2024年8月26日发(作者：赛新翰)
D 31
出错信息数据表
报警信息“WXX”
- 黄灯点亮
- 蜂鸣器报警（如果该参数已设置，参阅C 50）
- 真空泵不停机
报警停机信息“DXX”
- 红灯点亮
- 蜂鸣器报警（如果该参数已设置，参阅C 50）
- 真空泵停机
ADP/ADS 系列2 – M4监控系统出错信息清单
报警“W” 报警停机
“D”
数字
XX
排气压力
附加温度
电机功率
模拟输入信号
数字输入信号1
数字输入信号2
速度控制
水流量
电源
电机温度
进气阀
N2 流量
数字输入信号3
D100
D120
D80
D130
D130
D130
D120
D90
D60-D80
D100
D120
D130
D90
D100
D100
D120
D10
D110
D110
D110
D110
错误信息 章节
X X 01
Opt 02
X X 03
Opt Opt 04
Opt Opt 05
Opt Opt 06
Opt Opt 07
X 08
X X 09
X X 10
X 11
Opt Opt 12
X X 13
X X 15
ADP温度高
X 16
ADP温度低
Load-Lock真空泵
Opt 18
X 19
X 20
SYS：1
SYS：2*
Load-Lock维护保养
Opt 28
Opt 29
罗茨泵维护保养
排气口维护保养
X 30
ADP低压端维护保养
X 31
X 32 ADP
维护保养
X 34
X 35
断路器
紧停
D110
D60
D60-D80
D80
D60-D80
D60-D80
D80
X 36
ADP接触器
Opt 37
罗茨泵断路器
X 38
ADP断路器
Opt 39
罗茨泵接触器
注：
X：标准管理
Opt：可选管理。只有当真空泵配置了该选项时才会显示。
*：如果显示该信息，请联系阿尔卡特高真空技术（上海）有限公司。
D 40
真空泵不启动-主开关显示灯不亮
故障
主电源绿色
显示灯不亮
原因
没有主电源
主开关在位置“0”
外部紧停功能锁住
真空泵紧停按钮锁住
CB1断路器开关关闭
CB2断路器开关关闭
外部主电源连接问题
主开关I1故障
接线问题
故障排除
检查主电源
将开关调到位置“1”
检查是否连接了J1接头，接头是否接线正
确
旋转在真空泵前端的紧停按钮
检查电流的设置（参阅D 10），并打开断路
器开关
打开断路器开关
检查开关I1的针脚3和5之间的电压（参
阅G 10），如果没有电压，检查主电源
检查I1开关的针脚4和6之间的电压，如
果没有电压，更换I1开关
检查CB1断路器针脚1和3之间的电压，
如果没有电压，检查I1开关和CB1之间的
接线
检查CB1断路器针脚6和2之间的电压，
如果没有电压，更换CB1断路器
根据当地电源检查变压器TR1的针脚1和
2，3，4，5，6或7之间的电压（参阅G 11），
如果没有电压，检查CB1和TR1之间的接
线
检查变压器TR1针脚8和9之间是否有
24V AC电压，如果没有，更换变压器TR1
检查变压器TR1针脚8和断路器CB2的针
脚1之间是否有24V AC电压（参阅G 11），
如果没有电压，检查TR1和CB2之间的接
线
检查变压器TR1的针脚8和断路器针脚2
之间是否有24V AC电压，如果没有，更换
CB2断路器
检查变压器TR1针脚8和J1针脚3之间是
否有24V AC电压，如果没有，检查CB2
和J1之间的接线
检查变压器TR1针脚8和J1针脚2之间是
否有24V AC电压，如果没有，检查EMO
