒ ｃａｔｈｏｄｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ ｌｉｇｈｔ ｓｏｕｒｃｅｓ．
Ｄｕｅ ｔｏ ｔｈｅ ｐｒｏｂｌｅｍｓ ｉｎ ｓｕｌｆｉｄｅ－ｂａｓｅｄ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ，ｒａｒｅ
ｅａｒｔｈ ｄｏｐｅｄ ｏｘｉｄｅ－ｂａｓｅｄ ｍａｔｅｒｉａｌｓ ｈａｖｅ ｂｅｅｎ ｓｔｕｄｉｅｄ
ａｎｄ ｒｅｇａＭｅｄ ａｓ ｐｏｓｓｉｂｌｅ ａｌｔｅｒｎａｔｉｖｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ ｄｕｅ ｔｏ
ｔｈｅｉｒ ｓｕｐｅｒｉｏｒ ｃｈｅｍｉｃａｌ ａｎｄ ｔｈｅｒｍａｌ ｓｔａｂｉｌｉｔｙ ｕｎｄｅｒ ｅ—
ｌｅｃｔｒｏｎ ｂｅａｍ ｅｘｃｉｔａｔｉｏｎ［ 一引．Ｉｎ ｔｈｉｓ ｓｔｕｄｙ，ｅａｔｈｏｄｏｌｕ—
ｉｍｎｅｓｃｅｎｔ ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆ Ｂａ３Ｇｄ（Ｐ０４）３：Ｄｆ＋ｗｈｉｔｅ
ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｗｈｉｃｈ ｗａｓ ｓｙｎｔｈｅｓｉｚｅｄ ｂｙ ｈｉｇｈ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ
ｓｏｌｉｄ ｐｈａｓｅ ｒｅａｃｔｉｏｎ ｈａｖｅ ｂｅｅｎ ｓｔｕｄｉｅｄ．
１ Ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌ
Ｔｈｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｗａｓ ｓｙｎｔｈｅｓｉｚｅｄ ｂｙ ｈｉｇｈ—－ｔｅｍ—
ｐｅｒａｔｕｒｅ ｓｏｌｉｄ—ｓｔａｔｅ ｒｅａｃｔｉｏｎ ｍｅｔｈｏｄ．Ｔｈｅ ｒｅａｃｔａｎｔｓ
ｗｅｒｅ ＢａＣ（）３（Ａ．Ｒ．），ＮＨ４ Ｈ２ＰＯ４（Ａ．Ｒ．），Ｇｄ２０３
（９９．９ ），ａｎｄ Ｄｙ２０３（９９．９ ）．Ｔｈｅ ｓｔｏｉｃｈｉｏｍｅｔ—
ｒｉｃ ｒｅａｃｔａｎｔｓ ｗｅｒｅ ｆｉｒｓｔ ｐｒｅ－ｆｉｒｅｄ ａｔ ６００℃，ａｎｄ ｔｈｅｎ
ｈｅａｔｅｄ ａｔ １２５０℃ｉｎ ａｉｒ．Ｂｙ ｖａｒｙｉｎｇ ｔｈｅ ｃｏｎｃｅｎｔｒａ—
ｔｉｏｎ ｏｆ Ｄｙ２ ０３，ｄｉｆｆｅｒｅｎｔ Ｄｙ ｄｏｐｅｄ Ｂａ３ Ｇｄ（Ｐ０４）３
ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｃａｎ ｂｅ ｐｒｅｐａｒｅｄ．Ｉｎ ｔｈｉｓ ｓｔｕｄｙ，Ｂａ３ Ｇｄ
（Ｐ０４）３：０．Ｏ６ＤＦ＋ａｎｄ Ｂａ３Ｇｄ（ＰＯ４）３：０．０３Ｄｙ。＋ａｒｅ
ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚｅｄ．
Ｔｈｅ ｐｈａｓｅｓ ｏｆ Ｂａ３ Ｇｄ（Ｐ０４）３：Ｄｙ３＋ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｗｅｒｅ
ｉｄｅｎｔｉｆｉｅｄ ｂｙ ｐｏｗｄｅｒ Ｘ－ｒａｙ ｄｉｆｒａｃｔｉｏｎ （Ⅺ 。
ＲＩＧＡＫＵ Ｄ／ｍａｘ ２２００）ｕｓｉｎｇ Ｃｕ Ｋａ（ 一１．５４１７８
Ａ）ｒａｄｉａｔｉｏｎ，ａｎｄ ｔｈｅ ｐｏｗｄｅｒ ｍｏｒｐｈｏｌｏｇｉｅｓ ｗｅｒｅ ｓｔｕｄ－
ｉｅｄ ｂｙ ｓｃａｎｎｉｎｇ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ（ＳＥＭ。ＪＳＭ－
６３３０Ｆ）．Ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｌａｙｅｒｓ ｗｅｒｅ ｄｅｐｏｓｉｔｅｄ ｏｎｔｏ ｉｎｄｉｕｍ
ｔｉｎ ｏｘｉｄｅ（ＩＴＯ）ｇｌａｓｓ ｕｓｉｎｇ ａ ｓｅｄｉｍｅｎｔ ｍｅｔｈｏｄ ａｔ ６
ｅｒ＿ｇ￣ｃｒｎ２ ｗｉｔｈ ａ ｓｏｌｕｔｉｏｎ ｏｆ ｐｏｔａｓｓｉｕｍ ｓｉｌｉｃａｔｅ ａｎｄ ｎｉ—
ｔｒａｔｅ ｏｆ ｂａｒｙｔａ ｔｅｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ。ｔｈｅ ｓａｍｐｌｅｓ ｗｅｒｅ
ｂａｋｅｄ ａｔ １５０℃ｆｏｒ ３０ ｍｉｎｕｔｅｓ．Ｆｏｒ ｓｏｍｅ ｓａｍｐｌｅｓ。
１００ ｎｌＴｌ ａｌｕｍｉｎｕｍ ｔｈｉｎ ｆｉｌｍ ｗａｓ ｅｖａｐｏｒａｔｅｄ ｏｎｔｏ ｔｈｅ
ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｌａｙｅｒ．Ｂｅｆｏｒｅ ｅｖａｐｏｒａｔｉｏｎ ｏｆ ｔｈｅ ａｌｕｍｉｎｕｍ
ｂｅｒ ｔｈａｔ ｈａｓ ａ ｂａｓｅ ｐｒｅｓｓｕｒｅ ｏｆ～５×１０—０ Ｐａ Ｔｈｅ ｅｘ—
ｃｉｔａｔｉｏｎ ｖｏｌａｔｇｅ ｗａｓ ｖａｒｉｄｅ ｆｒｏｍ ０ ｔｏ １０ ｋＶ ａｎｄ ｔｈｅ
ａｎｏｄｅ ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｙ ｆｒｏｍ ０ ｔｏ ４００ ｕＡ／ｃｍ ．Ｔｈｅ
ＣＩ ｓｐｅｃｔｒｕｍ ａｎｄ ｔｈｅ ＣＩＥ ｃｏｌｏｒ ｃｏｏｒｄｉｎａｔｅｓ ｗｅｒｅ
ｍｅａｓｕｒｅｄ ａｔ ７ ｋＶ，３０“Ａ／ｃｍ ．Ｔｈｅ ＣＩ ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ
ｗａｓ ｍｅａｓｕｒｅｄ ｗｉｔｈ ａ Ｉ Ｓ１ １ ０ ｌｕｍｉｎａｎｃｅ ｍｅｔｅｒ ａｔ ｔｈｅ
ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ ｆａｃｉｎｇ ｔｈｅ ｉｎｃｉｄｅｎｔ ｅｌｅｃｔｒｏｎ．Ｔｈｅ ＣＬ
ｓｐｅｃｔｒｕｍ ａｎｄ ｔｈｅ ＣＩＥ ｃｏｌｏｕｒ ｃｏｏｒｄｉｎａｔｅｓ ｗｅｒｅ
ｍｅａｓｕｒｅｄ ｗｉｔｈ ａｎ ＯＰＴ－２０００ ｏｐｔｉｃａｌ ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ。
ｗｈｉｃｈ ｈａｓ ａｎ ａｃｃｕｒａｃｙ ｏｆ±０．００５．Ａｎ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｇｕｎ
ｗｉｔｈ ｃａｒｂｏｎ ｎａｎｏｔｕｂｅ（ＣＮＴ）ｃｏｌｄ ｃａｔｈｏｄｅ ｗａｓ
ｅｍｐｌｏｙｅｄ ｉｎ ｔｈｅ ＣＬ ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ．Ｐｈｏｔｏｌｕｍｉｎｅｓ—
ｃｅｎｃｅ（ＰＬ）ｓｐｅｃｔｒａ ｗｅｒｅ ｍｅａｓｕｒｅｄ ｕｓｉｎｇ ａ ＨＩＴＡ—
ＣＨＩ Ｆ－４５００ ｆｌｕｏｒｅｓｃｅｎｃｅ ｓｐｅｃｔｒｏｐｈｏｔｏｍｅｔｅｒ ｗｉｔｈ ａ
１５０ Ｗ Ｘｅ ｌａｍｐ．Ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ ｂｏｔｈ ｂｅｆｏｒｅ ａｎｄ ａｆｔｅｒ
ｈｉｇｈ—ｃｕｒｒｅｎｔ—ｄｅｎｓｉｔｙ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ ｗｅｒｅ ｔｅｓｔｅｄ．
Ａｌｓｏ，Ｘ－ｒａｙ ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎ ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ（ＸＰＳ）
ｓｐｅｃｔｒａ ｏｆ ｔｈｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｗｅｒｅ ｒｅｃｏｒｄｅｄ ｂｅｆｏｒｅ ａｎｄ
ａｆｔｅｒ ｈｉｇｈ－ｃｕｒｒｅｎｔ－ｄｅｎｓｉｔｙ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ ｕｓｉｎｇ ａｎ
ＥＳＣＡＩ ＡＢ ２５０ ＸＰＳ ｓｙｓｔｅｍ．Ｔｈｅ Ｘ－ｒａｙ ｇｕｎ ｆｏｒ
ｔｈｅ ＸＰＳ ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｓ ｈａｄ ａｎ Ａｌ（Ｋａ）ｔａｒｇｅｔ ｗｉｔｈ
ｐｈｏｔｏｎ ｅｎｅｒｇｙ １４８６．６ ｅＶ．
２ Ｒｅｓｕｌ ｔｓ ａｎｄ Ｄｉｓｃｕｓｓｉｏｎ
Ｔｈｅ ｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙ ｏｆ ｔｈｅ Ｂａ３ Ｇｄ（ＰＯ４）３：Ｄｙ。＋
ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ ａｒｅ ｓｈｏｗｎ ｉｎ Ｆｉｇｕｒｅ １，Ｔｈｅ ａｖｅｒａｇｅ
ｇｒａｉｎ ｓｉｚｅ ｉｓ ５～１０ ｕｍ．Ｆｉｇｕｒｅ ２ ｓｈｏｗｓ ＸＲＤ ｓｐｅｃ—
ｔｒａ ｏｆ ｔｈｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ．Ａｎａｌｙｓｉｓ ｏｆ ｔｈｅ ＸＲＤ ｄａｔａ
ｓｈｏｗｓ Ｂａ３ Ｇｄ（ＰＯ４）３ ｈａｓ ａ ｂｏｄｙ—ｃｅｎｔｅｒｅｄ ｃｕｂｉｃ
ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ ｗｉｔｈ ｔｈｅ ｃｅｌｌ ｐａｒａｍｅｔｅｒ ａ—１．０４７ ｎｍ
（ＪＣＰＤＳ ２９－０１６３）．
Ｆｉｇｕｒｅ ３ ｓｈｏｗｓ ＣＩ ｓｐｅｃｔｒａ ｏｆ Ｂａ３Ｇｄ（ＰＯ４）３：
Ｂｙ＇＋ｐｈｏｓｐｈｏｒ．Ｆｉｇｕｒｅ ４ ｇｉｖｅｓ ｔｈｅ ＣＩＥ ｃｏｏｒｄｉｎａｔｅｓ
ｏｆ Ｂａ３Ｇｄ（Ｐ０４）３：Ｄｙａ＋ｉｎ ｔｈｅ ＣＩＥ １９３１ ｄｉａｇｒａｍ．
Ｔｈｅ ＣＩ ｓｐｅｃｔｒａ ｏｆ Ｂａ３ Ｇｄ（ＰＯ４）３：Ｄｙ３＋ｐｈｏｓｐｈｏｒ
ｃｏｎｓｉｓｔ ｏｆ ｔｈｒｅｅ ｐｅａｋｓ．Ｔｈｅ ｍａｘｉｍｕｍ ｅｍｉｓｓｉｏｎ
ｐｅａｋ ｏｆ Ｂａ３Ｇｄ（ＰＯ４）３：０．０６Ｄｙ计ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｗａｓ ｌｏ—
ｃａｔｅｄ ａｔ ５８４ ｎｍ（ｔｈｅ ｙｅｌｌｏｗ ｂａｎｄ），ｃｏｒｒｅｓｐｏｎｄｉｎｇ
ｔｏ ｔｈｅ Ｆ９／２ Ｈｌ３／２ ｔｒａｎｓｉｔｉｏｎ ｏｆ Ｄｙ。＋；ｔｈｅ ｅｍｉｓ—
ｓｉｏｎ ｐｅａｋ ｏｆ ４９２ ｎｍ（ｔｈｅ ｂｌｕｅ ｂａｎｄ）ｃｏｒｒｅｓｐｏｎｄｓ
ｔｏ ｔｈｅ Ｆｇ／２ 。Ｈｌ５／２ ｔｒａｎｓｉｔｉｏｎ ｏｆ Ｄｙ３＋；ｔｈｅ
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１８６ 电 子器件
≈＿
第３１卷
Ｂ善＿ｄ
，≈＿，抽！ｓ＿§ｕ１
Ｆｉｇ．１ Ｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙ ｏｆ Ｂａ￣Ｇｄ（ＰＯ４）３：Ｄ ｐｈｏｓｐｈｏｒ
Ｆｉｇ．２ Ｘ－ｒａｙ ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ ｐａｔｔｅｒｎ ｏｆ Ｂ￣Ｇｄ（ＰＯ４）３：Ｄ
Ｗａｖａｅｎ￣ｈ／ｎｉｌｌ
Ｆｉｇ．３ ＣＬ ｓｐｅｃｔｒａ ｏｆ Ｂａ３ Ｇｄ（Ｐｏ４）３：Ｄ ｐｈｏｓｐｈｏｒ
ｅｍｉｓｓｉｏｎ ｐｅａｋ ｏｆ ６７６ ｎｍ（ｔｈｅ ｒｅｄ ｂａｎｄ）ｃｏｒｒｅ—
ｓｐｏｎｄｓ ｔｏ ｔｈｅ Ｆ９／２ Ｈ１ １／２ ｔｒａｎｓｉｔｉｏｎ ｏｆ Ｄｙｅ＋［ ．
Ｔｈｅ ＣＩＥ ｃｈｒｏｍａｔｉｃｉｔｙ ｃｏｏｒｄｉｎａｔｅｓ ｗｅｒｅ ｘ一０．４５４
ａｎｄ ｙ一０．４２４（Ｆｉｇｕｒｅ ４（ａ）），ａｎｄ ｔｈｅ ｃｏｌｏｒ ｔｅｍ－
ｐｅｒａｔｕｒｅ ｗａｓ ２８８９．３ Ｋ．Ｔｈｅ ｓｔｒｏｎｇｅｓｔ ｅｍｉｓｓｉｏｎ
ｐｅａｋ ｏｆ Ｂａ３ Ｇｄ（ＰＯ４）３：０．０３Ｄｙ￣＋ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｗａｓ ｌｏ—
