2024年9月23日发(作者：脱婉娜)

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WI-EN-070

宏齐光电子（深圳）有限公司

HARVATEK OPTELECTRONICS(SHENZHEN)CO,.LTD

ESD防静电管理规范

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文件目录（CONTENTS）：

1.

目的

2.

范围

3. 责任

4. 定义

版数

页次

A0

核准： 审核： 制(修)订： 黄增富

10

5. 防静电区域与测试程序

9.

相关记录

6. 人体防静电系统与测试程序

10.

注意事项

7. 培训

8. 相关文件

变

更

内

容

摘

要

新发行

修订者

黄增富

生效日期

2019/10/21

※ 管制文件 禁止翻印 ※

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1.目的

1.1为避免静电敏感元器件在生产、运输、储存、检测等过程中受到静电释放的影响，从而产

生短路、电阻漂移、开路、工作性能退化等不良现象。保证产品品质，增加可靠性，减低不

良率，节省产品工时成本，降低维修费用。

1.2提高员工对ESD的认识，加强员工自觉防止ESD现象之观念，促进提高生产管理水平。

2.范围

本文适用于所有车间/仓库中生产制程及电子元器件的采购、运输、储存、检测过程中的静电

防护。

3.责任

3.1生产经理、组长等管理人员，职责包括：

3.1.1负责做好物料、作业员、及其他进出防静电工作区人员及物品的出入管理，确保其

按ESD要求正确着装。

3.1.2确保作业员及在防静电工作区内的人员正确使用ESD设备，包括防静电工衣、防

静电工帽、防静电工鞋、防静电环、防静电台垫、离子风机、ESD料盒和ESD地

板等；

3.1.3确保无关人员不接触产品，不对产品产生静电释放；

3.1.4对怀疑是静电损伤的产品，需要保存样品并报告给相关的部门作失效分析；

3.1.5每天检查防静电工衣、工鞋、手环的ESD性能，如有品质异常，及时向采购部提

出采购申请更换；

3.1.6每天目视检查ESD设备、台垫等的接地状况，确保接地线正确的连接到ESD总线

上；

3.2设备工程师/技术员，职责包括：

3.2.1统筹全厂的ESD控制，定期对生产线的静电防护水平做出评估，并给出改善意见，

提高其静电防护水平；

3.2.2协助人力资源部进行ESD培训；

3.2.3监督各个部门的ESD管理情况，及时反映ESD状况；

3.2.4定期检查防静电设备，确保其可以正常使用，包括防静电台垫、地垫、运输工具和

其它辅助工具的表面电阻和对地电阻测试等；

3.2.5定期检查台垫和机器的接地状况，确保接地良好；

3.2.6协同行政部保证车间内的相对空气湿度在各车间规定的范围内；

3.2.7定期检查ESD总线的接地状况，确保其状况良好。

3.3人力资源部，职责包括：

3.3.1负责对新进厂的员工进行初步的防静电知识培训；

3.3.2定期对员工进行防静电知识培训。

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3.4研发工程部，职责包括：

3.4.1开发部在设计新产品时应考虑到器件的静电敏感度，尽量选用具有最大静电抗扰度

的元件；

3.4.2要求供应商提供元器件静电敏感度的级别。

3.5仓库管理职责包括：

3.5.1负责仓库管理防静电措施的维护和管理；

3.5.2定期通知ESD工程师进行检测使用中的防静电用具。

4.定义

4.1 静电： 一种处于相对稳定状态的电荷，静电可由物质的接触与分离、静电感应、介质极

化和带电微粒的附着等物理过程而产生。

4.2 ESD：Electronic Static Discharge，原意是指静电释放，即通过带静电区域直接接触或

感应而引起的静电电荷在不同电势物体上的转移，通常指静电防护，即避免静电释放的

发生。

4.3 静电感应：当带电物体靠近某一介质时，在该介质表面因感应而带电荷，并形成感应电

场。

4.4 ESDS：Electronic Static Discharge Sensitive，静电放电敏感器件，通常用来指静电敏

感元器件。

4.5 防静电工作区：由各种防静电设施、器件及明确的区域界限形成的工作场地。

4.6 静电敏感度：Electrostatic Sensitivity，元器件所能承受的静电放电电压值。

4.7 表面电阻：在与材料的同一侧面相接触的两个规定形状的电极之间，直流电压对于流过

的电流的比值。该测量结果以欧姆为单位来表示。

4.8 摩擦起电：当使两种材料接触或相互摩擦后分离时，产生静电荷。

4.9 摩擦电压：物体被摩擦后，表面所带静电荷的电压。

4.10 ESD 损伤：由静电放电引起的电子元器件性能退化或功能失效。

4.11 消电时间（Decay Time）：一个静电压从其初始值降低到一个给定值所需要的时间。

5.防静电区域与测试程序

5.1防静电工作区的划分：

5.1.1根据GJB 1649规定的静电放电电压敏感的静电放电敏感元器件组件和设备的分级. 静

电放电敏感产品按敏感度电压被分级为:

静电敏感度级别

I级

II级

III级

静电敏感电压（人体模型—HBM）

0~1999V

2000~3999V

4000~15999V

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根据该项标准的规定，所要求的ESD控制大纲一般只包含对I和II级敏感产品的防护。现按照

