2024年9月4日发(作者：皮思恩)
Global
Global
TM
.08/.10
.10
ClassicSR
应用领域
扫描技术
标准配置的工作型测量机，可利
用触发和扫描技术
Performance
为点到点和扫描测量提供
超高精度
Advantage
超高精度和效率，完成持久
的过程控制和质量控制任务
控制系统支持扫描
标准：线性温度补偿技术(7个传感器)
选项：CLIMA温度补偿技术(11个传感器)
标准：18-22˚C-1˚C/h-2˚C/24h
CLIMA：16-26˚C-1˚C/h-5˚C/24h
控制系统支持扫描
标准：线性温度补偿技术(7个传感器)
选项：CLIMA温度补偿技术(11个传感器)
标准：18-22˚C-1˚C/h-2˚C/24h
CLIMA：16-26˚C-1˚C/h-5˚C/24h
控制系统支持扫描
标准：线性温度补偿技术(7个传感器)
选项：CLIMA温度补偿技术(11个传感器)
选项：ACTIV温度补偿技术(15个传感器)
标准：18-22˚C-1˚C/h-2˚C/24h
CLIMA：16-26˚C-1˚C/h-5˚C/24h
ACTIV：15-30˚C-2˚C/h-10˚C/24h
温度补偿
环境要求
技术指标
导轨
X：经过超精密加工及阳极化处理的挤压轻质铝合金
Y：直接加工在工作台内的整体燕尾导轨
Z：经过超精密加工及阳极化处理的挤压轻质铝合金
平台(工作台)
材料：花岗石
工件固定：M8X1.25螺纹镶嵌件
平面度：根据DIN876/Ⅲ
测量系统
METALLUR(镀金)：抗磨损线性光栅
系统分辩率：0.039μm起
环境
可操作温度：10-45˚C
相对湿度：90%，无冷凝
气源
最小供气压力：5bar
耗气量：150NL/min
温度补偿系统
线性：18˚-22˚C
CLIMA：结构温度补偿16-26˚C
ACTIV：结构温度补偿15-30˚C
空气轴承
各轴使用预载荷空气轴承
Z轴平衡
气动平衡，可调节
性能评定指标
MPE
E
长度测量最大允许示值误差
(1)
在测量空间的任意7个不同方位，
测量一组5种尺寸量块，
每种量块长度分别测量3次，
所有测量结果必须在规定的MPE
E
值范围内。
MPE
P
最大允许探测误差
(2)
25点测量精密标准球，
探测点均匀分布，
最大允许探测误差MPE
P
值为所有测量半径的最大差值。
MPE
THP/τ
最大允许扫描探测误差
(3)
沿标准球上4条确定的路径进行扫描,
最大允许扫描探测误差MPE
THP/τ
值为所有扫描半径的最大差值。
τ是执行性能验证时所需的时间(以秒为单位)
(1)、长度测量最大允许示值误差MPE
E
根据ISO10360-2(2)、最大允许探测误差MPE
P
根据ISO10360-2(3)、最大允许扫描探测误差MPE
THP/
τ
根据ISO10360-4
.08/.10/.10Q515.2-0910-6C
GlobalClassicSR09.12.08,09.15.08,09.20.08
性能指标，行程范围，尺寸，重量
依据ISO10360-2以及ISO10360-4标准的性能指标
性能指标：最大允许误差
MPE(μm),L(mm),τ(s)
标准温度范围18-22˚CCLIMA温度范围16-26˚C
(1)
测头配置
(1)
MPE
E
(2)
MPE
P
2.6
2.3
2.2
2.2
(3)
MPE
THP/τ
-
-
3.9/90
3.9/90
MPE
E
(2)
MPE
P
2.6
2.3
2.2
2.2
(3)
MPE
THP/τ
-
-
3.9/90
3.9/90
最大三维
速度
(mm/s)
520
520
520
520
最大三维
加速度
(mm/s
2
)
1732
1732
1732
1300
TESASTAR-p/TESASTAR-mp2.6+3.3L/1000
TP200
LSP-X1
LSP-X1c
2.3+3.3L/1000
2.2+3.3L/1000
2.2+3.3L/1000
2.8+4.0L/1000
2.8+4.0L/1000
2.5+4.0L/1000
2.5+4.0L/1000
1020
行程范围
型号
X
09.12.08
09.15.08
09.20.08
900
900
900
(mm)
Y
1200
1500
2000
Z
800
800
800
Lx
1450
1450
1450
外形尺寸
(mm)
Lx
1
1340
1340
1340
Ly
2165
2465
2965
Lz
2946
2946
2946
测量空间
(mm)
Dz
110
110
110
Dz
1
946
946
946
平台
(mm)
Ph
700
700
700
Py
1910
2210
2710
支撑
(mm)
Sy
1
455
540
680
Sy
2
1000
1130
1350
被测工件整机重量
最大重量
(kg)
(kg)
1300
1500
1800
1650
1850
2250
性能指标在以下条件下有效：
－标准环境温度：18-22˚C；环境温度变化：1˚C/h-2˚C/24h；温度梯度：1˚C/m