ｃａｔｅｄ ａｔ ５８３ ｎｍ。ｔｈｅ ＣＩＥ ｃｈｒｏｍａｔｉｃｉｔｙ ｃｏｏｒｄｉｎａｔｅｓ
ｗｅｒｅ ｘ＝０．４６５ ａｎｄ ｙ一０．４２７（Ｆｉｇｕｒｅ ４（ｂ）），
ａｎｄ ｔｈｅ ｃｏｌｏｒ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ｗａｓ ２７５７．２ Ｋ．Ｉｔ ｃａｎ ｂｅ
ｓｅｅｎ ｔｈａｔ ｔｈｅ ＣＩＥ ｃｏｏｒｄｉｎａｔｅｓ ｈａｖｅ ｓｏｍｅ ｓｈｉｆｔｓ
ｗｈｅｎ ｔｈｅ ｃｏｎｃｅｎｔｒａｔｉｏｎ ｏｆ ｔｈｅ ａｃｔｉｖａｔｏｒ ｉｎ ｔｈｅ
ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｉｓ ｄｉｆｆｅｒｅｎｔ．Ｆｒｏｍ ａｂｏｖｅ ｒｅｓｕｌｔｓ，ｏｎｅ ｃａｎ
ｓｅｅ ｔｈａｔ Ｂａ３ Ｇｄ（ＰＯ４）３：Ｄｙ３＋ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｉｓ ａ ｌｏｗ ｃｏｌ—
ｏｒ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ，ｗａｒｍ－ｗｈｉｔｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒ．
ＣＬ ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆ Ｂａ３Ｇｄ（ＰＯ４）３：０．０６Ｄｙ３＋
ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｗｅｒｅ ｍｅａｓｕｒｅｄ ａｆｔｅｒ ｗｏｒｋｉｎｇ ａｔ ２ ｋＶ。３Ｏ
ｕＡ／ｃｍ ｆｏｒ １５ ｍｉｎｕｔｅｓ．Ｆｉｇｕｒｅ ５（ａ）ｓｈｏｗｓ ｔｈｅ ｌｕ—
ｍｉｎａｎｃｅ ｖａｒｉａｔｉｏｎ ｗｉｔｈ ａｎｏｄｅ ｖｏｌｔａｇｅ ｗｈｅｎ ｔｈｅ ｃｕｒ—
ｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｉｅｓ ｗｅｒｅ ａｔ ６３ ｕＡ／ｃｍ ．Ｔｈｅ ｌｕｍｉｎａｎｃｅ
ｉｎｃｒｅａｓｅｄ ａｓ ａ ｆｕｎｃｔｉｏｎ ｏｆ ｔｈｅ ａｎｏｄｅ ｖｏｌｔａｇｅ．Ｔｈｅ
ｌｕｍｉｎａｎｃｅ ｒｅａｃｈｅｓ ｏｖｅｒ １９９６ ｃｄ／ｍ ａｔ １０ ｋＶ，６３
“Ａ／ｃｍ ｆｏｒ ｔｈｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｓｃｒｅｅｎ ｗｉｔｈ ａ １００ ｎｍ ａ－
您１９ 『１ｃｈ ｗｎＢ咄 Ｄ Ⅻｎ
、
， Ｇ １ ，５ｏ
＼＝
５８０
Ｉ ａ ＼ ０
Ｏ
６３０
－＇ ） 驯
／
／ ／
．
／
／
Ｆｉｇ．４ Ｔｈｅ ＣＩＥ ｃｏｏｒｄｉｎａｔｅｓ ｏｆ Ｂａ３ Ｇｄ（ＰＯ４）３：Ｄ ．
（ａ）Ｉ￣Ｇｄ（ＦＯ４）３：０．０６Ｄｙ￣ ；（ｂ）ｔ￣Ｇｄ（ＦＯ４）３：０．０３Ｄｙ￣＋
ｌｕｍｉｎｕｍ ｆｉｌｍ，ｗｈｉｃｈ ｉｓ ５．２ ｔｉｍｅｓ ｈｉｇｈｅｒ ｔｈａｎ ｔｈａｔ
ｏｆ ｔｈｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｗｉｔｈｏｕｔ ａｎ ａｌｕｍｉｎｕｍ ｆｉｌｍ．Ｔｈｅ
ｌｕｍｉｎａｎｃｅ ｆｏｒ ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｗｉｔｈｏｕｔ Ａｌ ｌａｙｅｒ ｉｓ ｌｏｗ
ｐｒｏｂａｂｌｙ ｄｕｅ ｔｏ ｔｈｅ ｈｉｇｈ ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ ｏｆ ｐｈｏｓｐｈｏｒ
ｍａｔｅｒｉａｌｓ ｂｅｓｉｄｅｓ ｔｈｅ ｍｉｒｒｏｒ ｅｆｆｅｃｔ ｏｆ Ａｌ ｆｉｌｍ［１０３．
．
目．８ §
—．－
ｗｉ
口＿
ｔｈ１
Ｅｊ
００ ｎｍ
ＡＩ ／
．—
／
．
０ ２ ４ ６ ８ １０
Ｖ
（ａ）Ｌｕｍｉｎａｎｃｅ ｖｓ．ａｎｏｄｅ ｖｏｌｔａｇｅ
Ｊ，ｕ Ａ・ｃｍ－２
（ｂ）Ｌｕｍｉｎａｎｃｅ ｖｓ．ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｙ
Ｆｉｇ．５ ＣＬ ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆ Ｂａ３Ｇｄ（ＰＯ４）３：Ｄ ｐｈｏｓｐｈｏｒ
Ｔｈｅ ｌｕｍｉｎａｎｃｅ ａｓ ｆｕｎｃｔｉｏｎ ｏｆ ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｙ
ａｔ ｄｉｆｆｅｒｅｎｔ ａｎｏｄｅ ｖｏｌｔａｇｅｓ ｗａｓ ｔｅｓｔｅｄ ａｎｄ ｔｈｅ ｒｅ—
ｓｕｈｓ ａｒｅ ｓｈｏｗｎ ｉｎ Ｆｉｇｕｒｅ ５（ｂ）．Ｔｈｅ ｅｘｃｉｔａｔｉｏｎ
ｖｏｌｔａｇｅ ｗａｓ ｖａｒｉｅｄ ｆｒｏｍ ２ ｔｏ ７ ｋＶ．Ａｔ ａ ｆｉｘｅｄ ｖｏｌｔ—
ａｇｅ，ｗｉｔｈ ｉｎｃｒｅａｓｉｎｇ ｏｆ ｔｈｅ ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｙ，ｔｈｅ ｌｕ—
ｍｉｎａｎｃｅ ｉｎｃｒｅａｓｅｓ ｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓｌｙ ｕｎｔｉｌ ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉ－
ｔｙ ｒｅａｃｈｅｓ ａｂｏｕｔ ５００￣Ａ／ｃｍ 。ｗｈｉｃｈ ｉｓ ｔｈｅ ｍａｘｉ－
ｍｕｍ ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｙ ｏｕｒ ｔｅｓｔｉｎｇ ｆａｃｉｌｉｔｙ ｃｏｕｌｄ
ｒｅａｃｈ．Ａｌｓｏ，ａｆｔｅｒ ｅｖａｐｏｒａｔｉｏｎ ｏｆ ｔｈｅ ａｌｕｍｉｎｕｍ
ｆｉｌｍ，ｔｈｅ ｌｕｍｉｎａｎｃｅ ｉｎｃｒｅａｓｅｓ．Ｗｈｅｎ ａｔ ｖｏｌｔａｇｅ ｏｆ
７ ｋＶ ａｎｄ ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｙ ｏｆ ４０２￣Ａ／ｃｍｚ，ｔｈｅ ｌｕｍｉ－
ｎａｎｃｅ ｒｅａｃｈｅｓ ５０３４ ｃｄ／ｍ ．
Ｆｉｇｕｒｅ ６ ｓｈｏｗｓ ｐｌｏｔ ｏｆ ｔｈｅ ｌｕｍｉｎａｎｃｅ ｖｓ．ｃｕｒｒｅｎｔ
ｄｅｎｓｉｔｙ ｍｅａｓｕｒｅｄ ｆｒｏｍ ｔｈｅ ｃｏｍｍｅｒｃｉａｌ ｐｈｏｓｐｈｏｒ １Ｓ：
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第１期 段春艳，陈 军等：Ｂａ３Ｇａ（ＰＯ ）３：Ｄｙ。＋荧光粉阴极射线发光研究 １８７
Ｃｕ，Ａｕ，Ａｌ ａｎｄ ＹＡＧＧ：Ｔｂ ａｔ ｄｉｆｆｅｒｅｎｔ ｂｅａｍ ｖｏｌｔａｇｅｓ．
Ｔｈｅ ｓａｍｐｌｓ ｗｅｒｅ ｅｐｒｅｐａｒｅｄ ｕｓｉｎｇ ｔｈｅ ｉｄｅｎｔｉｃａｌ ｍｅｔｈｏｄ
ｎｄ ｃｏｎｄａｉｔｉｏｎｓ，Ｃｏｍｐａｒｉｇ Ｆｉｎｇｕｒｅ ５（ｂ）ａｎｄ Ｆｉｇｕｒｅ ６，
ｗｅ ｃａｎ ｓｅｅ ｔｈａｔ ｗｈｅｎ ｔｈｅ ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｉｓ ｒｅｅａｃｈ
量．口口 ｑ∞口一量ｊ Ｉ．置．８ 口 量ｊ
ｍｏｒｅ ｄｅｅｐ－ｃｏｌｏｒｅｄ ｔｈａｎ ｔｈｅ ｓｕｒｒｏｕｎｄｉｎｇ ａｒｅａｓ．Ｓｏ
ｉｔ ｉｓ ｅａｓｙ ｔｏ ｉｄｅｎｔｉｆｙ ａｎｄ ａｎａｌｙｚｅ ｔｈｅ ｂｏｍｂａｒｄｅｄ ａｔ－
ｅａｓ ｏｆ ｔｈｅ ｓａｍｐｌｅｓ ａｆｔｅｒ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ．
ＰＬ ｓｐｅｃｔｒａ ａｎｄ ＣＬ ｓｐｅｃｔｒａ ｗｅｒｅ ｍｅａｓｕｒｅｄ ｆｏｒ
１ ２０ ｕ ｜ｃｎ－ｉ２，ｔｈｅ ｂｒｉｇｈｔｎｅｓｓ ｏｆ ｔｈｅ ｃｏｍｍｅｒｃｉａｌ ｐｈｏｓ—
ｐｈｏｒ ＧＧ：乃ｃｅａｓｅｓ ｔｏ ｎｃｒｅａｓｅ． 鼢ｅｎ ｔｈｅ ｃｕｒｒｅｎｔ
Ｂａ３ Ｇｄ（ＰＯ４）３：０．０６Ｄｙａ＋ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ ｂｅｆｏｒｅ ａｎｄ ａｆ—
ｔｅｒ ｈｉｇｈ—ｃｕｒｒｅｎｔ－ｄｅｎｓｉｔｙ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ．ＰＬ ｓｐｅｃｔｒａ
ｏｆ ｔｈｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ ｗｅｒｅ ｍｅａｓｕｒｅｄ ｗｉｔｈ ３８０ ｎｍ ｅｘｃｉ—
ｔａｔｉｏｎ．ＰＬ ｓｐｅｃｔｒａ ｏｆ Ｂａ３ Ｇｄ（ＰＯ４）３：０．０３Ｄｙａ＋ａｎｄ
Ｂａ３Ｇｄ（ＰＯ４）３：０．０６Ｄｙ什ｗｅｒｅ ｓｉｍｉｌａｒ．Ａｆｔｅｒ ｈｉｇｈ—
ｄｅｎｓｉｔｉｅｓ ｒｅａｃｈ ９０以／ＣＩＴＩ２，ｔｈｅ ｂｒｉｇｈｔｎｅｓｓ ｏｆ ｔｈｅ ｃｏｍ－
ｍｅｒｃｉａｌ ｐｈｏｓｐｈｏｒ ＺｎＳ：Ｃｕ，Ａｕ， ｒｅａｃｈｅｓ ｉｔｓ ｍａｘｉ—
ｍｕｍ．Ｂｕｔ ｆｏｒ ＢａａＧｄ（ＰＯ４）３：Ｄｄ＋ｐｈｏｓｐｈｏｒ，ｗｉｔｈｉｎ
ｔｈｅ ｃｕｒｒｅｎｔ ｒａｎｇｅ ｏｆ ｏｕｒ ｔｅｓｔｉｎｇ ｆａｃｉｌｉｔｙ，ｎｏ ｓａｔｕｒａｔｉｏｎ
ｉｓ ｏｂｓｅｒｖｅｄ．Ｔｈｅｒｅｆｏｒｅ，ａｃｃｏｒｉｄｎｇ ｔｏ ｔｈｅ ａｂｏｖｅ ｃｏｍ－
ｐａｒｉｓｏｎ，ｉｔ ｃａｎ ｂｅ ｓｅｅｎ ｔｈａｔ ｔｈｅ Ｂａ３Ｇｄ（ＰＯ４）３：Ｄｙ３十
ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｈａｓ ｈｉ．ｇｈｅｒ ｓａｔｕｒａｔｉｏｎ ｃｕｒｒｅｎｔ ａｎｄ ｃａｎ ｅｎｄｕｒｅ
ｈｉｇｈ－ｃｕｒｒｅｎｔ－ｄｅｎｓｉｔｙ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ．
＂－Ｗ－－２ ｋ
一
５ ｋＶ ． ，一＼， 。．
一 、ｋＶ
多
量口口 ｕ写＝一置ｊ
．
０ ２Ｏ ４Ｏ ６Ｏ ８Ｏ １ＯＯ １２Ｏ １４Ｏ １６Ｏ
Ｊ／ｕＡ・ｃｍ－２
（ａ）
Ｊ， Ａ・ｃｍ＂
（ｂ）
Ｆｉｇ．６ Ｐｌｏｔ ｏｆ ｌｕｍｉｎａｎｃｅ ｖｓ．ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｙ ｏｆ
（ａ）ＹＡＧＧ：Ｔｂ ａｎｄ（ｂ）ＺｎＳ：Ｃｕ，Ａｕ，Ａ１ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ
ｔｅｓｔｉｎｇ ａｔ ｖａｒｉｏｕｓ ｅｘｃｉｔａｔｉｏｎ ｖｏｌｔａｇｅｓ
Ｔｏ ｆｉｎｄ ｏｕｔ ｔｈｅ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｓｔａｔｅ ｏｆ ｔｈｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒ
ｓｕｒｆａｃｅ ａｆｔｅｒ ｈｉｇｈ－ｃｕｒｒｅｎｔ－ｄｅｎｓｉｔｙ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ，
ＢａａＧｄ（ＰＯ４）３：０．０６Ｄｄ＋ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ ｗｉｔｈｏｕｔ ａｌｕｍｉｎｕｍ
ｌａｙｅｒ ｗｅｒｅ ｏｂｍｂａｒｄｅｄ ａｔ １３４“Ａ／Ｃ１ＴＩ２，７ ｋＶ ｆｏｒ ３ ｈ．
Ｔｈｅ ｌｕｍｉｎａｎｃｅ ｏｆ ｔｈｅ ＢａａＧｄ（ＰＯ４）３：Ｄｙ３＋ｐｈｏｓｐｈｏｒ
ｉｗｔｈｏｕｔ ａｌｕｍｉｎｕｍ ｌａｙｅｒ ｄｅｃｒｅａｓｅｄ ａｆｔｅｒ ｔｈｅ ｌｏｎｇ ｔｉｍｅ
ｈｉｇｈ－ｃｕｒｒｅｎｔ－ｄｅｎｓｉｔｙ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ．Ｆｉｇｕｒｅ ７ ｓｈｏｗｓ