元器件静电敏感度和生产线实际情况如下：

（1）LED芯片的静电敏感度相对较高，生产环境相对干燥, 凡是直接操作的半成品、

成品生产线均定为I级；

（2）仅仅是器件的存储和运输，也不需要严格的防静电措施，理由是产品在这个

时候没有被加工。把这些区域或车间定为II级；

（3）按照上述理由，现规定敏感级别为：

级别

I级

II级

区域

固焊车间、灌胶车间、模压车间、外观、分光、包装等

成品包装区域、仓库管理区域，生产仓，收料仓等

5.1.2公司内部由黄、黑双色斑马线围起的区域或门口挂有静电标示牌的车间为防静电工

作区。

5.2防静电工作区基本环境要求

5.2.1防静电工作区应保持洁净，避免有灰尘堆积或漂浮的状态发生；

5.2.2车间内温湿度的控制参考《环境管控作业指导书》；

5.2.3在不对产品造成有害影响的前提下，允许使用增湿设备喷洒制剂或水，以增加环境

湿度；

5.2.4防静电工作区应清楚标明区域界限以及警示标志；

5.2.5要求使用防静电地板或在普通地面上铺设防静电地垫，并保证有效接地，禁止直接

使用木制地板或铺设毛、麻、化纤地毯。

5.2.6天花板及墙壁使用防静电材料制品，一般情况下允许使用石膏制品或石灰涂料，禁

止使用普通塑料制品。

5.3防静电工作区接地系统

5.3.1应有独立可靠的接地装置，接地电阻一般应小于10欧姆，为保证人员安全，在与

人员直接接触的地方应加装1兆欧姆限流电阻。接地线的要求如下：

接地线

接地总线

截面积

≥100mm

2

的铜制导线

接地电阻 测试人员 要求

ESD线不得直

接接在电源零

线上，ESD线不

得与防雷地线

共用。

小于10欧姆 设备工程师/

技术员

小于10欧姆 设备工程师/

技术员

小于10欧姆 设备工程师/

技术员

接地支干线

≥6 mm

2

的铜制导线

设备和工作

≥1.25mm

2

的多股或单

台的接地线 股的铜制绝缘套导线

ESD地线应用绿色绝缘套标识，台垫等物品的接地配件按照来料的颜色使用。

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5.4防静电区域设备及辅料要求

I级区域

防静电安全工作台

防静电包装、运输工具

（料盒、防潮柜、运输车）

防静电手环

防静电工衣（帽）

防静电工鞋

离子风机

II级区域

防静电安全工作台

防静电包装、运输工具

（料盒、料箱、运输车）

防静电手环

防静电工衣（帽）

防静电工鞋

5.5防静电工作区的ESD技术要求

5.5.1防静电地板

（1）用防静电地板专用清洁剂或中性清洁用品定期进行清洁，严禁使用强酸、强

碱或能溶解PVC材料的化学溶剂进行清洗。

（2）严禁带有尖刺、粗糙的重物在地板表面擦划、拖拉。

（3）不能将酒精、胶水等物品撒落在ESD地板上，如发生以上情况，应立即清洁。

（4）地板安装时应满足的ESD技术指标包括：表面电阻值均在1E4~1E9欧姆范

围以内。

5.5.2防静电工作台

（1）防静电工作台基本要求和禁止项目

要求

工作台表面铺设防静电台垫，同时台垫必须

接地。

禁止

工作台上放置普通塑料盒（片）、橡皮、玻璃、

普通泡沫等容易产生静电的杂物.。

配备ESD地线、离子风机（可选）、和防静距离ESDS元器件30厘米以内有摩擦电压