－CLIMA环境温度：16-26˚C；环境温度变化：1˚C/h-5˚C/24h；温度梯度：1˚C/m
(1)：长度测量最大允许示值误差MPE
E
根据ISO10360-2
(2)：最大允许探测误差MPE
P
根据ISO10360-2
性能测试时的测头配置：
－TESASTAR-p/TESASTAR-mp：标准测力,探针长度10mm,针尖直径4mm
－TP200：标准测力，探针长度10mm，针尖直径4mm
－LSP-X1：LSP-X1s探针长度50mm，针尖直径5mm，LSP-X1m探针长度20mm，针尖直径5mm
－LSP-X1c：探针长度50mm，针尖直径5mm
.08/.10/.10
Q515.2-0910-6C
GlobalPerformance09.12.08,09.15.08,09.20.08
性能指标，行程范围，尺寸，重量
依据ISO10360-2以及ISO10360-4标准的性能指标
性能指标：最大允许误差
MPE(μm),L(mm),τ(s)
标准温度范围18-22˚CCLIMA温度范围16-26˚C
(1)
测头配置
(1)
MPE
E
(2)
MPE
P
2.0
1.9
1.8
1.8
(3)
MPE
THP/τ
-
-
2.9/68
2.9/68
MPE
E
(2)
MPE
P
2.0
1.9
1.8
1.8
(3)
MPE
THP/τ
-
-
2.9/68
2.9/68
最大三维
速度
(mm/s)
520
520
520
520
最大三维
加速度
(mm/s
2
)
1732
1732
1732
1300
TESASTAR-p/TESASTAR-mp2.1+3.0L/1000
TP200
LSP-X1
LSP-X3
1.9+3.0L/1000
1.8+3.0L/1000
1.8+3.0L/1000
2.4+4.0L/1000
2.1+4.0L/1000
2.1+4.0L/1000
2.1+4.0L/1000
1020
行程范围
型号
09.12.08
09.15.08
09.20.08
X
900
900
900
(mm)
Y
1200
1500
2000
Z
800
800
800
Lx
1450
1450
1450
外形尺寸
(mm)
Lx
1
1340
1340
1340
Ly
2165
2465
2965
Lz
2946
2946
2946
测量空间
(mm)
Dz
110
110
110
Dz
1
946
946
946
平台
(mm)
Ph
700
700
700
Py
1910
2210
2710
支撑
(mm)
Sy
1
455
540
680
Sy
2
1000
1130
1350
被测工件
最大重量
(kg)
1300
1500
1800
整机重量
(kg)
1650
1850
2250
性能指标在以下条件下有效：
－标准环境温度：18-22˚C；环境温度变化：1˚C/h-2˚C/24h；温度梯度：1˚C/m
－CLIMA环境温度：16-26˚C；环境温度变化：1˚C/h-5˚C/24h；温度梯度：1˚C/m
(1)：长度测量最大允许示值误差MPE
E
根据ISO10360-2
(2)：最大允许探测误差MPE
P
根据ISO10360-2
(3)：最大允许扫描探测误差MPE
THP/
τ
根据ISO10360-4
性能测试时的测头配置：
－TESASTAR-p/TESASTAR-mp：标准测力,探针长度10mm,针尖直径4mm
－TP200：标准测力，探针长度10mm，针尖直径4mm
－LSP-X1：LSP-X1s探针长度50mm，针尖直径5mm，LSP-X1m探针长度20mm，
针尖直径5mm
－LSP-X3：探针长度60mm，针尖直径5mm
.08/.10/.10
Q515.2-0910-6C
GlobalAdvantage09.12.08,09.15.08,09.20.08
性能指标，行程范围，尺寸，重量
依据ISO10360-2以及ISO10360-4标准的性能指标
性能指标：最大允许误差
MPE(μm),L(mm),τ(s)
标准温度范围18-22˚CCLIMA温度范围16-26˚C
(1)
测头配置
(1)
MPE
E
(2)
MPE
P
2.0
1.9
1.4
1.4
(3)
MPE
THP/τ
-
-
2.5/68
2.5/68
MPE
E
(2)
MPE
P
2.0
1.9
1.4
1.4
(3)
MPE
THP/τ
-
-
2.5/68
2.5/68
最大三维
速度
(mm/s)
866
866
866
866
最大三维
加速度
(mm/s
2
)
4330
4330
4330
1300
TESASTAR-p/TESASTAR-mp2.1+3.0L/1000
TP200
LSP-X1
LSP-X5
1.9+3.0L/1000
1.4+3.0L/1000
1.4+3.0L/1000
2.4+4.0L/1000
2.1+4.0L/1000
1.7+4.0L/1000
1.7+4.0L/1000
1
1
0
Dx
行程范围
型号
(mm)
外形尺寸
(mm)
测量空间
(mm)
Dz
1
936
936
936
Dx
1039
1039
1039