ｔｈｅ ｐｌｏｔ ｏｆ ｌｕｍｉｎａｎｃｅ ｖｓ．ａｎｏｄｅ ｖｏｌｔａｇｅ ａｔ ｅｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎ～
ｓｉｔｙ ｏｆ ６３ ｐＡ／ｃｍ２ ｂｅｆｏｒｅ ａｎｄ ａｆｔｅｒ ｅｌｃｅｔｒｏｎ ｂｏｍｂａｒｄ－
ｍｅｎｔ．Ｃｏｍｐａｒｉｇｎ ｔｈｅ ｌｕｍｉｎａｎｃｅ ｂｅｆｏｒｅ ａｎｄ ａｆｔｅｒ ｏｂｍ－
ｂａｒｄｍｅｎｔ，ｉｔ ｃａｎ ｂｅ ｓｅｅｎ ｔｈａｔ ａｆｔｅｒ ３ ｈ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ，
ａｔ ｔｈｅ ｓａｍｅ ａｎｏｄｅ ｖｏｌｔａｇｅ，ｔｈｅ ｌｕｍｉａｎｎｃｅ ｄｅｃｒｅａｓｅｄ
ｏｂｖｉｏｕｓｌｙ．
Ｔｈｅ ａｒｅａｓ ｏｆ ｔｈｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ ｂｅｉｎｇ ｅｘｐｏｓｅｄ ｔｏ
ｈｉｇｈ—ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｉｅｓ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ ｂｅｃａｍｅ ｖｉｓｉｂｌｙ
ｃｕｒｒｅｎｔ—ｄｅｎｓｉｔｖ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ，ｄｅｃｒｅａｓｅｓ ｉｎ ｔｈｅ ＰＬ
ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ ｏｆ Ｂａ３ Ｇｄ（ＰＯ４）３：Ｄｙ３＋ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｗｅｒｅ ｏｂ—
ｓｅｒｖｅｄ．
．．－
ｅ－－Ｂｅｆｏｒｅ ３ ｈｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ
Ｖａ／ｋＶ
Ｆｉｇ．７ ＣＬ ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆ Ｂａ３Ｇｄ（Ｐ０４）３：０．０６Ｄｙ３ ｐｈｏｓｐｈｏｒ
ｂｅｆｏｒｅ ａｎｄ ａｆｔｅｒ ｌｏｎｇ ｔｉｍｅ ｈｉｇｈ ｃｕｒｒｅｎｔ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ
ＣＬ ｓｐｅｃｔｒａ ｂｅｆｏｒｅ ａｎｄ ａｆｔｅｒ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ
ｗｅｒｅ ｍｅａｓｕｒｅｄ ａｔ ａｂｏｕｔ ８２０ ｃｄ／ｍ ．Ｃｏｍｐａｒｉｎｇ ＣＬ
ｓｐｅｃｔｒａ ｂｅｆｏｒｅ ａｎｄ ａｆｔｅｒ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ，ｔｈｅ ｗａｖｅ—
ｌｅｎｇｔｈ ｐｅａｋ ｄｏｅｓ ｎｏｔ ｃｈａｎｇｅ ａｎｄ ｔｈｅ ＣＩＥ ｃｏｏｒｄｉ—
ｎａｔｅｓ ｏｆ Ｂａ３ Ｇｄ（ＰＯ４）３：０．０６Ｄｙ计ａｆｔｅｒ ｈｉｇｈ－ｃｕｒ—
ｒｅｎｔ—ｄｅｎｓｉｔｙ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ ｗｅｒｅ 一０．４５８ ａｎｄ ｖ＝＝：
０．４２１，ｗｈｉｃｈ ｈａｓ ａ ｃｈａｎｇｅ ｏｆ Ａｘ一０．００４ ａｎｄ ＡＹ
＝＝＝一０．００３，ｒｅｓｐｅｃｔｉｖｅｌｙ．Ｔｈｅ ｄｅｖｉａｔｉｏｎｓ ｗｅｒｅ ｗｉｔｈ—
ｉｎ ｔｈｅ ｖａｌｕｅｓ ｏｆ ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔａｌ ｅｒｒｏｒ．Ｓｏ ｉｔ ｃａｎ ｂｅ
ｓｅｅｎ ｔｈａｔ ｔｈｅ Ｂａ３Ｇｄ（ＰＯ４）３：０．０６ Ｄｙ。＋ｐｈｏｓｐｈｏｒ
ｗａｓ ｓｔａｂｌｅ ｉｎ ｔｈｅ ＣＩＥ ｃｏｏｒｄｉｎａｔｅｓ ａｆｔｅｒ ３ ｈ ｈｉｇｈ—
ｃｕｒｒｅｎｔ－ｄｅｎｓｉｔｖ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ．
ＸＰＳ ａｎｄ ＥＤＳ ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｓ ｗｅｒｅ ｃａｒｒｉｅｄ ｏｕｔ
ｏｎ ｔｈｅ ｓａｍｐｌｅｓ ｏｆ Ｂａ３Ｇｄ（ＰＯ４）３：Ｄｙ。＋ｂｏｔｈ ｂｅｆｏｒｅ
ａｎｄ ａｆｔｅｒ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ．ＥＤＳ ｒｅｓｕｌｔｓ ｓｈｏｗ
ｔｈａｔ ａｆｔｅｒ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｉｒｒａｄｉａｔｉｏｎ．Ｃ ｃｏｎｔｅｎｔｓ ｉｎｃｒｅａｓｅｄ
ｏｎ ｔｈｅ ｂｏｍｂａｒｄｅｄ ａｒｅａ，ｗｈｉｌｅ ｔｈｅ ｃｏｎｔｅｎｔｓ ｏｆ Ｏ，
Ｂａ，Ｇｄ，Ｐ ｅｌｅｍｅｎｔ ｄｅｃｒｅａｓｅｄ．
ＸＰＳ ｓｐｅｃｔｒａ ｏｆ Ｃ ｂｅｆｏｒｅ ａｎｄ ａｆｔｅｒ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｂｏｒｎ－
ｂａｒｄｍｅｎｔ ｒａｅ ｓｈｏｗｎ ｉｎ Ｆｉｇｕｒｅ ８．Ｔｈｅ Ｃ ｌｓ ｐｅａｋ ｂｅｆｏｒｅ
ｏｂｍｂａｒｄｍｅｎｔ ｉｓ ａｔ ２８４．５９ ｅＶ．Ｂｅｃａｕｓｅ ｏｎｌｙ ｉｎｏｒｇａｎｉｃ
ｉｎｇｒｅｄｉｅｎｔｓ ａｒｅ ａｄｄｅｄ ｗｈｅｎ ｓｅｄｉｍｅｎｔｉｇｎ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ ｏｎ
ＩＴＯ ｇｌａｓｓ，Ｃ ｓｉｇｎａｌ ｏｒｉｇｉａｎｔｅｓ ｆｒｏｍ ｃｏｎｔａｍｉａｎｎｔｓ ｗｈｅｎ
ｔｈｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ ｗｅｒｅ ｅｘｐｏｓｅｄ ｉｎ ａｉｒ ｂｅｆｏｒｅ ｂｏｍｂａｒｄ－
ｍｅｎｔ，Ｂ舀ｇｒａｐｈｉｔｅ，ｈｙｄｒｏｃａｒｂｏｎ．Ａｆｔｅｒ ｂｏｍｂａｒｄ—
ｍｅｎｔ ｔｈｅ ｐｅａｋ ｏｆ Ｃ ｉｓ ａｔ ２８４．５９ ｅＶ ａｎｄ ｉｔｓ ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ ｉｎ—
ｃｒｅａｓｅｄ．Ｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓ ａｃｃｒｅｔｉｏｎ ｏｆ ｇｒａｐｈｉｔｉｃ ｃａｒｏｂｎ ｄｕｒ—
ｉｇｎ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｂｅａｍ ｅｘｐｏｓｕｒｅ ａｔ ｈｉｇｈ－ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｉｅｓ ｉｓ
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１８８ 电 子 器件 第３１卷
ａｎ ｅｆｆｅｃｔ ｗｅｌｌ ｋｎｏｗｎ ｔｏ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｉｓｔｓＩｎ３．Ｐｒｅｓｕｍａｂｌｙ
ｔｈｉｓ ｇｒａｐｈｉｔｉｃ ｐｈａｓｅ ｉｓ ｐｒｏｄｕｏｅｄ ｂｙ ｅ－ｂｅａｍ－ｉｎｄｕｃｅｄ
ｃｒａｃｋｉｎｇ ｏｆ ｈｙｄｒｏｃａｒｂｏｎｓ ａｄｓｏｒｂｅｄ ｆｒｏｍ ｔｈｅ ｖａｃｕｕｍ
ａｍｂｉｅｎｔ．Ｔｈｉｓ ｃａｒｂｏｎ ｃｏｎｔａｍｉｎａｔｉｏｎ ｏｐｔｉｃａｌｌｙ ａｔｔｅｎｕ—
ａｔｅｓ ｅｍｉｔｔｅｄ ｃａｔｈｏｄｏｌｕｍｉｎ￣ｅｎｃｅ，ｐｒｅｖｅｎｔｓ ｍａｎｙ ｌｏｗ
ｅｎｅｒｇｙ ｅｌｃｔｒｅｏｎｓ ｆｒｏｍ ｅｖｅｒ ｒｅａｃｈｉｎｇ ｔｈｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒ
一 日｝＾！ｌｓ＿里ｕｌ
ｃｈｒｏｍａｔｉｃｉｔｙ ｃｏｏｒｄｉｎａｔｅｓ ｗｅｒｅ ｘ＝０．４５４ ａｎｄ ｙ＝０．
４２４，ａｎｄ ｔｈｅ ｃｏｌｏｒ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ｗａｓ ２８８９．３ Ｋ．Ｔｈｅ
ｒｅｓｕｌｔｓ ｓｈｏｗ ｔｈａｔ Ｂａ３ Ｇｄ（ＰＯ４）３： ＋ｐｈｏｓｐｈｏｒ
ｗａｓ ａ ｌｏｗ ｃｏｌｏｒ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ，ｗａｒｍ－ｗｈｉｔｅ ｐｈｏｓ－
ｐｈｏｒ．Ｉｔ ｈａｓ ｈｉｇｈ ｓａｔｕｒａｔｉｏｎ ｃｕｒｒｅｎｔ ａｎｄ ｃａｎ ｅｎｄｕｒｅ
ｈｉｇｈ—ｃｕｒｒｅｎｔ－ｄｅｎｓｉｔｖ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ．Ｔｈｅ ｓｔａｂｉｌｉｔｙ
ｇｒａｉｎｓ，ａｎｄ ｅｘａｃｅｒｂａｔｅｓ ｓｕｒｆａｃｅ ｃｈａｒｇｉｇ ｎｗｈｉｃｈ ｒｅｄｕｃｅｓ
ｔｈｅ ａｒｒｉｖａｌ ｅｎｅｒｇｙ ｏｆ ｅｌｅｃｔｒｏｎｓ［ ．Ｔｈｅｒｅｆｏｒｅ，ｉｔ ｃｏｕｌｄ
ｏｆ ｔｈｅ Ｂａ３ Ｇｄ（Ｐ０４）３：Ｄｙ３＋ｐｈｏｓｐｈｏｒ ａｔ ｈｉｇｈ－ｃｕｒ—
ｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｙ ｍａｋｅｓ ｉｔ ａ ｐｏｔｅｎｔｉａｌ ｃａｎｄｉｄａｔｅ ｆｏｒ ａｐ—
ｃａｕｓｅ ｔｈｅ ｄｅｃｌｉｎｅ ｉｎ ＣＬ ａｎｄ ＰＬ ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ．
ＸＰＳ ｓｐｅｃｔｒａ ｏｆ Ｏ，Ｂａ，Ｇｄ，Ｐ ｅｌｅｍｅｎｔ ｂｅｆｏｒｅ
ａｎｄ ａｆｔｅｒ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ ｈａｖｅ ｎｏ ｖｉｓｉｂｌｅ
ｃｈａｎｇｅｓ．Ｔｈｅｒｅｆｏｒｅ ｔｈｅ ｏｂｓｅｒｖｅｄ ｄｅｃｒｅａｓｉｎｇ ｒｅｌａ—
ｔｉｖｅ ｃｏｎｔｅｎｔｓ ｏｆ Ｂａ，Ｇｄ，Ｐ ｅｌｅｍｅｎｔ ｏｎ ｔｈｅ ｓｕｒｆａｃｅ
ｏｆ ｔｈｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｍａｙ ｂｅ ｄｕｅ ｔｏ ｔｈｅ ｉｎｃｒｅａｓｅｄ ｃｏｎ—
ｔｅｎｔ ｒａｔｉｏ ｏｆ Ｃ ｅｌｅｍｅｎｔ．
Ｂｉｎｄｉｎｇｅｎｅｒｇｙ／ｅＶ
Ｆ蟮８ ＸＰＳ ｓｐｅｃｔｒａｏｆＣｄ￣ａｅｎｔ ｂｅｆｏｒｅａＩ】ｄ ａｆｔｅｒ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ
Ａｃｃｏｒｄｉｎｇ ｔｏ ＸＰＳ ａｎａｌｙｓｉｓ。ｗｅ ｃａｎ ｃｏｎｃｌｕｄｅ
ｔｈａｔ ａｆｔｅｒ ｈｉｇｈ ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｙ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ，ｂｅ—
ｓｉｄｅｓ ｔｈｅ ｃａｒｂｏｎ ｌａｙｅｒ，ｎｏ ｅｖｉｄｅｎｃｅ ｓｈｏｗｓ ｔｈａｔ
Ｂａ３ Ｇｄ（ＶＯ４）３：Ｄｙ３＋ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｉｔｓｅｌｆ ｕｎｄｅｒｇｏｅｓ
ｃｈｅｍｉｃａｌ ｒｅａｃｔｉｏｎ．
Ｔｏ ｃｏｎｆｉｒｍ ｔｈａｔ ｔｈｅ ｃａｒｂｏｎ ｌａｙｅｒ ｃａｎｓｅｄ ｔｈｅ
ｄｅｃｒｅａｓｅ ｏｆ ｔｈｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ，ｔｈｅ ｓａｍｐｌｅ
ａｆｔｅｒ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ ｗａｓ ｂａｋｅｄ ａｔ ４５０℃ｉｎ ａｉｒ ｆｏｒ ３０
ｍｉｎｕｔｅｓ，ｔｈｅ ｃａｒｂｏｎ ｌａｙｅｒ ｏｎ ｔｈｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｓｕｒｆａｃｅ
ｗａｓ ｒｅｍｏｖｅｄ．ａｎｄ ｔｈｅ ｓａｍｐｌｅ ｒｅｓｔｏｒｅｄ ｔｈｅ ｉｎｉｔｉａｌ
ｃｏｌｏｒ．Ｔｈｅ ＣＬ ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ ｏｆ ｔｈｅ ｓａｍｐｌｅ ｗａｓ ｍｅａｓ—
ｕｒｅｄ ａｔ ｔｈｅ ｖａｃｕｕｍ ｃｈａｍｂｅｒ ａｇａｉｎ．Ｔｈｅ ｒｅｓｕｌｔ ｉｓ
ｓｈｏｗｎ ｉｎ Ｆｉｇｕｒｅ ７．Ｉｔ ｃａｎ ｂｅ ｓｅｅｎ ｔｈａｔ ｔｈｅ ＣＬ ｉｎ－
ｔｅｎｓｉｔｙ ｉｎｃｒｅａｓｅｄ ｔｏ ｔｈｅ ｉｎｉｔｉａｌ ｖａｌｕｅ．Ｔｈｉｓ ｆｕｒｔｈｅｒ
ｐｒｏｖｅｓ ｔｈａｔ ｔｈｅ ｃａｒｂｏｎ ｌａｙｅｒ ｃａｕｓｅｄ ｔｈｅ ｄｅｃｒｅａｓｅ ｏｆ
ｔｈｅ ＣＬ ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ．
Ｔｈｅ ｅｍｉｓｓｉｏｎ ｐｅａｋ ｏｆ Ｂａ３Ｇｄ（ＰＯ４）３：Ｄｙ３＋ｐｈｏｓ—
ｐｈｏｒ ｗａｓ ｌｏｃａｔｅｄ ａｔ ５８４ ｎ／ｎ，４９２ ｎ／ｎ ａｎｄ ６７６ ｎ／ｎ，（２ｏｒ－
ｒｅｓｐｏｎｄｉｇｎ ｔｏ ｔｈｅ‘Ｆ９／２— Ｈｉ／２（ｉ一１３，１５，１１）ｔｒａｎｓｉ—
ｔｉｏｎ ｏｆ Ｄｆ＋．Ｆｏｒ Ｂａ３Ｇｄ（ＰＯ４）３：０．０６ｏｆ＋，ｔｈｅ ＣＩＥ
ｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ ｉｎ ｃａｔｈｏｄｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ ｌｉｇｈｔ ｓｏｕｒｃｅｓ．
Ａｃｋｎｏｗｌｅｄｇｍｅｎｔｓ
Ｔｈｅ ａｕｔｈｏｒｓ ｇｒａｔｅｆｕｌｌｙ ａｃｋｎｏｗｌｅｄｇｅ ｔｈｅ ｆｉｎａｎ—
ｃｉａｌ ｓｕｐｐｏｒｔ ｏｆ ｔｈｉｓ ｐｒｏｊｅｃｔ ｂｙ ｔｈｅ Ｎａｔｉｏｎａｌ Ｎａｔｕｒａｌ
Ｓｃｉｅｎｃｅ ＦＯｕｎｄａｔｉｏｎ ｏｆ Ｃｈｉｎａ （Ｇｒａｎｔ Ｎｏ．
５００２１２０２，５０３２９２０１，ａｎｄ ６０５７１０３５），ｔｈｅ Ｓｃｉｅｎｃｅ
ａｎｄ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｍｉｎｉｓｔｒｙ ｏｆ Ｃｈｉｎａ（Ｇｒａｎｔ Ｎｏ．
２００３ＣＢ３１４７０１），ｔｈｅ Ｅｄｕｃａｔｉｏｎ Ｍｉｎｉｓｔｒｙ ｏｆ Ｃｈｉｎａ，
ｔｈｅ Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｄｅｐａｒｔｍｅｎｔ ｏｆ Ｇｕａｎｇ—
ｄｏｎｇ Ｐｒｏｖｉｎｃｅ，ｔｈｅ Ｅｄｕｃａｔｉｏｎ Ｄｅｐａｒｔｍｅｎｔ ｏｆ
Ｇｕａｎｇｄｏｎｇ Ｐｒｏｖｉｎｃｅ，ａｎｄ ｔｈｅ Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ Ｔｅｃｈ－
ｎｏｌｏｇｙ Ｄｅｐａｒｔｍｅｎｔ ｏｆ Ｇｕａｎｇｚｈｏｕ Ｃｉｔｙ．
［１ ３ Ｕｅｍｕｒａ Ｓ，Ｙｏｔａｎｉ Ｊ，Ｎａｇａｓａｋｏ Ｔ，Ｋｕｒａｃｈｉ Ｈ，Ｙａｍａｄａ Ｈ，
Ｅｚａｋｉ Ｔ，Ｍａｅｓｏｂａ Ｔ，Ｎａｋａｏ Ｔ，Ｓａｉｔｏ Ｙ ａｎｄ Ｙｕｍｕｒａ Ｍ，
Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ ｔｈｅ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｆｏｒ Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ［Ｊ］．２００３，１１
（１）：１４５－１５３．
［２３ Ｂｏｎａｒｄ Ｊ Ｍ，Ｓｔｏｃｋｌｉ Ｔ，Ｎｏｕｒｙ Ｏ ａｎｄ Ｃｈａｔｅｌａｉｎ Ａ，Ａｐｐ１．
Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．，口］．２００１，７８：２７７５．
［３］Ｃｈｅｎ Ｊ，Ｚｈｏｕ Ｘ，Ｄｅｎｇ Ｓ ｚ ａｎｄ Ｘｕ Ｎ Ｓ，Ｕｌｔｒａｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ［Ｊ］．
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ｏ１．ＢＥＪ＇］．２００３，２１（４）：７２７．
［５３ Ｃｈｕｂｕｎ Ｎ Ｎ，Ｃｈａｋｈｏｖｓｋｏｉ Ａ Ｇ，Ｈｕｎｔ Ｃ Ｅ．Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ Ｄｉｇｅｓｔ
ｏｆ ｔｈｅ １７ｔｈ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｖａｃｕｕｍ Ｎａｎｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｃｏｒｄｅｒｅｎｃｅ
［Ｃ３／／２００４：３６－３７．
［６］Ｂｅｎｓｏｎ Ｋ Ｂ（Ｅｄ），Ｔｅｌｅｖｉｓｉｏｎ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ Ｈａｎｄｂｏｏｋ［Ｍ］，
ＭｃＧｒａｗ－Ｈｉｌｌ，Ｎｅｗ Ｙｏｒｋ，１９８６：２３０．
［７］ＬｅｅＲＹ，ＺｈａｎｇＦＬ，Ｐｅｎｃｚｅｋ Ｊ，Ｗａｇｎｅｒ ＢＫ，ＹｏｃｏｍＰＮ，
Ｓｕｍｍｅｒｓ Ｃ Ｊ。Ｊ．Ｖａｃ．Ｓｃｉ．Ｔｅｃｈｎｏ１．ＢＥＪ＇］，１９９８，１６：８５５．
［８３ Ｌｅｓｋｅｌａ Ｍ，Ａｌｌｏｙ Ｊ．ＣｏｍｐｄＥＪ＇］．１９９８，２７５—２７７：７０２—７０８．
［９３ Ｌｉａｎｇ Ｈ Ｂ，Ｚｅｎｇ Ｑ，ｓｕ Ｑ，Ｌｉｎ Ｈ Ｈ，Ｔｉａｎ ｚ Ｆ，Ｚｈａｎｇ Ｇ Ｂ，
Ｆｕ Ｙ Ｂ。Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ Ｌｅｔｔｅｒｓ［Ｊ３，ｉｎ ｐｒｅｓｓ．
［１０３ Ｉｔｏｈ Ｓ．Ｔｏｋｉ Ｈ，Ｋａｔａｏｋａ Ｆ，Ｓａｔｏ Ｙ ａｎｄ Ｔａｍｕｒａ Ｋ，Ｉｎｆ．Ｄｉｓｐ．
Ｓｕｐｐｌ［Ｊ］．２０００，１：１８７．
［１１３ Ｈｒｅｎ Ｊ Ｊ，ｉｎ Ｐｒｉｎｃｉｐｌｅｓ ｏｆ Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ［Ｍ］，Ｅｄｉｔｅｄ
ｂｙ Ｊｏｙ Ｄ Ｃ。Ｒｏｍｉｇ Ａ Ｌ ａｎｄ Ｇｏｌｄｓｔｅｉｎ Ｊ Ｉ（Ｐｌｅｎｕｍ，Ｎｅｗ
Ｙｏｒｋ），１９８６：３５３．
［１２］Ｓｅａｇｅｒ Ｃ Ｈ，Ｔａｌｌａｎｔ Ｄ Ｒ ａｎｄ Ｗａｒｒｅｎ Ｗ Ｉ ，Ｊ．Ａｐｐ１．Ｐｈｙｓ．
口］，１９９７，８２（９）：４５１５—４５１９．
2024年8月14日发(作者：威元绿)
维普资讯
第３１卷第１期
２００８年２．月
电子器件
Ｃｈｉｎｅｓｅ Ｊｏｕｍａｌ Ｏｆ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｄｅｖｉｃｅｓ
Ｖｏ１．３１ Ｎｏ．１
Ｆｅｂ．２００８
Ｃａｔｈｏｄｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ Ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆ Ｂａ３ Ｇａ（ＰＯ４）３：Ｄｙ３＋Ｐｈｏｓｐｈｏｒ
ＤＵＡＮ Ｃ ，ＣＨＥＮ Ｊｕｎ 一，ＤＥＮＧ Ｓ Ｚ ，ＸＵＮ Ｓ ，ＨＡＮ Ｂｉｎｇ ，ＬＩＡＮＧ Ｈ Ｂ ，ＳＵ＠ａｎｇ
ｆ Ｌ ｓ缸 Ｋ 上，口６Ｄｍ细 。，ｏ 。 加 ＾缸 ｒ 如口 丁 加 。ｇ ，口 Ｇ眦 ｇ 。 ｇ Ｐ加 Ｋ 上，口６Ｄｍ细 。，Ｄ 户 ］
｝Ｍａｔｅｒｉａｌ ａｎｄ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｓｕｎ Ｙａｔ－ｓｅｎ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｇｕａｎｇｚｈｏｕ ５１０２７５，Ｐ．Ｒ．Ｃｈｉｎａ；
ｌ ２．Ｓｃｈｏｏｌ ｏｆ Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ ａｎｄ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｓｕｎ Ｙａｔ－ｓｅｎ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｇｕａｎｇｚｈｏｕ ５１０２７５，Ｐ．Ｒ．Ｃｈｉｎａ
Ｉ
Ｉ
Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｃａｔｈｏｄｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆ Ｂａ３ Ｇｄ（ＰＯ４）３：Ｄｙ３＋ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｗｅｒｅ ｓｔｕｄｉｅｄ．Ｔｈｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｗａｓ
ｓｙｎｔｈｅｓｉｚｅｄ ｂｙ ｈｉｇｈ－ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ｓｏｌｉｄ－ｐｈａｓｅ ｒｅａｃｔｉｏｎ．Ｃａｔｈｏｄｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ ｓｐｅｃｔｒａ，ｔｈｅ Ｃｏｍｍｉｓｓｉｏｎ Ｉｎ－
ｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ ｄｅ １’Ｅｃｌａｉｒａｇｅ ｃｏｌｏｕｒ ｃｏｏｒｄｉｎａｔｅｓ ａｎｄ ｐｈｏｔｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ ｓｐｅｃｔｒａ ｗｅｒｅ ｄｅｔｅｒｍｉｎｅｄ．Ｔｈｅ Ｃａｔｈｏ－
ｄｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ ｓｈｏｗｓ ｔｈａｔ ｔｈｅ Ｃｏｍｍｉｓｓｉｏｎ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ ｄｅ ｌ’Ｅｃｌａｉｒａｇｅ（ＣＩＥ）ｃｈｒｏｍａｔｉｃｉｔｙ
ｃｏｏｒｄｉｎａｔｅｓ ｏｆ Ｂａ３Ｇｄ（ＰＯ４）３：０．０６Ｄｙ计ｐｈｏｓｐｈｏｒ ａｒｅ ｘ＝０．４５４ ａｎｄ ｙ＝Ｏ．４２４，ａｎｄ ｔｈｅ ｃｏｌｏｒ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ｉｓ
２８８９．３ Ｋ．Ｔｈｅ ｒｅｓｕｌｔｓ ｓｈｏｗ ｔｈａｔ ｔｈｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｉｓ ａ １ｏｗ ｃｏｌｏｒ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ，ｗａｒｍ－ｗｈｉｔｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｗｉｔｈ ｈｉｇｈ
ｓａｔｕｒａｔｉｏｎ ｃｕｒｒｅｎｔｓ ａｎｄ ｃａｎ ｅｎｄｕｒｅ ｈｉｇｈ－ｃｕｒｒｅｎｔ－ｄｅｎｓｉｔｙ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ．
Ｋｅｙ ｗｏｒｄｓ：ｃａｔｈｏｄｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ；ｐｈｏｓｐｈｏｒ；Ｂａ３Ｇｄ（ＰＯ４）３：Ｄｙ３十
Ｅ］ Ｃ：４２６０
Ｂａ３ Ｇａ（ＰＯ４ ３：Ｄｙ３＋ 荧光粉阴极射线发光研究＊
段春艳 ，陈 军 ，邓少芝 ，许宁生 ，韩 冰 ，梁宏斌 ，苏 锵
（＼．２ 萋中山大学化学与化学工程学院， 广州 ５蝮１０２７ ５梢 戢糯点她 ），
摘 要：本文研究了采用高温固相法合成的Ｂａ３Ｇｄ（ＰＯ４）。：Ｄｙ３ 荧光粉的阴极射线发光特性。测试并比较了电子轰击前后