电测试架 高于200V的物件。

（2）防静电台台面应满足ESD技术指标。表面电阻值在1E4~1E9欧姆范围以内。

5.5.3防静电包装

（1）防静电包装包括——ESDS原料包装袋（盒/盘）、装板的料盒等。

（2）防静电包装应满足ESD技术指标：表面电阻(包括内外表面)在1E4~1E11欧

姆范围。如果产品或产品的金属部分不直接与防静电包装接触，则允许防静电

包装的电阻小于1E4欧姆。

5.5.4防静电运输工具

（1）防静电运输工具包括—ESD运输车、ESD小推车等。

（2）为保护ESDS不受到外部强静电场的影响，运送ESDS的防静电运输工具应

由高导电性材料制作，车子经常固定时要求硬接地。防静电运输工具应满足

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ESD技术指标：表面电阻和对地电阻小于1E9欧姆。

（3）当运输车由不锈钢组成时，且经常移动时，其对地电阻应小于10欧姆。

（4）存放架的表面电阻和对地电阻应小于1E9欧姆。

5.5.5除静电离子风机

（1）当防静电区域内不可避免的需要使用会产生高静电的材料时，且该材料要求

被放置在离ESDS 30厘米内时，必须使用离子风机。

（2）对于不能接地又直接接触ESDS元件的物体，为保证其保持在零电位状态，

可以使用离子风机消除在这个过程中产生的静电。

（3）设备悬挂的离子风机的出风口不能有异物阻挡且离ESDS 20厘米左右。离子

风机的平衡电压和消电时间标准参考‘10.2.3’的要求。

（4）台式离子风机应放置在工作台上且离工作区域30厘米左右，以保证有足够的

覆盖范围和快速的静电消除。离子风机的平衡电压和消电时间标准参考

‘10.2.3’的要求。

（5）IPQC每月做一次离子风机平衡电压和消电时间测试，填写《离子风机检测记

录表》，对不符合要求的离子风机，应及时反馈相关部门处理。

5.5.6其它防静电物料及相关要求

（1）不在上面列出来的物料则按一般防静电要求，表面电阻在1E4~1E11欧姆内，

体积电阻在1E4~1E11欧姆内。

（2）特殊情况下，如果找不到合适的供应商，确认不会对产品构成ESD隐患的情

况下，可以引入表面电阻小于1E11欧姆的物料。

6.人体防静电系统与测试程序

6.1防静电手环

6.1.1直接接触ESDS的任何人员都应按规定佩带防静电手环。

6.1.2防静电手环的手环应是导电性的。

6.1.3使用人应每天一次测量防静电手环的性能，并且填写《防静电环检测记录表》，检查

不合格时应交由修理检修，不能修复时，应及时更换。

6.2防静电鞋/防静电鞋套

所有进入防静电区域的人员都应穿用防静电鞋/鞋套。

6.3防静电工作服

6.3.1防静电工作服包括——防静电连体衣、防静电大褂、防静电工鞋（鞋套）和工帽，

防静电工作服要求使用导电网格防静电绸制作，制造要求应符合GB 12014规定，

其各部分之间应存在电气连续性，防静电工作服的设计应能保持在穿着状态下与人

体皮肤直接或间接地接触。

6.3.2进入防静电区域时，防静电工作服、工鞋和工帽要求穿着整齐，全部纽扣（拉链）

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要系好（拉完全），头发必须包在工帽内，不能有外露。