平台
(mm)
支撑
(mm)
镶嵌件
被测工件整机
(mm)
最大重量重量
A
76
51
126
(kg)
1300
1500
1800
(kg)
2286
2567
3316
XYLxLx
1
LyLzLz
1
Z
09.12.08
9001200
800
030662148
09.15.08
9001500
800
030662148
09.20.08
9002000
800
030912148
*采用LSP-X5的情况下，Z向行程665mm。
性能指标在以下条件下有效：
－标准环境温度：18-22˚C；环境温度变化：1˚C/h-2˚C/24h；温度梯度：1˚C/m
－CLIMA环境温度：16-26˚C；环境温度变化：1˚C/h-5˚C/24h；温度梯度：1˚C/m
(1)：长度测量最大允许示值误差MPE
E
根据ISO10360-2
(2)：最大允许探测误差MPE
P
根据ISO10360-2
(3)：最大允许扫描探测误差MPE
THP/
τ
根据ISO10360-4
PhPySy
1
Sy
2
70
70
72528307001450
性能测试时的测头配置：
－TESASTAR-p/TESASTAR-mp：标准测力,探针长度10mm,针尖直径4mm
－TP200：标准测力，探针长度10mm，针尖直径4mm
－LSP-X1：LSP-X1s探针长度50mm，针尖直径5mm，LSP-X1m探针长度20mm，
针尖直径5mm
－LSP-X5：探针长度60mm，针尖直径5mm
.08/.10/.10Q515.2-0910-6C
GlobalPerformance12.15.10,12.22.10,12.30.10
性能指标，行程范围，尺寸范围
依据ISO10360-2以及ISO10360-4标准的性能指标
性能指标：最大允许误差
MPE(μm),L(mm),τ(s)
标准温度范围18-22˚CCLIMA温度范围16-26˚C
(1)
测头配置
(1)
MPE
E
(2)
MPE
P
2.7
2.5
2.4
2.4
(3)
MPE
THP/τ
-
-
4.7/68
4.7/68
MPE
E
(2)
MPE
P
2.7
2.5
2.4
2.4
(3)
MPE
THP/τ
-
-
4.7/68
4.7/68
最大三维
速度
(mm/s)
433
433
433
433
最大三维
加速度
(mm/s
2
)
1000
1000
1000
1000
TESASTAR-p/TESASTAR-mp2.7+3.0L/1000
TP200
LSP-X1
LSP-X3
2.5+3.0L/1000
2.4+3.0L/1000
2.4+3.0L/1000
3.1+5.0L/1000
2.8+5.0L/1000
2.8+5.0L/1000
2.8+5.0L/1000
1
5
0
Dx
行程范围
型号
(mm)
外形尺寸
(mm)
测量空间
(mm)
Dz
1
1173
1173
1173
平台
(mm)
支撑
(mm)
被测工件
最大重量
(kg)
1800
2250
2250
整机
重量
(kg)
3792
5679
7587
XYZLxLx
1
LyLzLz
1
12.15.10
034312307
12.22.10
034062282
12.30.10
034312307
性能指标在以下条件下有效：
－标准环境温度：18-22˚C；环境温度变化：1˚C/h-2˚C/24h；温度梯度：1˚C/m
－CLIMA环境温度：16-26˚C；环境温度变化：1˚C/h-5˚C/24h；温度梯度1˚C/m
(1)：长度测量最大允许示值误差MPE
E
根据ISO10360-2
(2)：最大允许探测误差MPE
P
根据ISO10360-2
(3)：最大允许扫描探测误差MPE
THP/
τ
根据ISO10360-4
DxPhPySy
1
Sy
2
131300
131630
1301980
性能测试时的测头配置：
－TESASTAR-p/TESASTAR-mp：标准测力,探针长度10mm,针尖直径4mm
－TP200：标准测力，探针长度10mm，针尖直径4mm
－LSP-X1：LSP-X1s探针长度50mm，针尖直径5mm，LSP-X1m探针长度20mm，
针尖直径5mm
－LSP-X3：探针长度60mm，针尖直径5mm
.08/.10/.10
Q515.2-0910-6C
GlobalAdvantage12.15.10,12.22.10,12.30.10
性能指标，行程范围，尺寸范围
依据ISO10360-2以及ISO10360-4标准的性能指标
性能指标：最大允许误差
MPE(μm),L(mm),τ(s)
标准温度范围18-22˚CCLIMA温度范围16-26˚C
(1)
测头配置
(1)
MPE
E
(2)
MPE
P
2.6
2.2
1.8
1.8
(3)
MPE
THP/τ
-
-
3.1/68
3.1/68
MPE
E
(2)
MPE
P
2.6
2.2
1.8
1.8
(3)
MPE
THP/τ
-
-
3.1/68
3.1/68
最大三维
速度
(mm/s)
866
866
866
866
最大三维
加速度