荧光粉的ＣＬ谱、色坐标以及ＰＬ谱变化。Ｂａ３Ｇｄ（ＰＯ４）。：０．Ｏ６Ｄｙ３ 荧光粉的色坐标为ｘ＝０．４５４，ｙ一０．４２４，Ｔ ＝２８８９．３ Ｋ。
测试结果显示该荧光粉是一种低色温、暖白光荧光粉，并且具有高的饱和电流，有耐大电流密度电子束轰击的能力。
关键词：阴极射线发光；荧光粉；Ｂａ３Ｇｄ（ＰＯ４）。：Ｄｙ３
中图分类号：ＴＮ８７３．３ 文献标识码：Ａ 文章编号：１００５－９４９０（２００８）０１－０１８４－０５
Ｉｎ ｒｅｃｅｎｔ ｙｅａｒｓ，ｓｉｇｎｉｆｉｃａｎｔ ｐｒｏｇｒｅｓｓｅｓ ｈａｖｅ ｂｅｅｎ
ｍａｄｅ ｉｎ ｔｈｅ ａｒｅａ ｏｆ ｃａｔｈｏｄｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ ｌｉｇｈｔ ｓｏｕｒｃｅｓ
ｅｍｐｌｏｙｉｎｇ ｆｉｅｌｄ ｅｍｉｓｓｉｏｎ ｃａｔｈｏｄｅ．ｗｈｉｃｈ ｈａｖｅ ｔｈｅ ａｄ—
ｖａｎｔａｇｅｓ ｏｆ ｈｉｇｈ ｂｒｉｇｈｔｎｅｓｓ。１ｏｗ－ｐｏｗｅｒ ｃｏｎｓｕｍｐｔｉｏｎ
ａｎｄ ａｒｅ ｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔａｌｌｙ ｆｒｉｅｎｄｌｙ［１－４３．Ｂｕｔ ａｓ ｔｏ ｔｈｅ
ｒａｙ ｔｕｂｅｓ（ａＲ，］ ）ｏｒ ｐｒｏｊｅｃｔｉｏｎ ｔｕｂｅｓ（ＰＲ，］ ）．Ｃａｔｈ—
ｄｏｌｏｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｆｏｒ ａｐｐｌｉａｔｃｉｏｎ ｉｎ ｆｉｅｌｄ ｅｍｉｓ—
ｓｉｏｎ １ｉｇｈｔ ｓｏｕｒｃｅ ｒｅｑｕｉｒｅｓ ｈｉｇｈ ｅｆｆｉａｃｙ ｃａｔ １ｏｗｅｒ ｅｘｃｉａ－ ｔ
ｔｉｏｎ ｖｏｌａｇｅｓ（５～１０ ｋＶ）ｔｔｈａｎ ＣＲ＿ＴＳ ａｎｄ ＰＲＴＳ，ｔｈｅｒ－
ｌ＇ｎａ１ ｓｔａｂｉｌｉｔｙ ｕｎｄｅｒ ｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓ ｈｉｇｈｅｒ ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｉｅｓ
ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ，ｍｏｓｔ ｏｆ ｔｈｅ ｒｅｐｏｒｔｅｄ ｆｉｄｄ ｅｍｉｓｓｉｏｎ ｌｉｇｈｔ
ｏｕｒｃｅｓ ｕｔｉｓｌｉｚｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ ｏｐｔｉｉｚｅｍｄ ｆｏｒ ｃｏｌｏｒ ｃａｔｈｏｄｅ－
（１００～２００“Ａ／ｃｍ２），ａｎｄ ｈａｖｉｎｇ ｃｏｌｏｒ ｃｏｏｒｄｉｎａｔｅｓ
（ｗｈｉｔｅ １ｉｇｈｔ）ｏｆ ｔｒａｄｉｔｉｏｎａｌ １ｉｇｈｔ ｓｏｕｒｃｅｓ，Ｕｓｕａｌｌｙ，ｒｅ－
收稿日期：２００７－０４－３０
基金项目：Ｓｅｅ Ａｃｋｎｏｗｌｅｄｇｍｅｎｔｓ
作者简介：段春艳（１９７６一），女，博士研究生，研究方向为场发射显示器用荧光粉；
陈军（１９６７一），男，教授，主要研究方向为纳米光电材料及器件；
邓少芝（１９６３一），女，教授，主要研究方向为纳米光电材料及器件；
许宁生（１９５７－），男，教授，主要研究方向为纳米光电材料及器件；
韩
苏
冰（１９８３一），男，硕士研究生，研究方向为稀土发光材料的光谱性质；
锵（１９３１一），男，中国科学院院士，教授，研究方向为稀土化学与物理．
梁宏斌（１９６５一），男，副教授，研究方向为稀土化学与物理；
维普资讯
第１期 段春艳，陈 军等：Ｂａ。Ｇａ（ＰＯ４）。：Ｄｙ。＋荧光粉阴极射线发光研究 １８５
ｓｅａｒｃｈｅｒｓ ｒｅｌｙ ｏｎ ｍｉｘｉｎｇ ｔｈｒｅｅ ｐｒｉｍａｒｙ ｃｏｌｏｒ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ
ｔｏ ａｃｈｉｅｖｅ ｔｈｅ ｗａｒｍ－ｗｈｉｔｅ ｏｒ ｃｏｌｄ－ｗｈｉｔｅ ｌｉｇｈｔ ｐｈｏｓ—
ｐｈｏｒｓ ｆｏｒ ｃａｔｈｏｄｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ ｖａｃｕｕｍ ｌｉｇｈｔ ｓｏｕｒｃｅｓｌ＿５Ｊ．
Ｉｎ ｔｈｅ ｍｉｘｅｄ ｗｈｉｔｅ ｌｉｇｈｔ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ，ｔｈｅ ｇｒｅｅｎ
ｆｉｌｍ，ｏｒｇａｎｉｃ ｌａｃｑｕｅｒ ｗｈｉｃｈ ｈａｓ ｔｈｅ ｆｕｎｃｔｉｏｎ ｏｆ ｃｒｅａｔｉｎｇ
ａ ｉｇｈ ｒｈｅｆｌｅｃｔｉｖｅ ａｌｕｍｉｎｕｍ－ｍｉｒｒｏｒ ｗａ ｓｐｒａｙｅｄ ｏｎｔｏ ｔｈｅ
ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｌａｙｅｒ．Ｔｈｅｎ ｔｈｅ ａｌｕｍｉｎｕｍ ｌａｙｅｒ ｗａｓ ｅｖａｐｏ—
ｒａｔｅｄ ｏｎｔｏ ｔｈｉｓ ｌａｃｑｕｅｒｅｄ ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｌａｙｅｒ． ｔｅｒ ｅｖａｐｏ—
ｏｒ ｂｌｕｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ，ｅｓｐｅｃｉａｌｌｙ ｂｌｕｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ，ｏｆ—
ｔｅｎ ａｒｅ ｓｕｌｆｉｄｅ－ｂａｓｅｄ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ．Ｉｔ ｉｓ ｗｅｌｌ ｋｎｏｗｎ
ｔｈａｔ ｓｕｌｆｉｄｅ—－ｂａｓｅｄ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ ｈａｖｅ ｔｈｅ ｈｉｇｈｅｓｔ ｌｕ—－
ｒａｔｉｏｎ ｏｆ ｔｈｅ ａｌｕｍｉｎｕｍ ｆｉｌｍ，ｔｈｅ ｓａｍｐｌｅｓ ｗｅｒｅ ｂａｋｅｄ
ａｔ ３９０℃ｆｏｒ ｔｅｎ ｍｉｎｕｔｅｓ ｉｎ ａｉｒ ａｎｄ ｔｈｅ ｌａｃｑｕｅｒ ｗａｓ ｒｅ—
ｍｏｖｅｄ．Ｔｈｅ ＣＩ ｓｐｅｃｔｒｕｍ。ｔｈｅ Ｃｏｍｍｉｓｓｉｏｎ Ｉｎｔｅｍａ—
ｔｉｏｎａｌ ｄｅ ｌ’Ｅｃｌａｉｒａｇｅ（ＣＩＥ）ｃｏｌｏｕｒ ｃｏｏｒｄｉｎａｔｅｓ ａｎｄ ＣＬ
ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ ｗｅｒｅ ｍｅａｓｕｒｅｄ ｉｎ ａｎ ｕｌｔｒａｈｉｇｈ ｖａｃｕｕｍ ｃｈａｍ—
ｍｉｎｏｕｓ ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｉｅｓ ａｎｄ ｅｘｃｅｌｌｅｎｔ ｃｈｒｏｍａｔｉｃｉｔｙ ｉｎ ａｌｌ
ｔｈｅ ｃｕｒｒｅｎｔｌｙ ａｖａｉｌａｂｌｅ ｉｎｄｕｓｔｒｉａｌ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ［ ．Ｂｕｔ
ｓｕｌｆｉｄｅ—ｂａｓｅｄ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ ｆａｃｅ ｔｈｅ ｐｒｏｂｌｅｍｓ ｏｆ
ｃａｔｈｏ－ｄｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ ｄｅｇｒａｄａｔｉｏｎ ａｎｄ ｄｅｃｏｍｐｏｓｉ—
ｔｉｏｎ，ａｎｄ ｇｅｎｅｒａｔｅ ｈａｒｍｆｕｌ ｇａｓｅｓ ｃａｕｓｉｎｇ ｔｈｅ ｐｏｉ—
ｓｏｎｉｎｇ ｏｆ ｔｈｅ ｃｏｌｄ ｃａｔｈｏｄｅ．Ｍｏｒｅｏｖｅｒ，ｃａｔｈｏｄｏｌｕｍｉ—
ｎｅｓｃｅｎｔ ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ ｏｆ ｔｈｅｓｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ ｔｅｎｄｓ ｔｏ ｓａｔｕｒａｔｅ
ａｔ ｈｉｇｈ－ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｉｅｓ．Ａ１ｌ ｔｈｅｓｅ ｃａｎ ｃａｕｓｅ ｃｈｒｏｍａ—
ｔｉｃｉｔｙ ｐｒｏｂｌｅｍ ｉｎ ｍｉｘｅｄ ｗｈｉｔｅ ｌｉｇｈｔ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ．Ｔｈｅｒｅ—
ｆｏｒｅ，ｔｈｅ ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ ｏｆ ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｍａｔｅｒｉａｌｓ ｉｓ ｏｎｅ ｏｆ
ｔｈｅ ｋｅｙ ｉｓｓｕｅｓ ｆｏｒ ｃａｔｈｏｄｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ ｌｉｇｈｔ ｓｏｕｒｃｅｓ．
Ｄｕｅ ｔｏ ｔｈｅ ｐｒｏｂｌｅｍｓ ｉｎ ｓｕｌｆｉｄｅ－ｂａｓｅｄ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ，ｒａｒｅ
ｅａｒｔｈ ｄｏｐｅｄ ｏｘｉｄｅ－ｂａｓｅｄ ｍａｔｅｒｉａｌｓ ｈａｖｅ ｂｅｅｎ ｓｔｕｄｉｅｄ
ａｎｄ ｒｅｇａＭｅｄ ａｓ ｐｏｓｓｉｂｌｅ ａｌｔｅｒｎａｔｉｖｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ ｄｕｅ ｔｏ
ｔｈｅｉｒ ｓｕｐｅｒｉｏｒ ｃｈｅｍｉｃａｌ ａｎｄ ｔｈｅｒｍａｌ ｓｔａｂｉｌｉｔｙ ｕｎｄｅｒ ｅ—
ｌｅｃｔｒｏｎ ｂｅａｍ ｅｘｃｉｔａｔｉｏｎ［ 一引．Ｉｎ ｔｈｉｓ ｓｔｕｄｙ，ｅａｔｈｏｄｏｌｕ—
ｉｍｎｅｓｃｅｎｔ ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆ Ｂａ３Ｇｄ（Ｐ０４）３：Ｄｆ＋ｗｈｉｔｅ
ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｗｈｉｃｈ ｗａｓ ｓｙｎｔｈｅｓｉｚｅｄ ｂｙ ｈｉｇｈ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ
ｓｏｌｉｄ ｐｈａｓｅ ｒｅａｃｔｉｏｎ ｈａｖｅ ｂｅｅｎ ｓｔｕｄｉｅｄ．
１ Ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌ
Ｔｈｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｗａｓ ｓｙｎｔｈｅｓｉｚｅｄ ｂｙ ｈｉｇｈ—－ｔｅｍ—
ｐｅｒａｔｕｒｅ ｓｏｌｉｄ—ｓｔａｔｅ ｒｅａｃｔｉｏｎ ｍｅｔｈｏｄ．Ｔｈｅ ｒｅａｃｔａｎｔｓ
ｗｅｒｅ ＢａＣ（）３（Ａ．Ｒ．），ＮＨ４ Ｈ２ＰＯ４（Ａ．Ｒ．），Ｇｄ２０３
（９９．９ ），ａｎｄ Ｄｙ２０３（９９．９ ）．Ｔｈｅ ｓｔｏｉｃｈｉｏｍｅｔ—
ｒｉｃ ｒｅａｃｔａｎｔｓ ｗｅｒｅ ｆｉｒｓｔ ｐｒｅ－ｆｉｒｅｄ ａｔ ６００℃，ａｎｄ ｔｈｅｎ
ｈｅａｔｅｄ ａｔ １２５０℃ｉｎ ａｉｒ．Ｂｙ ｖａｒｙｉｎｇ ｔｈｅ ｃｏｎｃｅｎｔｒａ—
ｔｉｏｎ ｏｆ Ｄｙ２ ０３，ｄｉｆｆｅｒｅｎｔ Ｄｙ ｄｏｐｅｄ Ｂａ３ Ｇｄ（Ｐ０４）３
ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｃａｎ ｂｅ ｐｒｅｐａｒｅｄ．Ｉｎ ｔｈｉｓ ｓｔｕｄｙ，Ｂａ３ Ｇｄ
（Ｐ０４）３：０．Ｏ６ＤＦ＋ａｎｄ Ｂａ３Ｇｄ（ＰＯ４）３：０．０３Ｄｙ。＋ａｒｅ
ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚｅｄ．
Ｔｈｅ ｐｈａｓｅｓ ｏｆ Ｂａ３ Ｇｄ（Ｐ０４）３：Ｄｙ３＋ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｗｅｒｅ
ｉｄｅｎｔｉｆｉｅｄ ｂｙ ｐｏｗｄｅｒ Ｘ－ｒａｙ ｄｉｆｒａｃｔｉｏｎ （Ⅺ 。