6.3.3不同使用人员之防静电工作服按颜色区分：

人员

生产部作业员工

生产管理人员

品质部员工

设备人员

工程研发人员

外来人员

普通工作区域及10万级洁净室

白色的防静电服（帽）

粉红色的防静电服（帽）

蓝色的防静电服（帽）

黄色的防静电服（帽）

6.3.4购买防静电工衣时应满足ESD技术指标：表面电阻值（1E5欧姆~1E10欧姆）。

6.4防静电手套/指套

由消散性材料制成，人体穿戴电阻在1E5~1E11欧姆范围。

6.5人体综合接地测试系统

要求

电阻在范围以内

电阻超范围上限

电阻超范围下限

指示灯

绿灯

红灯

黄灯

每个进入防静电区域的人员须进行人体综合接地效果测试，如果亮红/黄灯，则表明测试

失败，应更换工鞋/鞋套或手环重新进行测试并通知相关人员。

6.6人员防静电一般要求

6.6.1要求进入防静电区的人员尽量穿着棉质衣物，尽量避免穿着尼龙等合成纤维制品，

以免产生强电场导致静电感应放电现象。

6.6.2接触静电敏感器件及组件之前应戴好防静电手环，要保证手环与皮肤接触良好，在

戴手环处皮肤上不得涂护肤油、防冻油等绝缘物质。

6.6.3手持静电敏感器件及组件时应避免接触其导电（金属管脚）部分，操作过程中应尽

量减少对静电敏感器件及组件的接触次数，不得一次倒出一堆散乱地放在工作台面

上。

6.6.4外来人员参观，必须有本公司人员全程陪同，按参观路线行进，不得随意走动，不

得进入机器外围的斑马线地标，更不得随意触摸产品。

7.培训

7.1对所有可能接触或接近ESDS的人员，必须进行相关的ESD知识培训，并加以教育与训

练，使之树立有效的ESD防护观念，培训的有效期为一年。

7.2防静电培训的内容包括：

7.2.1静电学基础和静电损害

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7.2.2静电性能测试

7.2.3防静电的标示与包装

7.2.4防静电设备的使用和检测（相关人员）

8.相关文件

《环境管控作业指导书》 WI-PD-015

9.相关记录

《防静电环检测记录表》 FM-PD-020

《每月机台接地阻抗记录表》 FM-EM-021

《离子风机检测记录表》 FM-QC-039

10.注意事项

10.1物体表面的静电压测量方法

使用静电压表去测量物体表面的静电压，仪表距离被测物大约2.5厘米。静电压表在使用的

过程中需要接地。静电压表的读数的单位为KV。测试图例如下:

测试间距/mm

被测物 测试仪

10.2悬挂式/台式离子风机测试方法

10.2.1测量悬挂式离子风机应使用标准的离子风机测试仪，在评估新引入的离子风机时

候需要测量平衡电压和消电时间。

测试间距/mm

测试仪

10.2.2对每一个点均应测量不少于三次，应纪录平衡电压的最大（偏移零点最远）值，

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消电时间纪录最大值。

10.2.3对新引入的悬挂式离子风机的要求列表：（消散电荷变化条件：1000V-100V）

测试位置

200mm中心

适用类型

悬挂式

（分光机、编带机

自带）

台式

（检验桌、扩晶台）

平衡电压(V)

0 + 10 V

消电时间 (S)