接头和J1之间的接线
CB1断路器故障
没有主电源
接线问题
TR1变压器故障
接线问题
CB2断路器故障
接线问题
手动遥控器和紧停之间的
接线问题
手动遥控器和P5之间的接
线问题
J13和前端显示面板之间
的接线问题
检查变压器TR1针脚8和P5针脚5之间
是否有24V AC电压，如果没有，检查J1
和P5之间的接线
检查变压器TR1针脚8和前端显示面板的
紧停开关灰色线之间是否有24V AC电压，
如果没有，检查J13和前端显示面板之间
的接线
检查变压器TR1针脚8和前端显示面板的
紧停开关黑色线之间是否有24V AC电压，
如果没有，更换S1紧停开关
检查变压器TR1针脚8和J13针脚4之间
是否有24V AC电压，如果没有，检查J13
和前端显示面板之间的接线
检查变压器TR1针脚8和P5针脚3之间
是否有24V AC电压，如果没有，检查电控
箱
检查变压器TR1针脚8和V1针脚X2之间
是否有24V AC电压，如果没有，检查P5
和V1之间的接线
检查V1的针脚X1和X2之间是否有24V
AC电压，如果没有，检查变压器TR1和
V1之间的接线
更换显示灯V1的灯泡或整个V1
S1紧停故障
J13和前端显示面板之间
的接线问题
M4故障
主电源显示灯(V1)的接线
问题
主电源显示灯(V1)和变压
器之间的接线问题
故障并没有消失
D 50
真空泵不启动-手动遥控器显示不亮
故障
手动遥控器
显示不亮，但
主电源绿色
显示灯亮
原因
CB3断路器开关关闭
绞线没有准确连接
内部接线没有准确连接
变压器故障
变压器TR1和CB3断路器
之间的接线问题
断路器CB3故障
故障排除
打开CB3开关
检查接线
检查手动遥控器显示面板的J8或J9的连
接（参阅G 12和G 10）
检查变压器TR1的针脚10和11之间电压
是否为11V AC，如果没有，更换变压器
检查变压器TR1的针脚10和断路器CB3
针脚1之间电压是否为11V AC，如果没有，
检查TR1和CB3之间的接线
检查变压器TR1的针脚10和断路器CB3
针脚2之间电压是否为11V AC，如果没有，
更换CB3断路器
检查变压器TR1的针脚10和P5针脚2之
间电压是否为11V AC，如果没有，检查
CB3和P5之间的接线
检查P5针脚1和2之间是否电压为11V
AC，如果没有，检查TR1和P5之间的接
线
检查J9，J8或J4的针脚4和5（5接地）
之间电压是否为11V AC（参阅G 14），如
果没有，更换M4电控箱
检查手动遥控器上J1针脚4和5之间是否
电压为11V AC，如果没有电压，检查接线
更换手动遥控器
断路器CB3和P5之间的接
线问题
变压器TR1和P5之间的接
线问题
M4故障
手动遥控器接线问题
故障没有消失
D 60
真空泵不启动-手动遥控器显示信息或出错
故障
手动遥控器
显示以下信
息：
MONITOR
M4 D 9111
故障
手动遥控器
显示以下信
息：
WAIT ???
故障
手动遥控器显示以下信息：
XXH LOC.N2.
PUMPING STOPPED
MM/JJ/AA HH:MM
按任何键然后显示：
XXH LOC.N2.
COMMAND NOT ALLOWED
MM/JJ/AA HH:MM
原因
真空泵连接了
多个手动遥控
器
故障排除
z 只有一个手动遥控器可以控制真
空泵
z 按CONTROL键取消在其他手
动遥控器上的控制权
z 在想要进行控制的手动遥控器上
按CONTROL键
z 等待以下显示：
* XXH LOC.N2.