(mm/s
2
)
4330
4330
4330
1300
TESASTAR-p/TESASTAR-mp2.7+3.0L/1000
TP200
LSP-X1
LSP-X5
2.5+3.0L/1000
2.1+3.0L/1000
2.1+3.0L/1000
3.1+5.0L/1000
2.8+5.0L/1000
2.5+5.0L/1000
2.5+5.0L/1000
1
5
0
Dx
行程范围
型号
(mm)
外形尺寸
(mm)
测量空间
(mm)
Dz
1
Dx
11731300
11731300
11731300
平台
(mm)
支撑
(mm)
被测工件
最大重量
(kg)
1800
2250
2250
整机
重量
(kg)
3792
5679
7587
LyLzLz
1
LxLx
1
YZ
X
12.15.10
1200
15001000
034312307
12.22.10
1200
22001000
034062282
12.30.10
1200
30001000
034312307
*采用LSP-X5的情况下，Z向行程905mm。
性能指标在以下条件下有效：
－标准环境温度：18-22˚C；环境温度变化：1˚C/h-2˚C/24h；温度梯度：1˚C/m
－CLIMA环境温度：16-26˚C；环境温度变化：1˚C/h-5˚C/24h；温度梯度：1˚C/m
(1)：长度测量最大允许示值误差MPE
E
根据ISO10360-2
(2)：最大允许探测误差MPE
P
根据ISO10360-2
(3)：最大允许扫描探测误差MPE
THP/
τ
根据ISO10360-4
PhPySy
1
Sy
2
62524806501300
60
625398010001980
性能测试时的测头配置：
－TESASTAR-p/TESASTAR-mp：标准测力,探针长度10mm,针尖直径4mm
－TP200：标准测力，探针长度10mm，针尖直径4mm
－LSP-X1：LSP-X1s探针长度50mm，针尖直径5mm，LSP-X1m探针长度20mm，
针尖直径5mm
－LSP-X5：探针长度60mm，针尖直径5mm
.08/.10/.10Q515.2-0910-6C
GlobalAdvantage15.22.10,15.30.10
性能指标，行程范围，尺寸范围
依据ISO10360-2以及ISO10360-4标准的性能指标
性能指标：最大允许误差
MPE(μm),L(mm),τ(s)
标准温度范围18-22˚CCLIMA温度范围16-26˚C
(1)
测头配置
(1)
MPE
E
(2)
MPE
P
2.8
2.5
2.2
2.2
(3)
MPE
THP/τ
-
-
3.5/68
3.5/68
MPE
E
(2)
MPE
P
2.8
2.5
2.2
2.2
(3)
MPE
THP/τ
-
-
3.5/68
3.5/68
最大三维
速度
(mm/s)
866
866
866
866
最大三维
加速度
(mm/s
2
)
2598
2598
2598
1300
TESASTAR-p/TESASTAR-mp2.8+3.0L/1000
TP200
LSP-X1
LSP-X5
2.5+3.0L/1000
2.2+3.0L/1000
2.2+3.0L/1000
3.1+5L/1000
2.8+5L/1000
2.5+5L/1000
2.5+5L/1000
Y
Lx
L
z
L
z
1
1
5
0
Z
X
p
h
755
Sy1
Sy
Lx1
755
Ly
Py
型号
X
15.22.10
15.30.10
1500
1500
行程
(mm)
Y
2200
3000
Z*
1000
1000
Lx
2138
2138
Lx1
2110
2110
外形尺寸
(mm)
Ly
3645
4445
Lz
3405
3430
Lz1
2131
2156
Ph
平台
(mm)
Py
3180
3980
支撑
(mm)
Sy1
800
1000
Sy2
1630
1980
被测工件
最大重量
(kg)
2250
2250
机器
重量
(kg)
6713
8986
600
625
*
采用LSP-X5的情况下，Z向行程905mm
性能指标在以下条件下有效：
－标准环境温度：18-22˚C；环境温度变化：1˚C/h-2˚C/24h；温度梯度：1˚C/m
－CLIMA环境温度：16-26˚C；环境温度变化：1˚C/h-5˚C/24h；温度梯度：1˚C/m
(1)：长度测量最大允许示值误差MPE
E
根据ISO10360-2
(2)：最大允许探测误差MPE
P
根据ISO10360-2
(3)：最大允许扫描探测误差MPE
THP/
τ
根据ISO10360-4
性能测试时的测头配置：
－TESASTAR-p/TESASTAR-mp：标准测力,探针长度10mm,针尖直径4mm
－TP200：标准测力，探针长度10mm，针尖直径4mm
－LSP-X1：LSP-X1s探针长度50mm，针尖直径5mm，LSP-X1m探针长度20mm，
针尖直径5mm
－LSP-X5：探针长度60mm，针尖直径5mm
.08/.10/.10
Q515.2-0910-6C