< 10s

300mm中心

0 + 30 V < 15s

10.3手套/手指套的测量方法

10.3.1穿戴对地电阻测试：操作员把测试仪的两个电极分别放在两块互相绝缘的金属板

上面, 然后操作员戴上手套/手指套。操作员把戴有手套/手指套的大拇指和食指分别

按住那两块金属板，然后按下测量开关，并等读数稳定后读出测试仪上的读数，并

记录下来。操作员分别用大拇指和其它的手指按住金属板，然后读出测试仪上的读

数，并记录下来。每一种手套/手指套均需要测量5个（含）以上的样品，每次测量

均记录最大值。

10.3.2人体穿戴电阻在1E5~1E11欧姆范围。

10.4防静电标准列表

测试对象

防静电台垫/地垫

小推车/周转车

防潮柜

设备/工作台接地电阻

厂房接地电阻

防静电手环

表面电阻

1E4~1E9

＜1E9

对地/穿戴电阻

小于10

小于10

小于10

小于10

小于10

绿灯（7.5E5 ~ 3.5E7）

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10.5防静电标识

见到此标识，则说明此工作区域或

产品是静电敏感的，进入此区域或

操作此产品时需要做好防静电准

备。

用黄黑相间的斜条纹隔开防静电工作区域与普通工作区域，线条宽度为5 ~ 10 cm，

如上图所示。

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1.目的

1.1为避免静电敏感元器件在生产、运输、储存、检测等过程中受到静电释放的影响，从而产

生短路、电阻漂移、开路、工作性能退化等不良现象。保证产品品质，增加可靠性，减低不

良率，节省产品工时成本，降低维修费用。

1.2提高员工对ESD的认识，加强员工自觉防止ESD现象之观念，促进提高生产管理水平。

2.范围

本文适用于所有车间/仓库中生产制程及电子元器件的采购、运输、储存、检测过程中的静电

防护。

3.责任

3.1生产经理、组长等管理人员，职责包括：

3.1.1负责做好物料、作业员、及其他进出防静电工作区人员及物品的出入管理，确保其

按ESD要求正确着装。

3.1.2确保作业员及在防静电工作区内的人员正确使用ESD设备，包括防静电工衣、防

静电工帽、防静电工鞋、防静电环、防静电台垫、离子风机、ESD料盒和ESD地

板等；

3.1.3确保无关人员不接触产品，不对产品产生静电释放；

3.1.4对怀疑是静电损伤的产品，需要保存样品并报告给相关的部门作失效分析；

3.1.5每天检查防静电工衣、工鞋、手环的ESD性能，如有品质异常，及时向采购部提

出采购申请更换；

3.1.6每天目视检查ESD设备、台垫等的接地状况，确保接地线正确的连接到ESD总线

上；

3.2设备工程师/技术员，职责包括：

3.2.1统筹全厂的ESD控制，定期对生产线的静电防护水平做出评估，并给出改善意见，

提高其静电防护水平；

3.2.2协助人力资源部进行ESD培训；

3.2.3监督各个部门的ESD管理情况，及时反映ESD状况；

3.2.4定期检查防静电设备，确保其可以正常使用，包括防静电台垫、地垫、运输工具和

其它辅助工具的表面电阻和对地电阻测试等；

3.2.5定期检查台垫和机器的接地状况，确保接地良好；

3.2.6协同行政部保证车间内的相对空气湿度在各车间规定的范围内；

3.2.7定期检查ESD总线的接地状况，确保其状况良好。

3.3人力资源部，职责包括：

3.3.1负责对新进厂的员工进行初步的防静电知识培训；

3.3.2定期对员工进行防静电知识培训。

※ 管制文件 禁止翻印 ※

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3.4研发工程部，职责包括：

3.4.1开发部在设计新产品时应考虑到器件的静电敏感度，尽量选用具有最大静电抗扰度

的元件；

3.4.2要求供应商提供元器件静电敏感度的级别。

3.5仓库管理职责包括：

3.5.1负责仓库管理防静电措施的维护和管理；

3.5.2定期通知ESD工程师进行检测使用中的防静电用具。

4.定义

4.1 静电： 一种处于相对稳定状态的电荷，静电可由物质的接触与分离、静电感应、介质极

化和带电微粒的附着等物理过程而产生。

4.2 ESD：Electronic Static Discharge，原意是指静电释放，即通过带静电区域直接接触或

感应而引起的静电电荷在不同电势物体上的转移，通常指静电防护，即避免静电释放的

发生。

4.3 静电感应：当带电物体靠近某一介质时，在该介质表面因感应而带电荷，并形成感应电

场。

4.4 ESDS：Electronic Static Discharge Sensitive，静电放电敏感器件，通常用来指静电敏

感元器件。

4.5 防静电工作区：由各种防静电设施、器件及明确的区域界限形成的工作场地。

4.6 静电敏感度：Electrostatic Sensitivity，元器件所能承受的静电放电电压值。

4.7 表面电阻：在与材料的同一侧面相接触的两个规定形状的电极之间，直流电压对于流过

的电流的比值。该测量结果以欧姆为单位来表示。

4.8 摩擦起电：当使两种材料接触或相互摩擦后分离时，产生静电荷。

4.9 摩擦电压：物体被摩擦后，表面所带静电荷的电压。

4.10 ESD 损伤：由静电放电引起的电子元器件性能退化或功能失效。

4.11 消电时间（Decay Time）：一个静电压从其初始值降低到一个给定值所需要的时间。

5.防静电区域与测试程序

5.1防静电工作区的划分：

5.1.1根据GJB 1649规定的静电放电电压敏感的静电放电敏感元器件组件和设备的分级. 静

电放电敏感产品按敏感度电压被分级为:

静电敏感度级别

I级

II级

III级

静电敏感电压（人体模型—HBM）

0~1999V

2000~3999V

4000~15999V

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根据该项标准的规定，所要求的ESD控制大纲一般只包含对I和II级敏感产品的防护。现按照

元器件静电敏感度和生产线实际情况如下：

（1）LED芯片的静电敏感度相对较高，生产环境相对干燥, 凡是直接操作的半成品、

成品生产线均定为I级；

（2）仅仅是器件的存储和运输，也不需要严格的防静电措施，理由是产品在这个

时候没有被加工。把这些区域或车间定为II级；

（3）按照上述理由，现规定敏感级别为：

级别

I级

II级

区域

固焊车间、灌胶车间、模压车间、外观、分光、包装等

成品包装区域、仓库管理区域，生产仓，收料仓等

5.1.2公司内部由黄、黑双色斑马线围起的区域或门口挂有静电标示牌的车间为防静电工

作区。

5.2防静电工作区基本环境要求

5.2.1防静电工作区应保持洁净，避免有灰尘堆积或漂浮的状态发生；

5.2.2车间内温湿度的控制参考《环境管控作业指导书》；

5.2.3在不对产品造成有害影响的前提下，允许使用增湿设备喷洒制剂或水，以增加环境

湿度；

5.2.4防静电工作区应清楚标明区域界限以及警示标志；

5.2.5要求使用防静电地板或在普通地面上铺设防静电地垫，并保证有效接地，禁止直接

使用木制地板或铺设毛、麻、化纤地毯。

5.2.6天花板及墙壁使用防静电材料制品，一般情况下允许使用石膏制品或石灰涂料，禁

止使用普通塑料制品。

5.3防静电工作区接地系统

5.3.1应有独立可靠的接地装置，接地电阻一般应小于10欧姆，为保证人员安全，在与

人员直接接触的地方应加装1兆欧姆限流电阻。接地线的要求如下：

接地线

接地总线

截面积

≥100mm

2

的铜制导线

接地电阻 测试人员 要求

ESD线不得直

接接在电源零

线上，ESD线不

得与防雷地线

共用。

小于10欧姆 设备工程师/

技术员

小于10欧姆 设备工程师/

技术员

小于10欧姆 设备工程师/

技术员

接地支干线

≥6 mm

2

的铜制导线

设备和工作

≥1.25mm

2

的多股或单

台的接地线 股的铜制绝缘套导线

ESD地线应用绿色绝缘套标识，台垫等物品的接地配件按照来料的颜色使用。

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5.4防静电区域设备及辅料要求

I级区域

防静电安全工作台

防静电包装、运输工具

（料盒、防潮柜、运输车）

防静电手环

防静电工衣（帽）

防静电工鞋

离子风机

II级区域

防静电安全工作台

防静电包装、运输工具

（料盒、料箱、运输车）

防静电手环

防静电工衣（帽）

防静电工鞋

5.5防静电工作区的ESD技术要求

5.5.1防静电地板

（1）用防静电地板专用清洁剂或中性清洁用品定期进行清洁，严禁使用强酸、强

碱或能溶解PVC材料的化学溶剂进行清洗。

（2）严禁带有尖刺、粗糙的重物在地板表面擦划、拖拉。

（3）不能将酒精、胶水等物品撒落在ESD地板上，如发生以上情况，应立即清洁。

（4）地板安装时应满足的ESD技术指标包括：表面电阻值均在1E4~1E9欧姆范

围以内。

5.5.2防静电工作台

（1）防静电工作台基本要求和禁止项目

要求

工作台表面铺设防静电台垫，同时台垫必须

接地。

禁止

工作台上放置普通塑料盒（片）、橡皮、玻璃、

普通泡沫等容易产生静电的杂物.。

配备ESD地线、离子风机（可选）、和防静距离ESDS元器件30厘米以内有摩擦电压

电测试架 高于200V的物件。

（2）防静电台台面应满足ESD技术指标。表面电阻值在1E4~1E9欧姆范围以内。

5.5.3防静电包装

（1）防静电包装包括——ESDS原料包装袋（盒/盘）、装板的料盒等。