ＲＩＧＡＫＵ Ｄ／ｍａｘ ２２００）ｕｓｉｎｇ Ｃｕ Ｋａ（ 一１．５４１７８
Ａ）ｒａｄｉａｔｉｏｎ，ａｎｄ ｔｈｅ ｐｏｗｄｅｒ ｍｏｒｐｈｏｌｏｇｉｅｓ ｗｅｒｅ ｓｔｕｄ－
ｉｅｄ ｂｙ ｓｃａｎｎｉｎｇ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ（ＳＥＭ。ＪＳＭ－
６３３０Ｆ）．Ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｌａｙｅｒｓ ｗｅｒｅ ｄｅｐｏｓｉｔｅｄ ｏｎｔｏ ｉｎｄｉｕｍ
ｔｉｎ ｏｘｉｄｅ（ＩＴＯ）ｇｌａｓｓ ｕｓｉｎｇ ａ ｓｅｄｉｍｅｎｔ ｍｅｔｈｏｄ ａｔ ６
ｅｒ＿ｇ￣ｃｒｎ２ ｗｉｔｈ ａ ｓｏｌｕｔｉｏｎ ｏｆ ｐｏｔａｓｓｉｕｍ ｓｉｌｉｃａｔｅ ａｎｄ ｎｉ—
ｔｒａｔｅ ｏｆ ｂａｒｙｔａ ｔｅｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ。ｔｈｅ ｓａｍｐｌｅｓ ｗｅｒｅ
ｂａｋｅｄ ａｔ １５０℃ｆｏｒ ３０ ｍｉｎｕｔｅｓ．Ｆｏｒ ｓｏｍｅ ｓａｍｐｌｅｓ。
１００ ｎｌＴｌ ａｌｕｍｉｎｕｍ ｔｈｉｎ ｆｉｌｍ ｗａｓ ｅｖａｐｏｒａｔｅｄ ｏｎｔｏ ｔｈｅ
ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｌａｙｅｒ．Ｂｅｆｏｒｅ ｅｖａｐｏｒａｔｉｏｎ ｏｆ ｔｈｅ ａｌｕｍｉｎｕｍ
ｂｅｒ ｔｈａｔ ｈａｓ ａ ｂａｓｅ ｐｒｅｓｓｕｒｅ ｏｆ～５×１０—０ Ｐａ Ｔｈｅ ｅｘ—
ｃｉｔａｔｉｏｎ ｖｏｌａｔｇｅ ｗａｓ ｖａｒｉｄｅ ｆｒｏｍ ０ ｔｏ １０ ｋＶ ａｎｄ ｔｈｅ
ａｎｏｄｅ ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｙ ｆｒｏｍ ０ ｔｏ ４００ ｕＡ／ｃｍ ．Ｔｈｅ
ＣＩ ｓｐｅｃｔｒｕｍ ａｎｄ ｔｈｅ ＣＩＥ ｃｏｌｏｒ ｃｏｏｒｄｉｎａｔｅｓ ｗｅｒｅ
ｍｅａｓｕｒｅｄ ａｔ ７ ｋＶ，３０“Ａ／ｃｍ ．Ｔｈｅ ＣＩ ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ
ｗａｓ ｍｅａｓｕｒｅｄ ｗｉｔｈ ａ Ｉ Ｓ１ １ ０ ｌｕｍｉｎａｎｃｅ ｍｅｔｅｒ ａｔ ｔｈｅ
ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ ｆａｃｉｎｇ ｔｈｅ ｉｎｃｉｄｅｎｔ ｅｌｅｃｔｒｏｎ．Ｔｈｅ ＣＬ
ｓｐｅｃｔｒｕｍ ａｎｄ ｔｈｅ ＣＩＥ ｃｏｌｏｕｒ ｃｏｏｒｄｉｎａｔｅｓ ｗｅｒｅ
ｍｅａｓｕｒｅｄ ｗｉｔｈ ａｎ ＯＰＴ－２０００ ｏｐｔｉｃａｌ ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ。
ｗｈｉｃｈ ｈａｓ ａｎ ａｃｃｕｒａｃｙ ｏｆ±０．００５．Ａｎ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｇｕｎ
ｗｉｔｈ ｃａｒｂｏｎ ｎａｎｏｔｕｂｅ（ＣＮＴ）ｃｏｌｄ ｃａｔｈｏｄｅ ｗａｓ
ｅｍｐｌｏｙｅｄ ｉｎ ｔｈｅ ＣＬ ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ．Ｐｈｏｔｏｌｕｍｉｎｅｓ—
ｃｅｎｃｅ（ＰＬ）ｓｐｅｃｔｒａ ｗｅｒｅ ｍｅａｓｕｒｅｄ ｕｓｉｎｇ ａ ＨＩＴＡ—
ＣＨＩ Ｆ－４５００ ｆｌｕｏｒｅｓｃｅｎｃｅ ｓｐｅｃｔｒｏｐｈｏｔｏｍｅｔｅｒ ｗｉｔｈ ａ
１５０ Ｗ Ｘｅ ｌａｍｐ．Ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ ｂｏｔｈ ｂｅｆｏｒｅ ａｎｄ ａｆｔｅｒ
ｈｉｇｈ—ｃｕｒｒｅｎｔ—ｄｅｎｓｉｔｙ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ ｗｅｒｅ ｔｅｓｔｅｄ．
Ａｌｓｏ，Ｘ－ｒａｙ ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎ ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ（ＸＰＳ）
ｓｐｅｃｔｒａ ｏｆ ｔｈｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｗｅｒｅ ｒｅｃｏｒｄｅｄ ｂｅｆｏｒｅ ａｎｄ
ａｆｔｅｒ ｈｉｇｈ－ｃｕｒｒｅｎｔ－ｄｅｎｓｉｔｙ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ ｕｓｉｎｇ ａｎ
ＥＳＣＡＩ ＡＢ ２５０ ＸＰＳ ｓｙｓｔｅｍ．Ｔｈｅ Ｘ－ｒａｙ ｇｕｎ ｆｏｒ
ｔｈｅ ＸＰＳ ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｓ ｈａｄ ａｎ Ａｌ（Ｋａ）ｔａｒｇｅｔ ｗｉｔｈ
ｐｈｏｔｏｎ ｅｎｅｒｇｙ １４８６．６ ｅＶ．
２ Ｒｅｓｕｌ ｔｓ ａｎｄ Ｄｉｓｃｕｓｓｉｏｎ
Ｔｈｅ ｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙ ｏｆ ｔｈｅ Ｂａ３ Ｇｄ（ＰＯ４）３：Ｄｙ。＋
ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ ａｒｅ ｓｈｏｗｎ ｉｎ Ｆｉｇｕｒｅ １，Ｔｈｅ ａｖｅｒａｇｅ
ｇｒａｉｎ ｓｉｚｅ ｉｓ ５～１０ ｕｍ．Ｆｉｇｕｒｅ ２ ｓｈｏｗｓ ＸＲＤ ｓｐｅｃ—
ｔｒａ ｏｆ ｔｈｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ．Ａｎａｌｙｓｉｓ ｏｆ ｔｈｅ ＸＲＤ ｄａｔａ
ｓｈｏｗｓ Ｂａ３ Ｇｄ（ＰＯ４）３ ｈａｓ ａ ｂｏｄｙ—ｃｅｎｔｅｒｅｄ ｃｕｂｉｃ
ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ ｗｉｔｈ ｔｈｅ ｃｅｌｌ ｐａｒａｍｅｔｅｒ ａ—１．０４７ ｎｍ
（ＪＣＰＤＳ ２９－０１６３）．
Ｆｉｇｕｒｅ ３ ｓｈｏｗｓ ＣＩ ｓｐｅｃｔｒａ ｏｆ Ｂａ３Ｇｄ（ＰＯ４）３：
Ｂｙ＇＋ｐｈｏｓｐｈｏｒ．Ｆｉｇｕｒｅ ４ ｇｉｖｅｓ ｔｈｅ ＣＩＥ ｃｏｏｒｄｉｎａｔｅｓ
ｏｆ Ｂａ３Ｇｄ（Ｐ０４）３：Ｄｙａ＋ｉｎ ｔｈｅ ＣＩＥ １９３１ ｄｉａｇｒａｍ．
Ｔｈｅ ＣＩ ｓｐｅｃｔｒａ ｏｆ Ｂａ３ Ｇｄ（ＰＯ４）３：Ｄｙ３＋ｐｈｏｓｐｈｏｒ
ｃｏｎｓｉｓｔ ｏｆ ｔｈｒｅｅ ｐｅａｋｓ．Ｔｈｅ ｍａｘｉｍｕｍ ｅｍｉｓｓｉｏｎ
ｐｅａｋ ｏｆ Ｂａ３Ｇｄ（ＰＯ４）３：０．０６Ｄｙ计ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｗａｓ ｌｏ—
ｃａｔｅｄ ａｔ ５８４ ｎｍ（ｔｈｅ ｙｅｌｌｏｗ ｂａｎｄ），ｃｏｒｒｅｓｐｏｎｄｉｎｇ
ｔｏ ｔｈｅ Ｆ９／２ Ｈｌ３／２ ｔｒａｎｓｉｔｉｏｎ ｏｆ Ｄｙ。＋；ｔｈｅ ｅｍｉｓ—
ｓｉｏｎ ｐｅａｋ ｏｆ ４９２ ｎｍ（ｔｈｅ ｂｌｕｅ ｂａｎｄ）ｃｏｒｒｅｓｐｏｎｄｓ
ｔｏ ｔｈｅ Ｆｇ／２ 。Ｈｌ５／２ ｔｒａｎｓｉｔｉｏｎ ｏｆ Ｄｙ３＋；ｔｈｅ
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１８６ 电 子器件
≈＿
第３１卷
Ｂ善＿ｄ
，≈＿，抽！ｓ＿§ｕ１
Ｆｉｇ．１ Ｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙ ｏｆ Ｂａ￣Ｇｄ（ＰＯ４）３：Ｄ ｐｈｏｓｐｈｏｒ
Ｆｉｇ．２ Ｘ－ｒａｙ ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ ｐａｔｔｅｒｎ ｏｆ Ｂ￣Ｇｄ（ＰＯ４）３：Ｄ
Ｗａｖａｅｎ￣ｈ／ｎｉｌｌ
Ｆｉｇ．３ ＣＬ ｓｐｅｃｔｒａ ｏｆ Ｂａ３ Ｇｄ（Ｐｏ４）３：Ｄ ｐｈｏｓｐｈｏｒ
ｅｍｉｓｓｉｏｎ ｐｅａｋ ｏｆ ６７６ ｎｍ（ｔｈｅ ｒｅｄ ｂａｎｄ）ｃｏｒｒｅ—
ｓｐｏｎｄｓ ｔｏ ｔｈｅ Ｆ９／２ Ｈ１ １／２ ｔｒａｎｓｉｔｉｏｎ ｏｆ Ｄｙｅ＋［ ．
Ｔｈｅ ＣＩＥ ｃｈｒｏｍａｔｉｃｉｔｙ ｃｏｏｒｄｉｎａｔｅｓ ｗｅｒｅ ｘ一０．４５４
ａｎｄ ｙ一０．４２４（Ｆｉｇｕｒｅ ４（ａ）），ａｎｄ ｔｈｅ ｃｏｌｏｒ ｔｅｍ－
ｐｅｒａｔｕｒｅ ｗａｓ ２８８９．３ Ｋ．Ｔｈｅ ｓｔｒｏｎｇｅｓｔ ｅｍｉｓｓｉｏｎ
ｐｅａｋ ｏｆ Ｂａ３ Ｇｄ（ＰＯ４）３：０．０３Ｄｙ￣＋ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｗａｓ ｌｏ—
ｃａｔｅｄ ａｔ ５８３ ｎｍ。ｔｈｅ ＣＩＥ ｃｈｒｏｍａｔｉｃｉｔｙ ｃｏｏｒｄｉｎａｔｅｓ
ｗｅｒｅ ｘ＝０．４６５ ａｎｄ ｙ一０．４２７（Ｆｉｇｕｒｅ ４（ｂ）），
ａｎｄ ｔｈｅ ｃｏｌｏｒ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ｗａｓ ２７５７．２ Ｋ．Ｉｔ ｃａｎ ｂｅ
ｓｅｅｎ ｔｈａｔ ｔｈｅ ＣＩＥ ｃｏｏｒｄｉｎａｔｅｓ ｈａｖｅ ｓｏｍｅ ｓｈｉｆｔｓ
ｗｈｅｎ ｔｈｅ ｃｏｎｃｅｎｔｒａｔｉｏｎ ｏｆ ｔｈｅ ａｃｔｉｖａｔｏｒ ｉｎ ｔｈｅ
ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｉｓ ｄｉｆｆｅｒｅｎｔ．Ｆｒｏｍ ａｂｏｖｅ ｒｅｓｕｌｔｓ，ｏｎｅ ｃａｎ
ｓｅｅ ｔｈａｔ Ｂａ３ Ｇｄ（ＰＯ４）３：Ｄｙ３＋ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｉｓ ａ ｌｏｗ ｃｏｌ—
ｏｒ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ，ｗａｒｍ－ｗｈｉｔｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒ．
ＣＬ ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆ Ｂａ３Ｇｄ（ＰＯ４）３：０．０６Ｄｙ３＋
ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｗｅｒｅ ｍｅａｓｕｒｅｄ ａｆｔｅｒ ｗｏｒｋｉｎｇ ａｔ ２ ｋＶ。３Ｏ
ｕＡ／ｃｍ ｆｏｒ １５ ｍｉｎｕｔｅｓ．Ｆｉｇｕｒｅ ５（ａ）ｓｈｏｗｓ ｔｈｅ ｌｕ—
ｍｉｎａｎｃｅ ｖａｒｉａｔｉｏｎ ｗｉｔｈ ａｎｏｄｅ ｖｏｌｔａｇｅ ｗｈｅｎ ｔｈｅ ｃｕｒ—
ｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｉｅｓ ｗｅｒｅ ａｔ ６３ ｕＡ／ｃｍ ．Ｔｈｅ ｌｕｍｉｎａｎｃｅ
ｉｎｃｒｅａｓｅｄ ａｓ ａ ｆｕｎｃｔｉｏｎ ｏｆ ｔｈｅ ａｎｏｄｅ ｖｏｌｔａｇｅ．Ｔｈｅ
ｌｕｍｉｎａｎｃｅ ｒｅａｃｈｅｓ ｏｖｅｒ １９９６ ｃｄ／ｍ ａｔ １０ ｋＶ，６３
“Ａ／ｃｍ ｆｏｒ ｔｈｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｓｃｒｅｅｎ ｗｉｔｈ ａ １００ ｎｍ ａ－
您１９ 『１ｃｈ ｗｎＢ咄 Ｄ Ⅻｎ
、
， Ｇ １ ，５ｏ
＼＝
５８０
Ｉ ａ ＼ ０
Ｏ
６３０
－＇ ） 驯
／
／ ／
．
／
／
Ｆｉｇ．４ Ｔｈｅ ＣＩＥ ｃｏｏｒｄｉｎａｔｅｓ ｏｆ Ｂａ３ Ｇｄ（ＰＯ４）３：Ｄ ．
（ａ）Ｉ￣Ｇｄ（ＦＯ４）３：０．０６Ｄｙ￣ ；（ｂ）ｔ￣Ｇｄ（ＦＯ４）３：０．０３Ｄｙ￣＋
ｌｕｍｉｎｕｍ ｆｉｌｍ，ｗｈｉｃｈ ｉｓ ５．２ ｔｉｍｅｓ ｈｉｇｈｅｒ ｔｈａｎ ｔｈａｔ
ｏｆ ｔｈｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｗｉｔｈｏｕｔ ａｎ ａｌｕｍｉｎｕｍ ｆｉｌｍ．Ｔｈｅ