2024年9月4日发(作者：皮思恩)
Global
Global
TM
.08/.10
.10
ClassicSR
应用领域
扫描技术
标准配置的工作型测量机，可利
用触发和扫描技术
Performance
为点到点和扫描测量提供
超高精度
Advantage
超高精度和效率，完成持久
的过程控制和质量控制任务
控制系统支持扫描
标准：线性温度补偿技术(7个传感器)
选项：CLIMA温度补偿技术(11个传感器)
标准：18-22˚C-1˚C/h-2˚C/24h
CLIMA：16-26˚C-1˚C/h-5˚C/24h
控制系统支持扫描
标准：线性温度补偿技术(7个传感器)
选项：CLIMA温度补偿技术(11个传感器)
标准：18-22˚C-1˚C/h-2˚C/24h
CLIMA：16-26˚C-1˚C/h-5˚C/24h
控制系统支持扫描
标准：线性温度补偿技术(7个传感器)
选项：CLIMA温度补偿技术(11个传感器)
选项：ACTIV温度补偿技术(15个传感器)
标准：18-22˚C-1˚C/h-2˚C/24h
CLIMA：16-26˚C-1˚C/h-5˚C/24h
ACTIV：15-30˚C-2˚C/h-10˚C/24h
温度补偿
环境要求
技术指标
导轨
X：经过超精密加工及阳极化处理的挤压轻质铝合金
Y：直接加工在工作台内的整体燕尾导轨
Z：经过超精密加工及阳极化处理的挤压轻质铝合金
平台(工作台)
材料：花岗石
工件固定：M8X1.25螺纹镶嵌件
平面度：根据DIN876/Ⅲ
测量系统
METALLUR(镀金)：抗磨损线性光栅
系统分辩率：0.039μm起
环境
可操作温度：10-45˚C
相对湿度：90%，无冷凝
气源
最小供气压力：5bar
耗气量：150NL/min
温度补偿系统
线性：18˚-22˚C
CLIMA：结构温度补偿16-26˚C
ACTIV：结构温度补偿15-30˚C
空气轴承
各轴使用预载荷空气轴承
Z轴平衡
气动平衡，可调节
性能评定指标
MPE
E
长度测量最大允许示值误差
(1)
在测量空间的任意7个不同方位，
测量一组5种尺寸量块，
每种量块长度分别测量3次，
所有测量结果必须在规定的MPE
E
值范围内。
MPE
P
最大允许探测误差
(2)
25点测量精密标准球，
探测点均匀分布，
最大允许探测误差MPE
P
值为所有测量半径的最大差值。
MPE
THP/τ
最大允许扫描探测误差
(3)
沿标准球上4条确定的路径进行扫描,
最大允许扫描探测误差MPE
THP/τ
值为所有扫描半径的最大差值。
τ是执行性能验证时所需的时间(以秒为单位)
(1)、长度测量最大允许示值误差MPE
E
根据ISO10360-2(2)、最大允许探测误差MPE
P
根据ISO10360-2(3)、最大允许扫描探测误差MPE
THP/
τ
根据ISO10360-4
.08/.10/.10Q515.2-0910-6C
GlobalClassicSR09.12.08,09.15.08,09.20.08
性能指标，行程范围，尺寸，重量
依据ISO10360-2以及ISO10360-4标准的性能指标
性能指标：最大允许误差
MPE(μm),L(mm),τ(s)
标准温度范围18-22˚CCLIMA温度范围16-26˚C
(1)
测头配置
(1)
MPE
E
(2)
MPE
P
2.6
2.3
2.2
2.2
(3)
MPE
THP/τ
-
-
3.9/90
3.9/90
MPE
E
(2)
MPE
P
2.6
2.3
2.2
2.2
(3)
MPE
THP/τ
-
-
3.9/90
3.9/90
最大三维
速度
(mm/s)
520
520
520
520
最大三维
加速度
(mm/s
2
)
1732
1732
1732
1300
TESASTAR-p/TESASTAR-mp2.6+3.3L/1000
TP200
LSP-X1
LSP-X1c
2.3+3.3L/1000
2.2+3.3L/1000
2.2+3.3L/1000
2.8+4.0L/1000
2.8+4.0L/1000
2.5+4.0L/1000
2.5+4.0L/1000
1020
行程范围
型号
X
09.12.08
09.15.08
09.20.08
900
900
900
(mm)
Y
1200
1500
2000
Z
800
800
800
Lx
1450
1450
1450
外形尺寸
(mm)
Lx
1
1340
1340
1340
Ly
2165
2465
2965
Lz
2946
2946
2946
测量空间
(mm)
Dz
110
110
110
Dz
1
946
946
946
平台
(mm)
Ph
700
700
700
Py
1910
2210
2710
支撑
(mm)
Sy
1
455
540
680
Sy
2
1000
1130
1350
被测工件整机重量
最大重量
(kg)
(kg)
1300
1500
1800
1650
1850
2250
性能指标在以下条件下有效：
－标准环境温度：18-22˚C；环境温度变化：1˚C/h-2˚C/24h；温度梯度：1˚C/m