（2）防静电包装应满足ESD技术指标：表面电阻(包括内外表面)在1E4~1E11欧

姆范围。如果产品或产品的金属部分不直接与防静电包装接触，则允许防静电

包装的电阻小于1E4欧姆。

5.5.4防静电运输工具

（1）防静电运输工具包括—ESD运输车、ESD小推车等。

（2）为保护ESDS不受到外部强静电场的影响，运送ESDS的防静电运输工具应

由高导电性材料制作，车子经常固定时要求硬接地。防静电运输工具应满足

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ESD技术指标：表面电阻和对地电阻小于1E9欧姆。

（3）当运输车由不锈钢组成时，且经常移动时，其对地电阻应小于10欧姆。

（4）存放架的表面电阻和对地电阻应小于1E9欧姆。

5.5.5除静电离子风机

（1）当防静电区域内不可避免的需要使用会产生高静电的材料时，且该材料要求

被放置在离ESDS 30厘米内时，必须使用离子风机。

（2）对于不能接地又直接接触ESDS元件的物体，为保证其保持在零电位状态，

可以使用离子风机消除在这个过程中产生的静电。

（3）设备悬挂的离子风机的出风口不能有异物阻挡且离ESDS 20厘米左右。离子

风机的平衡电压和消电时间标准参考‘10.2.3’的要求。

（4）台式离子风机应放置在工作台上且离工作区域30厘米左右，以保证有足够的

覆盖范围和快速的静电消除。离子风机的平衡电压和消电时间标准参考

‘10.2.3’的要求。

（5）IPQC每月做一次离子风机平衡电压和消电时间测试，填写《离子风机检测记

录表》，对不符合要求的离子风机，应及时反馈相关部门处理。

5.5.6其它防静电物料及相关要求

（1）不在上面列出来的物料则按一般防静电要求，表面电阻在1E4~1E11欧姆内，

体积电阻在1E4~1E11欧姆内。

（2）特殊情况下，如果找不到合适的供应商，确认不会对产品构成ESD隐患的情

况下，可以引入表面电阻小于1E11欧姆的物料。

6.人体防静电系统与测试程序

6.1防静电手环

6.1.1直接接触ESDS的任何人员都应按规定佩带防静电手环。

6.1.2防静电手环的手环应是导电性的。

6.1.3使用人应每天一次测量防静电手环的性能，并且填写《防静电环检测记录表》，检查

不合格时应交由修理检修，不能修复时，应及时更换。

6.2防静电鞋/防静电鞋套

所有进入防静电区域的人员都应穿用防静电鞋/鞋套。

6.3防静电工作服

6.3.1防静电工作服包括——防静电连体衣、防静电大褂、防静电工鞋（鞋套）和工帽，

防静电工作服要求使用导电网格防静电绸制作，制造要求应符合GB 12014规定，

其各部分之间应存在电气连续性，防静电工作服的设计应能保持在穿着状态下与人

体皮肤直接或间接地接触。

6.3.2进入防静电区域时，防静电工作服、工鞋和工帽要求穿着整齐，全部纽扣（拉链）

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要系好（拉完全），头发必须包在工帽内，不能有外露。

6.3.3不同使用人员之防静电工作服按颜色区分：

人员

生产部作业员工

生产管理人员

品质部员工

设备人员

工程研发人员

外来人员

普通工作区域及10万级洁净室

白色的防静电服（帽）

粉红色的防静电服（帽）

蓝色的防静电服（帽）

黄色的防静电服（帽）

6.3.4购买防静电工衣时应满足ESD技术指标：表面电阻值（1E5欧姆~1E10欧姆）。

6.4防静电手套/指套

由消散性材料制成，人体穿戴电阻在1E5~1E11欧姆范围。

6.5人体综合接地测试系统

要求

电阻在范围以内

电阻超范围上限

电阻超范围下限

指示灯

绿灯

红灯

黄灯

每个进入防静电区域的人员须进行人体综合接地效果测试，如果亮红/黄灯，则表明测试

失败，应更换工鞋/鞋套或手环重新进行测试并通知相关人员。

6.6人员防静电一般要求