PUMPING STOPPED
MM/JJ/AA HH:MM
故障没有消除
故障
手动遥控器
显示以下信
息：
STOCK
原因
真空泵处于储藏模式
故障排除
将主开关调至“0”关闭真空泵，然后再打
开真空泵。
更换手动遥控器
原因
电控箱处于被控模式：
无手动遥控器
电控箱的软件版本和手动
遥控器不兼容
故障没有消除
故障排除
设置S2开关至位置“0”。
关闭10秒钟，再启动（参阅D 10）。
装载兼容的版本（参阅E 700）。
更换手动遥控器
原因
手动遥控器处于软件读取
设置状态
手动遥控器中并没有装载
软件
故障没有消除
故障排除
设置手动遥控器上的S1-1开关为“OFF”
（参阅C 10）。
关闭10秒钟，然后再打开。
根据电控箱装载软件（参阅E 700）
更换手动遥控器
故障
手动遥控器
显示以下信
息：
REM
故障
手动遥控器显示以
下报警：
W09/D09
POWER SUPPLY
原因
真空泵处于远程控制模式。
没有连接现场模式接头或
接线问题。
故障没有消除
故障排除
检查J14接头的接线（参阅B 100）。
更换M4电控箱
原因
主电源不正确
检查主电源
检查变压器的耦合
检查变压器TR1的针
脚12和13，以及13
和14之间电压是否为
16V AC（参阅G 10和
G 11）
故障排除
检查主电源
检查用户的安装。
参阅B 71
如果不是，更换变压器
检查P5的针脚7和8，如果不是，检查P5和TR1之间的接线。
以及6和7之间电压是
否为16V AC
断开电路中所有的模拟
传感器
故障没有消除
故障
手动遥控器显示以
下报警：
D34 BREAKER
ADS 1202
ADS 1802
没有短接LI2数字输入
信号
RT4断路器开关关闭
变频器盖没有安装
接线问题
故障
手动遥控器显示
以下报警：
D35
EMERGENCY
STOP
原因
真空泵紧停按钮激活
J13的针脚8和15短接
（参阅G 10）
紧停开关的粉红色和紫
色线短路
故障没有消除
故障排除
旋转前端面板上的紧停按钮进行解锁
更换M4电控箱
检查接线
更换紧停开关
故障没有消除
在电控箱尾部将LI2数字输入信号短接
打开RT4开关
关闭尾部端盖
检查LI2的接线并连接
更换M4电控箱
原因
M4设置不正确
故障排除
设置为“ADP 122”或“ADS 602”
确认哪一个传感器引起了该故障（压力还
是质量流量计）
更换M4电控箱
故障
手动遥控器显示
以下报警：
D38
ADP BREAKER
RT1的针脚13和14短路
（参阅G 10）
P2的针脚9和10短路
故障没有消除
故障
手动遥控器显示以下
报警：
D37
ROOTS BREAKER
RT2的针脚13和14短
路（参阅G 10）
P2的针脚4和5短路
故障没有消除
故障
手动遥控器显示以下报
警：
W01/D01
EXHAUST PRESSURE
检查J10的针脚7和8之
间电压是否为15V DC（8
位0V）（参阅G 12）
检查J10的针脚8和9之
间电压在排气压力为一
个大气压是否为1V DC
（8位0V）
没有电压
M4故障
在排气压力为大气压
时电压并不是1V
传感器故障
更换M4电控箱
原因
排气压力
>= 1500 mbar
故障排除
检查排气管道（参阅E 20）
原因
RT2断路器开关关闭
故障排除
z 检查设置为ADS选项
z 检查RT2的设置（参阅D 10）
z 打开RT2开关
更换RT2
检查RT2和P2之间的接线
更换M4电控箱
原因
RT1断路器开关关闭
故障排除
z 检查RT1设置（参阅D 10）
z 确认ADP并没有卡死
z 打开RT1开关
更换RT1
检查RT1和P2之间的接线
更换M4电控箱
更换压力传感器
D 70
真空泵启动但是罗茨泵不启动
故障
仅ADP泵启动，
手动遥控器没有
显示“ROOTS”
原因
M4设置不正确
罗茨泵的命令已设置为
“VALID”
按“ROOTS”键
故障
罗茨泵不启动，但
是手动遥控器上
显示“ROOTS”
信息
原因
罗茨泵的运行显示灯不
亮
变压器和电控箱之间的
接线问题