－CLIMA环境温度：16-26˚C；环境温度变化：1˚C/h-5˚C/24h；温度梯度：1˚C/m
(1)：长度测量最大允许示值误差MPE
E
根据ISO10360-2
(2)：最大允许探测误差MPE
P
根据ISO10360-2
性能测试时的测头配置：
－TESASTAR-p/TESASTAR-mp：标准测力,探针长度10mm,针尖直径4mm
－TP200：标准测力，探针长度10mm，针尖直径4mm
－LSP-X1：LSP-X1s探针长度50mm，针尖直径5mm，LSP-X1m探针长度20mm，针尖直径5mm
－LSP-X1c：探针长度50mm，针尖直径5mm
.08/.10/.10
Q515.2-0910-6C
GlobalPerformance09.12.08,09.15.08,09.20.08
性能指标，行程范围，尺寸，重量
依据ISO10360-2以及ISO10360-4标准的性能指标
性能指标：最大允许误差
MPE(μm),L(mm),τ(s)
标准温度范围18-22˚CCLIMA温度范围16-26˚C
(1)
测头配置
(1)
MPE
E
(2)
MPE
P
2.0
1.9
1.8
1.8
(3)
MPE
THP/τ
-
-
2.9/68
2.9/68
MPE
E
(2)
MPE
P
2.0
1.9
1.8
1.8
(3)
MPE
THP/τ
-
-
2.9/68
2.9/68
最大三维
速度
(mm/s)
520
520
520
520
最大三维
加速度
(mm/s
2
)
1732
1732
1732
1300
TESASTAR-p/TESASTAR-mp2.1+3.0L/1000
TP200
LSP-X1
LSP-X3
1.9+3.0L/1000
1.8+3.0L/1000
1.8+3.0L/1000
2.4+4.0L/1000
2.1+4.0L/1000
2.1+4.0L/1000
2.1+4.0L/1000
1020
行程范围
型号
09.12.08
09.15.08
09.20.08
X
900
900
900
(mm)
Y
1200
1500
2000
Z
800
800
800
Lx
1450
1450
1450
外形尺寸
(mm)
Lx
1
1340
1340
1340
Ly
2165
2465
2965
Lz
2946
2946
2946
测量空间
(mm)
Dz
110
110
110
Dz
1
946
946
946
平台
(mm)
Ph
700
700
700
Py
1910
2210
2710
支撑
(mm)
Sy
1
455
540
680
Sy
2
1000
1130
1350
被测工件
最大重量
(kg)
1300
1500
1800
整机重量
(kg)
1650
1850
2250
性能指标在以下条件下有效：
－标准环境温度：18-22˚C；环境温度变化：1˚C/h-2˚C/24h；温度梯度：1˚C/m
－CLIMA环境温度：16-26˚C；环境温度变化：1˚C/h-5˚C/24h；温度梯度：1˚C/m
(1)：长度测量最大允许示值误差MPE
E
根据ISO10360-2
(2)：最大允许探测误差MPE
P
根据ISO10360-2
(3)：最大允许扫描探测误差MPE
THP/
τ
根据ISO10360-4
性能测试时的测头配置：
－TESASTAR-p/TESASTAR-mp：标准测力,探针长度10mm,针尖直径4mm
－TP200：标准测力，探针长度10mm，针尖直径4mm
－LSP-X1：LSP-X1s探针长度50mm，针尖直径5mm，LSP-X1m探针长度20mm，
针尖直径5mm
－LSP-X3：探针长度60mm，针尖直径5mm
.08/.10/.10
Q515.2-0910-6C
GlobalAdvantage09.12.08,09.15.08,09.20.08
性能指标，行程范围，尺寸，重量
依据ISO10360-2以及ISO10360-4标准的性能指标
性能指标：最大允许误差
MPE(μm),L(mm),τ(s)
标准温度范围18-22˚CCLIMA温度范围16-26˚C
(1)
测头配置
(1)
MPE
E
(2)
MPE
P
2.0
1.9
1.4
1.4
(3)
MPE
THP/τ
-
-
2.5/68
2.5/68
MPE
E
(2)
MPE
P
2.0
1.9
1.4
1.4
(3)
MPE
THP/τ
-
-
2.5/68
2.5/68
最大三维
速度
(mm/s)
866
866
866
866
最大三维
加速度
(mm/s
2
)
4330
4330
4330
1300
TESASTAR-p/TESASTAR-mp2.1+3.0L/1000
TP200
LSP-X1
LSP-X5
1.9+3.0L/1000
1.4+3.0L/1000
1.4+3.0L/1000
2.4+4.0L/1000
2.1+4.0L/1000
1.7+4.0L/1000
1.7+4.0L/1000
1
1
0
Dx
行程范围
型号
(mm)
外形尺寸
(mm)
测量空间
(mm)
Dz
1
936
936
936
Dx
1039
1039
1039