ｌｕｍｉｎａｎｃｅ ｆｏｒ ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｗｉｔｈｏｕｔ Ａｌ ｌａｙｅｒ ｉｓ ｌｏｗ
ｐｒｏｂａｂｌｙ ｄｕｅ ｔｏ ｔｈｅ ｈｉｇｈ ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ ｏｆ ｐｈｏｓｐｈｏｒ
ｍａｔｅｒｉａｌｓ ｂｅｓｉｄｅｓ ｔｈｅ ｍｉｒｒｏｒ ｅｆｆｅｃｔ ｏｆ Ａｌ ｆｉｌｍ［１０３．
．
目．８ §
—．－
ｗｉ
口＿
ｔｈ１
Ｅｊ
００ ｎｍ
ＡＩ ／
．—
／
．
０ ２ ４ ６ ８ １０
Ｖ
（ａ）Ｌｕｍｉｎａｎｃｅ ｖｓ．ａｎｏｄｅ ｖｏｌｔａｇｅ
Ｊ，ｕ Ａ・ｃｍ－２
（ｂ）Ｌｕｍｉｎａｎｃｅ ｖｓ．ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｙ
Ｆｉｇ．５ ＣＬ ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆ Ｂａ３Ｇｄ（ＰＯ４）３：Ｄ ｐｈｏｓｐｈｏｒ
Ｔｈｅ ｌｕｍｉｎａｎｃｅ ａｓ ｆｕｎｃｔｉｏｎ ｏｆ ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｙ
ａｔ ｄｉｆｆｅｒｅｎｔ ａｎｏｄｅ ｖｏｌｔａｇｅｓ ｗａｓ ｔｅｓｔｅｄ ａｎｄ ｔｈｅ ｒｅ—
ｓｕｈｓ ａｒｅ ｓｈｏｗｎ ｉｎ Ｆｉｇｕｒｅ ５（ｂ）．Ｔｈｅ ｅｘｃｉｔａｔｉｏｎ
ｖｏｌｔａｇｅ ｗａｓ ｖａｒｉｅｄ ｆｒｏｍ ２ ｔｏ ７ ｋＶ．Ａｔ ａ ｆｉｘｅｄ ｖｏｌｔ—
ａｇｅ，ｗｉｔｈ ｉｎｃｒｅａｓｉｎｇ ｏｆ ｔｈｅ ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｙ，ｔｈｅ ｌｕ—
ｍｉｎａｎｃｅ ｉｎｃｒｅａｓｅｓ ｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓｌｙ ｕｎｔｉｌ ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉ－
ｔｙ ｒｅａｃｈｅｓ ａｂｏｕｔ ５００￣Ａ／ｃｍ 。ｗｈｉｃｈ ｉｓ ｔｈｅ ｍａｘｉ－
ｍｕｍ ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｙ ｏｕｒ ｔｅｓｔｉｎｇ ｆａｃｉｌｉｔｙ ｃｏｕｌｄ
ｒｅａｃｈ．Ａｌｓｏ，ａｆｔｅｒ ｅｖａｐｏｒａｔｉｏｎ ｏｆ ｔｈｅ ａｌｕｍｉｎｕｍ
ｆｉｌｍ，ｔｈｅ ｌｕｍｉｎａｎｃｅ ｉｎｃｒｅａｓｅｓ．Ｗｈｅｎ ａｔ ｖｏｌｔａｇｅ ｏｆ
７ ｋＶ ａｎｄ ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｙ ｏｆ ４０２￣Ａ／ｃｍｚ，ｔｈｅ ｌｕｍｉ－
ｎａｎｃｅ ｒｅａｃｈｅｓ ５０３４ ｃｄ／ｍ ．
Ｆｉｇｕｒｅ ６ ｓｈｏｗｓ ｐｌｏｔ ｏｆ ｔｈｅ ｌｕｍｉｎａｎｃｅ ｖｓ．ｃｕｒｒｅｎｔ
ｄｅｎｓｉｔｙ ｍｅａｓｕｒｅｄ ｆｒｏｍ ｔｈｅ ｃｏｍｍｅｒｃｉａｌ ｐｈｏｓｐｈｏｒ １Ｓ：
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第１期 段春艳，陈 军等：Ｂａ３Ｇａ（ＰＯ ）３：Ｄｙ。＋荧光粉阴极射线发光研究 １８７
Ｃｕ，Ａｕ，Ａｌ ａｎｄ ＹＡＧＧ：Ｔｂ ａｔ ｄｉｆｆｅｒｅｎｔ ｂｅａｍ ｖｏｌｔａｇｅｓ．
Ｔｈｅ ｓａｍｐｌｓ ｗｅｒｅ ｅｐｒｅｐａｒｅｄ ｕｓｉｎｇ ｔｈｅ ｉｄｅｎｔｉｃａｌ ｍｅｔｈｏｄ
ｎｄ ｃｏｎｄａｉｔｉｏｎｓ，Ｃｏｍｐａｒｉｇ Ｆｉｎｇｕｒｅ ５（ｂ）ａｎｄ Ｆｉｇｕｒｅ ６，
ｗｅ ｃａｎ ｓｅｅ ｔｈａｔ ｗｈｅｎ ｔｈｅ ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｉｓ ｒｅｅａｃｈ
量．口口 ｑ∞口一量ｊ Ｉ．置．８ 口 量ｊ
ｍｏｒｅ ｄｅｅｐ－ｃｏｌｏｒｅｄ ｔｈａｎ ｔｈｅ ｓｕｒｒｏｕｎｄｉｎｇ ａｒｅａｓ．Ｓｏ
ｉｔ ｉｓ ｅａｓｙ ｔｏ ｉｄｅｎｔｉｆｙ ａｎｄ ａｎａｌｙｚｅ ｔｈｅ ｂｏｍｂａｒｄｅｄ ａｔ－
ｅａｓ ｏｆ ｔｈｅ ｓａｍｐｌｅｓ ａｆｔｅｒ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ．
ＰＬ ｓｐｅｃｔｒａ ａｎｄ ＣＬ ｓｐｅｃｔｒａ ｗｅｒｅ ｍｅａｓｕｒｅｄ ｆｏｒ
１ ２０ ｕ ｜ｃｎ－ｉ２，ｔｈｅ ｂｒｉｇｈｔｎｅｓｓ ｏｆ ｔｈｅ ｃｏｍｍｅｒｃｉａｌ ｐｈｏｓ—
ｐｈｏｒ ＧＧ：乃ｃｅａｓｅｓ ｔｏ ｎｃｒｅａｓｅ． 鼢ｅｎ ｔｈｅ ｃｕｒｒｅｎｔ
Ｂａ３ Ｇｄ（ＰＯ４）３：０．０６Ｄｙａ＋ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ ｂｅｆｏｒｅ ａｎｄ ａｆ—
ｔｅｒ ｈｉｇｈ—ｃｕｒｒｅｎｔ－ｄｅｎｓｉｔｙ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ．ＰＬ ｓｐｅｃｔｒａ
ｏｆ ｔｈｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ ｗｅｒｅ ｍｅａｓｕｒｅｄ ｗｉｔｈ ３８０ ｎｍ ｅｘｃｉ—
ｔａｔｉｏｎ．ＰＬ ｓｐｅｃｔｒａ ｏｆ Ｂａ３ Ｇｄ（ＰＯ４）３：０．０３Ｄｙａ＋ａｎｄ
Ｂａ３Ｇｄ（ＰＯ４）３：０．０６Ｄｙ什ｗｅｒｅ ｓｉｍｉｌａｒ．Ａｆｔｅｒ ｈｉｇｈ—
ｄｅｎｓｉｔｉｅｓ ｒｅａｃｈ ９０以／ＣＩＴＩ２，ｔｈｅ ｂｒｉｇｈｔｎｅｓｓ ｏｆ ｔｈｅ ｃｏｍ－
ｍｅｒｃｉａｌ ｐｈｏｓｐｈｏｒ ＺｎＳ：Ｃｕ，Ａｕ， ｒｅａｃｈｅｓ ｉｔｓ ｍａｘｉ—
ｍｕｍ．Ｂｕｔ ｆｏｒ ＢａａＧｄ（ＰＯ４）３：Ｄｄ＋ｐｈｏｓｐｈｏｒ，ｗｉｔｈｉｎ
ｔｈｅ ｃｕｒｒｅｎｔ ｒａｎｇｅ ｏｆ ｏｕｒ ｔｅｓｔｉｎｇ ｆａｃｉｌｉｔｙ，ｎｏ ｓａｔｕｒａｔｉｏｎ
ｉｓ ｏｂｓｅｒｖｅｄ．Ｔｈｅｒｅｆｏｒｅ，ａｃｃｏｒｉｄｎｇ ｔｏ ｔｈｅ ａｂｏｖｅ ｃｏｍ－
ｐａｒｉｓｏｎ，ｉｔ ｃａｎ ｂｅ ｓｅｅｎ ｔｈａｔ ｔｈｅ Ｂａ３Ｇｄ（ＰＯ４）３：Ｄｙ３十
ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｈａｓ ｈｉ．ｇｈｅｒ ｓａｔｕｒａｔｉｏｎ ｃｕｒｒｅｎｔ ａｎｄ ｃａｎ ｅｎｄｕｒｅ
ｈｉｇｈ－ｃｕｒｒｅｎｔ－ｄｅｎｓｉｔｙ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ．
＂－Ｗ－－２ ｋ
一
５ ｋＶ ． ，一＼， 。．
一 、ｋＶ
多
量口口 ｕ写＝一置ｊ
．
０ ２Ｏ ４Ｏ ６Ｏ ８Ｏ １ＯＯ １２Ｏ １４Ｏ １６Ｏ
Ｊ／ｕＡ・ｃｍ－２
（ａ）
Ｊ， Ａ・ｃｍ＂
（ｂ）
Ｆｉｇ．６ Ｐｌｏｔ ｏｆ ｌｕｍｉｎａｎｃｅ ｖｓ．ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｙ ｏｆ
（ａ）ＹＡＧＧ：Ｔｂ ａｎｄ（ｂ）ＺｎＳ：Ｃｕ，Ａｕ，Ａ１ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ
ｔｅｓｔｉｎｇ ａｔ ｖａｒｉｏｕｓ ｅｘｃｉｔａｔｉｏｎ ｖｏｌｔａｇｅｓ
Ｔｏ ｆｉｎｄ ｏｕｔ ｔｈｅ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｓｔａｔｅ ｏｆ ｔｈｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒ
ｓｕｒｆａｃｅ ａｆｔｅｒ ｈｉｇｈ－ｃｕｒｒｅｎｔ－ｄｅｎｓｉｔｙ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ，
ＢａａＧｄ（ＰＯ４）３：０．０６Ｄｄ＋ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ ｗｉｔｈｏｕｔ ａｌｕｍｉｎｕｍ
ｌａｙｅｒ ｗｅｒｅ ｏｂｍｂａｒｄｅｄ ａｔ １３４“Ａ／Ｃ１ＴＩ２，７ ｋＶ ｆｏｒ ３ ｈ．
Ｔｈｅ ｌｕｍｉｎａｎｃｅ ｏｆ ｔｈｅ ＢａａＧｄ（ＰＯ４）３：Ｄｙ３＋ｐｈｏｓｐｈｏｒ
ｉｗｔｈｏｕｔ ａｌｕｍｉｎｕｍ ｌａｙｅｒ ｄｅｃｒｅａｓｅｄ ａｆｔｅｒ ｔｈｅ ｌｏｎｇ ｔｉｍｅ
ｈｉｇｈ－ｃｕｒｒｅｎｔ－ｄｅｎｓｉｔｙ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ．Ｆｉｇｕｒｅ ７ ｓｈｏｗｓ
ｔｈｅ ｐｌｏｔ ｏｆ ｌｕｍｉｎａｎｃｅ ｖｓ．ａｎｏｄｅ ｖｏｌｔａｇｅ ａｔ ｅｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎ～
ｓｉｔｙ ｏｆ ６３ ｐＡ／ｃｍ２ ｂｅｆｏｒｅ ａｎｄ ａｆｔｅｒ ｅｌｃｅｔｒｏｎ ｂｏｍｂａｒｄ－
ｍｅｎｔ．Ｃｏｍｐａｒｉｇｎ ｔｈｅ ｌｕｍｉｎａｎｃｅ ｂｅｆｏｒｅ ａｎｄ ａｆｔｅｒ ｏｂｍ－
ｂａｒｄｍｅｎｔ，ｉｔ ｃａｎ ｂｅ ｓｅｅｎ ｔｈａｔ ａｆｔｅｒ ３ ｈ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ，
ａｔ ｔｈｅ ｓａｍｅ ａｎｏｄｅ ｖｏｌｔａｇｅ，ｔｈｅ ｌｕｍｉａｎｎｃｅ ｄｅｃｒｅａｓｅｄ
ｏｂｖｉｏｕｓｌｙ．
Ｔｈｅ ａｒｅａｓ ｏｆ ｔｈｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ ｂｅｉｎｇ ｅｘｐｏｓｅｄ ｔｏ
ｈｉｇｈ—ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｉｅｓ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ ｂｅｃａｍｅ ｖｉｓｉｂｌｙ
ｃｕｒｒｅｎｔ—ｄｅｎｓｉｔｖ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ，ｄｅｃｒｅａｓｅｓ ｉｎ ｔｈｅ ＰＬ
ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ ｏｆ Ｂａ３ Ｇｄ（ＰＯ４）３：Ｄｙ３＋ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｗｅｒｅ ｏｂ—
ｓｅｒｖｅｄ．
．．－
ｅ－－Ｂｅｆｏｒｅ ３ ｈｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ
Ｖａ／ｋＶ
Ｆｉｇ．７ ＣＬ ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆ Ｂａ３Ｇｄ（Ｐ０４）３：０．０６Ｄｙ３ ｐｈｏｓｐｈｏｒ
ｂｅｆｏｒｅ ａｎｄ ａｆｔｅｒ ｌｏｎｇ ｔｉｍｅ ｈｉｇｈ ｃｕｒｒｅｎｔ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ
ＣＬ ｓｐｅｃｔｒａ ｂｅｆｏｒｅ ａｎｄ ａｆｔｅｒ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ
ｗｅｒｅ ｍｅａｓｕｒｅｄ ａｔ ａｂｏｕｔ ８２０ ｃｄ／ｍ ．Ｃｏｍｐａｒｉｎｇ ＣＬ
ｓｐｅｃｔｒａ ｂｅｆｏｒｅ ａｎｄ ａｆｔｅｒ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ，ｔｈｅ ｗａｖｅ—
ｌｅｎｇｔｈ ｐｅａｋ ｄｏｅｓ ｎｏｔ ｃｈａｎｇｅ ａｎｄ ｔｈｅ ＣＩＥ ｃｏｏｒｄｉ—
ｎａｔｅｓ ｏｆ Ｂａ３ Ｇｄ（ＰＯ４）３：０．０６Ｄｙ计ａｆｔｅｒ ｈｉｇｈ－ｃｕｒ—
ｒｅｎｔ—ｄｅｎｓｉｔｙ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ ｗｅｒｅ 一０．４５８ ａｎｄ ｖ＝＝：