电控箱和KM2接触器之
间的接线问题
故障排除
检查罗茨泵的RP接头是否连接到M4电
控箱（参阅D 10）
检查变压器TR1的针脚8和P2的针脚1
之间是否电压为24V AC（参阅G 10和
G 11），如果没有电压，更换M4电控箱
检查变压器TR1的针脚8和接触器KM2
的针脚A1之间是否电压为24V AC，如
果没有电压，检查P2和KM2之间的接
线
检查接触器KM2的针脚A1和A2之间是
否电压为24V AC，如果没有电压，检查
TR1针脚8和KM2之间的接线
更换KM2接触器
故障排除
设置为“ADS”
z 如果罗茨泵单独启动/停止命令不必
要，请重新设置
z 设置罗茨泵命令“INVALID”
变压器TR1和接触器
KM2之间的接线问题
KM2接触器故障
D 80
真空泵运行但是显示报警或故障-电路问题
故障
手动遥控器显示以
下报警：
W09/D09
POWER SUPPLY
原因
主电源不正确
故障排除
检查主电源
检查连接
接线问题 检查P5的针脚6和7，以及7和8之间
是否有电压，如果没有，检查TR1和P5
之间的接线（参阅G 10）
检查TR1的针脚12和13，以及13和
14之间是否有电压，如果没有，更换TR1
变压器
更换造成故障的传感器
更换M4电控箱（参阅E 700）
变压器故障
逐个断开各个模拟
传感器
故障
手动遥控器显示以下报
警：
D 35
EMERGENCY STOP
短接J13的针脚8和15
短接紧停开关的粉红色
和紫色线
故障
手动遥控器显示以
下报警：
D 38
ADP BREAKER
短接RT1的针脚13
和14
短接P2的针脚9
和10
故障消失：
传感器故障
M4故障
原因
真空泵紧停按钮激活
故障排除
旋转前端面板上的紧停按钮进行解锁
故障没有消除：
M4故障
接线问题
故障没有消除
更换M4电控箱（参阅E 700）
检查紧停开关的接线（参阅G 10）
更换紧停开关
原因
RT1断路器开关关闭 z
z
z
z
故障排除
检查RT1的设置（参阅D 10）
确认ADP泵没有卡死（参阅E 30）
检查排气管道（参阅E 20）
检查电机的状况
更换RT1断路器（参阅G 10）
检查RT1和P2之间的接线
更换M4电控箱
故障消除：
断路器故障
故障消除：
接线问题
M4故障
故障
手动遥控器显示以下
报警：
D 37
ROOTS BREAKER
短接RT2的针脚13
和14
短接P2的针脚4和5
故障
手动遥控器显示以下
报警：
D 36
ADP CONTACTOR
检查TR1的针脚8和
P2的针脚6之间的电
压是否为24V AC（参
阅G 10）（几秒后按
START键）
检查TR1的针脚8和
KM1的针脚A1之间
的电压是否为24V
AC（参阅G 11）（几
秒后按START键）
检查KM1的针脚A1
和A2之间的电压是
否为24V AC（几秒后
按START键）
短接J13的针脚3和
4
短接紧停开关的灰色
和黑色线
没有电压:
M4故障
原因
KM1接触器没有闭合
故障排除
z 检查CB2（参阅D 10）
z 确认紧停接头的针脚2和3之间已
经短接（参阅B 110）
更换M4电控箱（参阅E 700）
故障消除：
断路器故障
故障消除：
接线问题
M4故障
更换RT2断路器（参阅G 10）
检查RT2和P2之间的接线
更换M4电控箱
原因
RT2断路器开关关闭
故障排除
z 检查RT2的设置（参阅D 10）
z 打开RT2的开关
没有电压：
接线问题
检查KM1，P2以及停电保护面板（选
配）之间的接线
没有电压：
接线问题
检查TR1和KM1之间的接线
接触器故障
故障消除：
M4故障
接线问题
紧停故障
更换KM1接触器
更换M4电控箱（参阅F 700）
检查紧停开关的接线（参阅G 10）
更换紧停开关（参阅F 540）
故障
手动遥控器显示以下报
警：
D 39
ROOTS CONTACTOR
检查TR1的针脚8和
P2的针脚1之间的电
压是否为24V AC（参
阅G 10和G 11）
检查TR1的针脚8和
KM2的针脚A1之间的
电压是否为24V AC