平台
(mm)
支撑
(mm)
镶嵌件
被测工件整机
(mm)
最大重量重量
A
76
51
126
(kg)
1300
1500
1800
(kg)
2286
2567
3316
XYLxLx
1
LyLzLz
1
Z
09.12.08
9001200
800
030662148
09.15.08
9001500
800
030662148
09.20.08
9002000
800
030912148
*采用LSP-X5的情况下，Z向行程665mm。
性能指标在以下条件下有效：
－标准环境温度：18-22˚C；环境温度变化：1˚C/h-2˚C/24h；温度梯度：1˚C/m
－CLIMA环境温度：16-26˚C；环境温度变化：1˚C/h-5˚C/24h；温度梯度：1˚C/m
(1)：长度测量最大允许示值误差MPE
E
根据ISO10360-2
(2)：最大允许探测误差MPE
P
根据ISO10360-2
(3)：最大允许扫描探测误差MPE
THP/
τ
根据ISO10360-4
PhPySy
1
Sy
2
70
70
72528307001450
性能测试时的测头配置：
－TESASTAR-p/TESASTAR-mp：标准测力,探针长度10mm,针尖直径4mm
－TP200：标准测力，探针长度10mm，针尖直径4mm
－LSP-X1：LSP-X1s探针长度50mm，针尖直径5mm，LSP-X1m探针长度20mm，
针尖直径5mm
－LSP-X5：探针长度60mm，针尖直径5mm
.08/.10/.10Q515.2-0910-6C
GlobalPerformance12.15.10,12.22.10,12.30.10
性能指标，行程范围，尺寸范围
依据ISO10360-2以及ISO10360-4标准的性能指标
性能指标：最大允许误差
MPE(μm),L(mm),τ(s)
标准温度范围18-22˚CCLIMA温度范围16-26˚C
(1)
测头配置
(1)
MPE
E
(2)
MPE
P
2.7
2.5
2.4
2.4
(3)
MPE
THP/τ
-
-
4.7/68
4.7/68
MPE
E
(2)
MPE
P
2.7
2.5
2.4
2.4
(3)
MPE
THP/τ
-
-
4.7/68
4.7/68
最大三维
速度
(mm/s)
433
433
433
433
最大三维
加速度
(mm/s
2
)
1000
1000
1000
1000
TESASTAR-p/TESASTAR-mp2.7+3.0L/1000
TP200
LSP-X1
LSP-X3
2.5+3.0L/1000
2.4+3.0L/1000
2.4+3.0L/1000
3.1+5.0L/1000
2.8+5.0L/1000
2.8+5.0L/1000
2.8+5.0L/1000
1
5
0
Dx
行程范围
型号
(mm)
外形尺寸
(mm)
测量空间
(mm)
Dz
1
1173
1173
1173
平台
(mm)
支撑
(mm)
被测工件
最大重量
(kg)
1800
2250
2250
整机
重量
(kg)
3792
5679
7587
XYZLxLx
1
LyLzLz
1
12.15.10
034312307
12.22.10
034062282
12.30.10
034312307
性能指标在以下条件下有效：
－标准环境温度：18-22˚C；环境温度变化：1˚C/h-2˚C/24h；温度梯度：1˚C/m
－CLIMA环境温度：16-26˚C；环境温度变化：1˚C/h-5˚C/24h；温度梯度1˚C/m
(1)：长度测量最大允许示值误差MPE
E
根据ISO10360-2
(2)：最大允许探测误差MPE
P
根据ISO10360-2
(3)：最大允许扫描探测误差MPE
THP/
τ
根据ISO10360-4
DxPhPySy
1
Sy
2
131300
131630
1301980
性能测试时的测头配置：
－TESASTAR-p/TESASTAR-mp：标准测力,探针长度10mm,针尖直径4mm
－TP200：标准测力，探针长度10mm，针尖直径4mm
－LSP-X1：LSP-X1s探针长度50mm，针尖直径5mm，LSP-X1m探针长度20mm，
针尖直径5mm
－LSP-X3：探针长度60mm，针尖直径5mm
.08/.10/.10
Q515.2-0910-6C
GlobalAdvantage12.15.10,12.22.10,12.30.10
性能指标，行程范围，尺寸范围
依据ISO10360-2以及ISO10360-4标准的性能指标
性能指标：最大允许误差
MPE(μm),L(mm),τ(s)
标准温度范围18-22˚CCLIMA温度范围16-26˚C
(1)
测头配置
(1)
MPE
E
(2)
MPE
P
2.6
2.2
1.8
1.8
(3)
MPE
THP/τ
-
-
3.1/68
3.1/68
MPE
E
(2)
MPE
P
2.6
2.2
1.8
1.8
(3)
MPE
THP/τ
-
-
3.1/68
3.1/68
最大三维
速度
(mm/s)
866
866
866
866
最大三维
加速度