6.6.1要求进入防静电区的人员尽量穿着棉质衣物，尽量避免穿着尼龙等合成纤维制品，

以免产生强电场导致静电感应放电现象。

6.6.2接触静电敏感器件及组件之前应戴好防静电手环，要保证手环与皮肤接触良好，在

戴手环处皮肤上不得涂护肤油、防冻油等绝缘物质。

6.6.3手持静电敏感器件及组件时应避免接触其导电（金属管脚）部分，操作过程中应尽

量减少对静电敏感器件及组件的接触次数，不得一次倒出一堆散乱地放在工作台面

上。

6.6.4外来人员参观，必须有本公司人员全程陪同，按参观路线行进，不得随意走动，不

得进入机器外围的斑马线地标，更不得随意触摸产品。

7.培训

7.1对所有可能接触或接近ESDS的人员，必须进行相关的ESD知识培训，并加以教育与训

练，使之树立有效的ESD防护观念，培训的有效期为一年。

7.2防静电培训的内容包括：

7.2.1静电学基础和静电损害

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7.2.2静电性能测试

7.2.3防静电的标示与包装

7.2.4防静电设备的使用和检测（相关人员）

8.相关文件

《环境管控作业指导书》 WI-PD-015

9.相关记录

《防静电环检测记录表》 FM-PD-020

《每月机台接地阻抗记录表》 FM-EM-021

《离子风机检测记录表》 FM-QC-039

10.注意事项

10.1物体表面的静电压测量方法

使用静电压表去测量物体表面的静电压，仪表距离被测物大约2.5厘米。静电压表在使用的

过程中需要接地。静电压表的读数的单位为KV。测试图例如下:

测试间距/mm

被测物 测试仪

10.2悬挂式/台式离子风机测试方法

10.2.1测量悬挂式离子风机应使用标准的离子风机测试仪，在评估新引入的离子风机时

候需要测量平衡电压和消电时间。

测试间距/mm

测试仪

10.2.2对每一个点均应测量不少于三次，应纪录平衡电压的最大（偏移零点最远）值，

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消电时间纪录最大值。

10.2.3对新引入的悬挂式离子风机的要求列表：（消散电荷变化条件：1000V-100V）

测试位置

200mm中心

适用类型

悬挂式

（分光机、编带机

自带）

台式

（检验桌、扩晶台）

平衡电压(V)

0 + 10 V

消电时间 (S)

< 10s

300mm中心

0 + 30 V < 15s

10.3手套/手指套的测量方法

10.3.1穿戴对地电阻测试：操作员把测试仪的两个电极分别放在两块互相绝缘的金属板

上面, 然后操作员戴上手套/手指套。操作员把戴有手套/手指套的大拇指和食指分别

按住那两块金属板，然后按下测量开关，并等读数稳定后读出测试仪上的读数，并

记录下来。操作员分别用大拇指和其它的手指按住金属板，然后读出测试仪上的读

数，并记录下来。每一种手套/手指套均需要测量5个（含）以上的样品，每次测量

均记录最大值。

10.3.2人体穿戴电阻在1E5~1E11欧姆范围。

10.4防静电标准列表

测试对象

防静电台垫/地垫

小推车/周转车

防潮柜

设备/工作台接地电阻

厂房接地电阻

防静电手环

表面电阻

1E4~1E9

＜1E9

对地/穿戴电阻

小于10

小于10

小于10

小于10

小于10

绿灯（7.5E5 ~ 3.5E7）

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10.5防静电标识

见到此标识，则说明此工作区域或

产品是静电敏感的，进入此区域或

操作此产品时需要做好防静电准

备。

用黄黑相间的斜条纹隔开防静电工作区域与普通工作区域，线条宽度为5 ~ 10 cm，

如上图所示。

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