０．４２１，ｗｈｉｃｈ ｈａｓ ａ ｃｈａｎｇｅ ｏｆ Ａｘ一０．００４ ａｎｄ ＡＹ
＝＝＝一０．００３，ｒｅｓｐｅｃｔｉｖｅｌｙ．Ｔｈｅ ｄｅｖｉａｔｉｏｎｓ ｗｅｒｅ ｗｉｔｈ—
ｉｎ ｔｈｅ ｖａｌｕｅｓ ｏｆ ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔａｌ ｅｒｒｏｒ．Ｓｏ ｉｔ ｃａｎ ｂｅ
ｓｅｅｎ ｔｈａｔ ｔｈｅ Ｂａ３Ｇｄ（ＰＯ４）３：０．０６ Ｄｙ。＋ｐｈｏｓｐｈｏｒ
ｗａｓ ｓｔａｂｌｅ ｉｎ ｔｈｅ ＣＩＥ ｃｏｏｒｄｉｎａｔｅｓ ａｆｔｅｒ ３ ｈ ｈｉｇｈ—
ｃｕｒｒｅｎｔ－ｄｅｎｓｉｔｖ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ．
ＸＰＳ ａｎｄ ＥＤＳ ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｓ ｗｅｒｅ ｃａｒｒｉｅｄ ｏｕｔ
ｏｎ ｔｈｅ ｓａｍｐｌｅｓ ｏｆ Ｂａ３Ｇｄ（ＰＯ４）３：Ｄｙ。＋ｂｏｔｈ ｂｅｆｏｒｅ
ａｎｄ ａｆｔｅｒ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ．ＥＤＳ ｒｅｓｕｌｔｓ ｓｈｏｗ
ｔｈａｔ ａｆｔｅｒ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｉｒｒａｄｉａｔｉｏｎ．Ｃ ｃｏｎｔｅｎｔｓ ｉｎｃｒｅａｓｅｄ
ｏｎ ｔｈｅ ｂｏｍｂａｒｄｅｄ ａｒｅａ，ｗｈｉｌｅ ｔｈｅ ｃｏｎｔｅｎｔｓ ｏｆ Ｏ，
Ｂａ，Ｇｄ，Ｐ ｅｌｅｍｅｎｔ ｄｅｃｒｅａｓｅｄ．
ＸＰＳ ｓｐｅｃｔｒａ ｏｆ Ｃ ｂｅｆｏｒｅ ａｎｄ ａｆｔｅｒ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｂｏｒｎ－
ｂａｒｄｍｅｎｔ ｒａｅ ｓｈｏｗｎ ｉｎ Ｆｉｇｕｒｅ ８．Ｔｈｅ Ｃ ｌｓ ｐｅａｋ ｂｅｆｏｒｅ
ｏｂｍｂａｒｄｍｅｎｔ ｉｓ ａｔ ２８４．５９ ｅＶ．Ｂｅｃａｕｓｅ ｏｎｌｙ ｉｎｏｒｇａｎｉｃ
ｉｎｇｒｅｄｉｅｎｔｓ ａｒｅ ａｄｄｅｄ ｗｈｅｎ ｓｅｄｉｍｅｎｔｉｇｎ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ ｏｎ
ＩＴＯ ｇｌａｓｓ，Ｃ ｓｉｇｎａｌ ｏｒｉｇｉａｎｔｅｓ ｆｒｏｍ ｃｏｎｔａｍｉａｎｎｔｓ ｗｈｅｎ
ｔｈｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ ｗｅｒｅ ｅｘｐｏｓｅｄ ｉｎ ａｉｒ ｂｅｆｏｒｅ ｂｏｍｂａｒｄ－
ｍｅｎｔ，Ｂ舀ｇｒａｐｈｉｔｅ，ｈｙｄｒｏｃａｒｂｏｎ．Ａｆｔｅｒ ｂｏｍｂａｒｄ—
ｍｅｎｔ ｔｈｅ ｐｅａｋ ｏｆ Ｃ ｉｓ ａｔ ２８４．５９ ｅＶ ａｎｄ ｉｔｓ ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ ｉｎ—
ｃｒｅａｓｅｄ．Ｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓ ａｃｃｒｅｔｉｏｎ ｏｆ ｇｒａｐｈｉｔｉｃ ｃａｒｏｂｎ ｄｕｒ—
ｉｇｎ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｂｅａｍ ｅｘｐｏｓｕｒｅ ａｔ ｈｉｇｈ－ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｉｅｓ ｉｓ
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１８８ 电 子 器件 第３１卷
ａｎ ｅｆｆｅｃｔ ｗｅｌｌ ｋｎｏｗｎ ｔｏ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｉｓｔｓＩｎ３．Ｐｒｅｓｕｍａｂｌｙ
ｔｈｉｓ ｇｒａｐｈｉｔｉｃ ｐｈａｓｅ ｉｓ ｐｒｏｄｕｏｅｄ ｂｙ ｅ－ｂｅａｍ－ｉｎｄｕｃｅｄ
ｃｒａｃｋｉｎｇ ｏｆ ｈｙｄｒｏｃａｒｂｏｎｓ ａｄｓｏｒｂｅｄ ｆｒｏｍ ｔｈｅ ｖａｃｕｕｍ
ａｍｂｉｅｎｔ．Ｔｈｉｓ ｃａｒｂｏｎ ｃｏｎｔａｍｉｎａｔｉｏｎ ｏｐｔｉｃａｌｌｙ ａｔｔｅｎｕ—
ａｔｅｓ ｅｍｉｔｔｅｄ ｃａｔｈｏｄｏｌｕｍｉｎ￣ｅｎｃｅ，ｐｒｅｖｅｎｔｓ ｍａｎｙ ｌｏｗ
ｅｎｅｒｇｙ ｅｌｃｔｒｅｏｎｓ ｆｒｏｍ ｅｖｅｒ ｒｅａｃｈｉｎｇ ｔｈｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒ
一 日｝＾！ｌｓ＿里ｕｌ
ｃｈｒｏｍａｔｉｃｉｔｙ ｃｏｏｒｄｉｎａｔｅｓ ｗｅｒｅ ｘ＝０．４５４ ａｎｄ ｙ＝０．
４２４，ａｎｄ ｔｈｅ ｃｏｌｏｒ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ｗａｓ ２８８９．３ Ｋ．Ｔｈｅ
ｒｅｓｕｌｔｓ ｓｈｏｗ ｔｈａｔ Ｂａ３ Ｇｄ（ＰＯ４）３： ＋ｐｈｏｓｐｈｏｒ
ｗａｓ ａ ｌｏｗ ｃｏｌｏｒ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ，ｗａｒｍ－ｗｈｉｔｅ ｐｈｏｓ－
ｐｈｏｒ．Ｉｔ ｈａｓ ｈｉｇｈ ｓａｔｕｒａｔｉｏｎ ｃｕｒｒｅｎｔ ａｎｄ ｃａｎ ｅｎｄｕｒｅ
ｈｉｇｈ—ｃｕｒｒｅｎｔ－ｄｅｎｓｉｔｖ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ．Ｔｈｅ ｓｔａｂｉｌｉｔｙ
ｇｒａｉｎｓ，ａｎｄ ｅｘａｃｅｒｂａｔｅｓ ｓｕｒｆａｃｅ ｃｈａｒｇｉｇ ｎｗｈｉｃｈ ｒｅｄｕｃｅｓ
ｔｈｅ ａｒｒｉｖａｌ ｅｎｅｒｇｙ ｏｆ ｅｌｅｃｔｒｏｎｓ［ ．Ｔｈｅｒｅｆｏｒｅ，ｉｔ ｃｏｕｌｄ
ｏｆ ｔｈｅ Ｂａ３ Ｇｄ（Ｐ０４）３：Ｄｙ３＋ｐｈｏｓｐｈｏｒ ａｔ ｈｉｇｈ－ｃｕｒ—
ｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｙ ｍａｋｅｓ ｉｔ ａ ｐｏｔｅｎｔｉａｌ ｃａｎｄｉｄａｔｅ ｆｏｒ ａｐ—
ｃａｕｓｅ ｔｈｅ ｄｅｃｌｉｎｅ ｉｎ ＣＬ ａｎｄ ＰＬ ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ．
ＸＰＳ ｓｐｅｃｔｒａ ｏｆ Ｏ，Ｂａ，Ｇｄ，Ｐ ｅｌｅｍｅｎｔ ｂｅｆｏｒｅ
ａｎｄ ａｆｔｅｒ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ ｈａｖｅ ｎｏ ｖｉｓｉｂｌｅ
ｃｈａｎｇｅｓ．Ｔｈｅｒｅｆｏｒｅ ｔｈｅ ｏｂｓｅｒｖｅｄ ｄｅｃｒｅａｓｉｎｇ ｒｅｌａ—
ｔｉｖｅ ｃｏｎｔｅｎｔｓ ｏｆ Ｂａ，Ｇｄ，Ｐ ｅｌｅｍｅｎｔ ｏｎ ｔｈｅ ｓｕｒｆａｃｅ
ｏｆ ｔｈｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｍａｙ ｂｅ ｄｕｅ ｔｏ ｔｈｅ ｉｎｃｒｅａｓｅｄ ｃｏｎ—
ｔｅｎｔ ｒａｔｉｏ ｏｆ Ｃ ｅｌｅｍｅｎｔ．
Ｂｉｎｄｉｎｇｅｎｅｒｇｙ／ｅＶ
Ｆ蟮８ ＸＰＳ ｓｐｅｃｔｒａｏｆＣｄ￣ａｅｎｔ ｂｅｆｏｒｅａＩ】ｄ ａｆｔｅｒ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ
Ａｃｃｏｒｄｉｎｇ ｔｏ ＸＰＳ ａｎａｌｙｓｉｓ。ｗｅ ｃａｎ ｃｏｎｃｌｕｄｅ
ｔｈａｔ ａｆｔｅｒ ｈｉｇｈ ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｙ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ，ｂｅ—
ｓｉｄｅｓ ｔｈｅ ｃａｒｂｏｎ ｌａｙｅｒ，ｎｏ ｅｖｉｄｅｎｃｅ ｓｈｏｗｓ ｔｈａｔ
Ｂａ３ Ｇｄ（ＶＯ４）３：Ｄｙ３＋ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｉｔｓｅｌｆ ｕｎｄｅｒｇｏｅｓ
ｃｈｅｍｉｃａｌ ｒｅａｃｔｉｏｎ．
Ｔｏ ｃｏｎｆｉｒｍ ｔｈａｔ ｔｈｅ ｃａｒｂｏｎ ｌａｙｅｒ ｃａｎｓｅｄ ｔｈｅ
ｄｅｃｒｅａｓｅ ｏｆ ｔｈｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ，ｔｈｅ ｓａｍｐｌｅ
ａｆｔｅｒ ｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔ ｗａｓ ｂａｋｅｄ ａｔ ４５０℃ｉｎ ａｉｒ ｆｏｒ ３０
ｍｉｎｕｔｅｓ，ｔｈｅ ｃａｒｂｏｎ ｌａｙｅｒ ｏｎ ｔｈｅ ｐｈｏｓｐｈｏｒ ｓｕｒｆａｃｅ
ｗａｓ ｒｅｍｏｖｅｄ．ａｎｄ ｔｈｅ ｓａｍｐｌｅ ｒｅｓｔｏｒｅｄ ｔｈｅ ｉｎｉｔｉａｌ
ｃｏｌｏｒ．Ｔｈｅ ＣＬ ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ ｏｆ ｔｈｅ ｓａｍｐｌｅ ｗａｓ ｍｅａｓ—
ｕｒｅｄ ａｔ ｔｈｅ ｖａｃｕｕｍ ｃｈａｍｂｅｒ ａｇａｉｎ．Ｔｈｅ ｒｅｓｕｌｔ ｉｓ
ｓｈｏｗｎ ｉｎ Ｆｉｇｕｒｅ ７．Ｉｔ ｃａｎ ｂｅ ｓｅｅｎ ｔｈａｔ ｔｈｅ ＣＬ ｉｎ－
ｔｅｎｓｉｔｙ ｉｎｃｒｅａｓｅｄ ｔｏ ｔｈｅ ｉｎｉｔｉａｌ ｖａｌｕｅ．Ｔｈｉｓ ｆｕｒｔｈｅｒ
ｐｒｏｖｅｓ ｔｈａｔ ｔｈｅ ｃａｒｂｏｎ ｌａｙｅｒ ｃａｕｓｅｄ ｔｈｅ ｄｅｃｒｅａｓｅ ｏｆ
ｔｈｅ ＣＬ ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ．
Ｔｈｅ ｅｍｉｓｓｉｏｎ ｐｅａｋ ｏｆ Ｂａ３Ｇｄ（ＰＯ４）３：Ｄｙ３＋ｐｈｏｓ—
ｐｈｏｒ ｗａｓ ｌｏｃａｔｅｄ ａｔ ５８４ ｎ／ｎ，４９２ ｎ／ｎ ａｎｄ ６７６ ｎ／ｎ，（２ｏｒ－
ｒｅｓｐｏｎｄｉｇｎ ｔｏ ｔｈｅ‘Ｆ９／２— Ｈｉ／２（ｉ一１３，１５，１１）ｔｒａｎｓｉ—
ｔｉｏｎ ｏｆ Ｄｆ＋．Ｆｏｒ Ｂａ３Ｇｄ（ＰＯ４）３：０．０６ｏｆ＋，ｔｈｅ ＣＩＥ
ｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ ｉｎ ｃａｔｈｏｄｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ ｌｉｇｈｔ ｓｏｕｒｃｅｓ．
Ａｃｋｎｏｗｌｅｄｇｍｅｎｔｓ
Ｔｈｅ ａｕｔｈｏｒｓ ｇｒａｔｅｆｕｌｌｙ ａｃｋｎｏｗｌｅｄｇｅ ｔｈｅ ｆｉｎａｎ—
ｃｉａｌ ｓｕｐｐｏｒｔ ｏｆ ｔｈｉｓ ｐｒｏｊｅｃｔ ｂｙ ｔｈｅ Ｎａｔｉｏｎａｌ Ｎａｔｕｒａｌ
Ｓｃｉｅｎｃｅ ＦＯｕｎｄａｔｉｏｎ ｏｆ Ｃｈｉｎａ （Ｇｒａｎｔ Ｎｏ．
５００２１２０２，５０３２９２０１，ａｎｄ ６０５７１０３５），ｔｈｅ Ｓｃｉｅｎｃｅ
ａｎｄ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｍｉｎｉｓｔｒｙ ｏｆ Ｃｈｉｎａ（Ｇｒａｎｔ Ｎｏ．
２００３ＣＢ３１４７０１），ｔｈｅ Ｅｄｕｃａｔｉｏｎ Ｍｉｎｉｓｔｒｙ ｏｆ Ｃｈｉｎａ，
ｔｈｅ Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｄｅｐａｒｔｍｅｎｔ ｏｆ Ｇｕａｎｇ—
ｄｏｎｇ Ｐｒｏｖｉｎｃｅ，ｔｈｅ Ｅｄｕｃａｔｉｏｎ Ｄｅｐａｒｔｍｅｎｔ ｏｆ
Ｇｕａｎｇｄｏｎｇ Ｐｒｏｖｉｎｃｅ，ａｎｄ ｔｈｅ Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ Ｔｅｃｈ－
ｎｏｌｏｇｙ Ｄｅｐａｒｔｍｅｎｔ ｏｆ Ｇｕａｎｇｚｈｏｕ Ｃｉｔｙ．
［１ ３ Ｕｅｍｕｒａ Ｓ，Ｙｏｔａｎｉ Ｊ，Ｎａｇａｓａｋｏ Ｔ，Ｋｕｒａｃｈｉ Ｈ，Ｙａｍａｄａ Ｈ，
Ｅｚａｋｉ Ｔ，Ｍａｅｓｏｂａ Ｔ，Ｎａｋａｏ Ｔ，Ｓａｉｔｏ Ｙ ａｎｄ Ｙｕｍｕｒａ Ｍ，
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