(mm/s
2
)
4330
4330
4330
1300
TESASTAR-p/TESASTAR-mp2.7+3.0L/1000
TP200
LSP-X1
LSP-X5
2.5+3.0L/1000
2.1+3.0L/1000
2.1+3.0L/1000
3.1+5.0L/1000
2.8+5.0L/1000
2.5+5.0L/1000
2.5+5.0L/1000
1
5
0
Dx
行程范围
型号
(mm)
外形尺寸
(mm)
测量空间
(mm)
Dz
1
Dx
11731300
11731300
11731300
平台
(mm)
支撑
(mm)
被测工件
最大重量
(kg)
1800
2250
2250
整机
重量
(kg)
3792
5679
7587
LyLzLz
1
LxLx
1
YZ
X
12.15.10
1200
15001000
034312307
12.22.10
1200
22001000
034062282
12.30.10
1200
30001000
034312307
*采用LSP-X5的情况下，Z向行程905mm。
性能指标在以下条件下有效：
－标准环境温度：18-22˚C；环境温度变化：1˚C/h-2˚C/24h；温度梯度：1˚C/m
－CLIMA环境温度：16-26˚C；环境温度变化：1˚C/h-5˚C/24h；温度梯度：1˚C/m
(1)：长度测量最大允许示值误差MPE
E
根据ISO10360-2
(2)：最大允许探测误差MPE
P
根据ISO10360-2
(3)：最大允许扫描探测误差MPE
THP/
τ
根据ISO10360-4
PhPySy
1
Sy
2
62524806501300
60
625398010001980
性能测试时的测头配置：
－TESASTAR-p/TESASTAR-mp：标准测力,探针长度10mm,针尖直径4mm
－TP200：标准测力，探针长度10mm，针尖直径4mm
－LSP-X1：LSP-X1s探针长度50mm，针尖直径5mm，LSP-X1m探针长度20mm，
针尖直径5mm
－LSP-X5：探针长度60mm，针尖直径5mm
.08/.10/.10Q515.2-0910-6C
GlobalAdvantage15.22.10,15.30.10
性能指标，行程范围，尺寸范围
依据ISO10360-2以及ISO10360-4标准的性能指标
性能指标：最大允许误差
MPE(μm),L(mm),τ(s)
标准温度范围18-22˚CCLIMA温度范围16-26˚C
(1)
测头配置
(1)
MPE
E
(2)
MPE
P
2.8
2.5
2.2
2.2
(3)
MPE
THP/τ
-
-
3.5/68
3.5/68
MPE
E
(2)
MPE
P
2.8
2.5
2.2
2.2
(3)
MPE
THP/τ
-
-
3.5/68
3.5/68
最大三维
速度
(mm/s)
866
866
866
866
最大三维
加速度
(mm/s
2
)
2598
2598
2598
1300
TESASTAR-p/TESASTAR-mp2.8+3.0L/1000
TP200
LSP-X1
LSP-X5
2.5+3.0L/1000
2.2+3.0L/1000
2.2+3.0L/1000
3.1+5L/1000
2.8+5L/1000
2.5+5L/1000
2.5+5L/1000
Y
Lx
L
z
L
z
1
1
5
0
Z
X
p
h
755
Sy1
Sy
Lx1
755
Ly
Py
型号
X
15.22.10
15.30.10
1500
1500
行程
(mm)
Y
2200
3000
Z*
1000
1000
Lx
2138
2138
Lx1
2110
2110
外形尺寸
(mm)
Ly
3645
4445
Lz
3405
3430
Lz1
2131
2156
Ph
平台
(mm)
Py
3180
3980
支撑
(mm)
Sy1
800
1000
Sy2
1630
1980
被测工件
最大重量
(kg)
2250
2250
机器
重量
(kg)
6713
8986
600
625
*
采用LSP-X5的情况下，Z向行程905mm
性能指标在以下条件下有效：
－标准环境温度：18-22˚C；环境温度变化：1˚C/h-2˚C/24h；温度梯度：1˚C/m
－CLIMA环境温度：16-26˚C；环境温度变化：1˚C/h-5˚C/24h；温度梯度：1˚C/m
(1)：长度测量最大允许示值误差MPE
E
根据ISO10360-2
(2)：最大允许探测误差MPE
P
根据ISO10360-2
(3)：最大允许扫描探测误差MPE
THP/
τ
根据ISO10360-4
性能测试时的测头配置：
－TESASTAR-p/TESASTAR-mp：标准测力,探针长度10mm,针尖直径4mm
－TP200：标准测力，探针长度10mm，针尖直径4mm
－LSP-X1：LSP-X1s探针长度50mm，针尖直径5mm，LSP-X1m探针长度20mm，
针尖直径5mm
－LSP-X5：探针长度60mm，针尖直径5mm
.08/.10/.10
Q515.2-0910-6C