检查KM2的针脚A1和
A2之间的电压是否为
24V AC
短接J13的针脚3和4
短接紧停开关的灰色和
黑色线
故障
手动遥控器显示以下报
警：
W 03/D 03
MOTOR POWER
检查P3的针脚2和3
之间的电压（2 = 0V）
（参阅G 10）
功率 = 0
检查瓦特计的针脚26
和27之间的电压是否
为24V AC
检查瓦特计的针脚22
和23之间的电压
原因
KM2接触器没有闭合
故障排除
z 检查CB2（参阅D 10）
z 确认紧停接头的针脚2和3之间
已经短接（参阅B 110）
z 检查外部紧停开关（J1）
更换M4电控箱（参阅E 700） 没有电压：
M4故障
没有电压：
接线问题
没有电压：
接线问题
接触器故障
故障消除：
M4故障
接线问题
紧停故障
检查KM2，P2以及停电保护面板（选
配）之间的接线
检查TR1和KM2之间的接线
更换KM2接触器
更换M4电控箱（参阅F 700）
检查紧停开关的接线（参阅G 10）
更换紧停开关（参阅F 540）
原因
电机转向不正确
故障排除
检查真空泵的转向（参阅B 80）
电压 = 2 – 3 V DC：
M4故障
瓦特计故障
没有电压：
接线问题
M4故障
没有电压：
瓦特计故障
接线问题
更换M4电控箱（参阅E 700）
更换瓦特计
检查瓦特计，V1的针脚X2和KM1
的针脚A2之间的接线
更换M4电控箱（参阅E 700）
更换瓦特计
检查瓦特计的针脚22，23和P3之间
的接线
检查监控系统中报警值的设置
z 检查ADP泵的机械状况
（参阅E 30）
z 检查排气管道（参阅E 20）
功率 > 报警设置
报警设置不正确
机械故障
D 90
真空泵运行但是显示报警或故障-水气问题
故障
手动遥控器显示
以下报警：
W 08
WATER FLOW
检查J11的针脚
9和10之间是否
电压为24V AC
（参阅G 12）
短接J12的针脚
15和16
（参阅G 12）
没有电压：
M4故障
阀门故障或接线问题
水流量不足
水流量正确
传感器没有连接
故障消除：
传感器故障或接线问题
M4故障
原因
没有水流量
故障排除
z 检查冷却水供应
z 检查水阀是否连接到“Water Valve”
接口上（参阅D 10）
更换M4电控箱（参阅E 700）
检查接线或更换阀门
确认水阀，流量计以及管道没有堵住
z 检查流量计的设置（参阅B 50）
z 确认没有泄漏
确认流量计连接到“Water Flow”接口
上（参阅D 10）
检查接线或更换传感器
更换M4电控箱
故障
手动遥控器显示以下报
警：
W 13/D 13
N2 FLOW
原因
无氮气吹扫流量
故障排除
z 检查氮气供应
z 检查氮气阀是否连接到“Purge
Valve”接口上（参阅D 10）
z 检查氮气流量的设置（参阅B
60）
z 确认没有泄漏
检查报警值的设置
检查传感器是否连接到“Mass Flow
Sensor”接口上（参阅D 10）
更换M4电控箱（参阅E 700）
氮气流量不足
报警值设置不正确
传感器故障
检查氮气质量流量计，检
查：
z J10的针脚25和26
之间是否为+15V
z J10的针脚26和27
之间是否为-15V
（26 = 0V），（参阅G 12）
检查J10的针脚26和30
之间的电压（26 = 0V），
电压 = 流量/6 （slm）
没有电压：
M4故障
没有电压：
氮气质量流量计
MFS故障或接线问
题
M4故障
监控系统设置不正确
氮气吹扫阀故障
接线不正确
故障没有消除
检查接线或更换质量流量计
更换M4电控箱
检查设置
更换阀门
更换接线
更换M4电控箱
检查氮气吹扫阀
手动遥控器上的氮气吹
扫阀显示灯电亮
氮气吹扫阀上的显示灯
电亮
检查J11的针脚7和8之
间是否为24V AC
D 100
真空泵运行但是显示报警或故障-温度或传感器问题
故障
手动遥控器显示
以下报警：
W 10
MOTOR TEMP.
短接Mot. Temp.
接口的针脚11和
12（参阅G 12）
故障
手动遥控器显示
以下报警：
D 10
MOTOR TEMP.
（版本 > 1.03）
电机温度 > 150 ℃
传感器故障
原因
电机温度传感器没有连
接
故障排除
z 如果是ADS 602，检查是否有接头
或接线到LI4数字输入信号接口（参
阅D 10）
z 检查传感器和Mot. Temp. 接口之
间的接线（参阅D 10）
检查水流量是否报警（参阅D 90）
检查传感器和Mot. Temp. 接口之间的
接线（如果是ADS 602，罗茨泵的电机
温度传感器是否接到LI4接口）（参阅D
10）
检查接线或更换传感器
更换M4电控箱（参阅E 700）
传感器故障
故障消除：
传感器故障或接线问题
M4故障
检查传感器和Mot. Temp. 接口之间的
接线（参阅D 10）
检查接线或更换传感器
原因
电机温度 > 100 ℃
故障排除
检查水流量是否报警（参阅D 90）
更换M4电控箱（参阅E 700）
短接Mot. Temp.
接口的针脚9和
10以及LI4接口
的针脚13和14
（参阅G 12）
故障消除：
传感器故障或接线问题
M4故障
故障
手动遥控器显示
以下报警：
D 10
MOTOR TEMP.
（版本 < 1.03）
短接Mot. Temp.
接口的针脚9和
10（参阅G 12）
故障
手动遥控器显示以
下报警：
W 15
ADP TEMP. HIGH
真空泵温度 > 设
置温度 + 10 ℃
检查Therm. ADP
接口的针脚15和
16之间电压是否为
24V AC
（参阅G 12）
故障
手动遥控器显示以
下报警：
W 16
ADP TEMP. LOW
真空泵温度 < 设
置温度 - 10 ℃
故障
手动遥控器显示以下
报警：
D 15
ADP TEMP. HIGH
真空泵温度超出设置
温度+- 10 ℃的范围，
但是显示为
0 ℃或170 ℃
原因
传感器故障
电机温度 > 150 ℃
故障排除
检查传感器和Mot. Temp. 接口之间的
接线（参阅D 10）
检查水流量是否报警（参阅D 90）
故障消除：
传感器故障或接线问题
M4故障
检查接线或更换传感器
更换M4电控箱（参阅E 700）
原因
温度控制阀电源问题
冷却水问题
故障排除
检查温度控制阀和Therm. ADP 接口之
间的接线（参阅D 10）
检查水流量是否报警（参阅D 90）
没有电压：
M4故障
阀门故障或接线问题
更换M4电控箱（参阅E 700）
检查接线或更换阀门
原因
温度控制阀电源问题
阀门故障
故障排除
检查温度控制阀和Therm. ADP 接口之
间的接线（参阅D 10）
更换阀门
原因
温度传感器故障
故障排除
检查传感器和ADP. Temp接口之间的
接线（参阅D 10）
通过测量ADP. Temp
接口的针脚11和12
之间的电阻检查温度
传感器以及接线（参
阅G 12）：
0 ℃ = 100 欧
20 ℃ = 107.8 欧
50 ℃ = 119.4 欧
80 ℃ = 130.9 欧
100 ℃ = 138.5 欧
157 ℃ = 160 欧
故障
手动遥控器显示以下报
警：
D 15
ADP TEMP. HIGH
真空泵温度高于报警设
定值
检查Therm. ADP接口
的针脚15和16之间电
压是否为24V AC
（参阅G 12）
故障
手动遥控器显示以下报
警：
D 15
ADP TEMP. HIGH
真空泵温度低于报警设
定值
测量值正确：
M4故障
传感器故障或接线问题
更换M4电控箱（参阅E 700）
检查接线或更换传感器
原因
温度控制阀未连接
冷却水问题
故障排除
检查温度控制阀和Therm. ADP 接
口之间的接线（参阅D 10）
检查水流量是否报警（参阅D 90）
没有电压：
M4故障
阀门故障或接线问题
更换M4电控箱（参阅E 700）
检查接线或更换阀门
原因
温度传感器故障
故障排除
检查传感器和ADP. Temp接口之
间的接线（参阅D 10）
通过测量ADP. Temp接
口的针脚11和12之间的
电阻检查温度传感器以
及接线（参阅G 12）：
0 ℃ = 100 欧
20 ℃ = 107.8 欧
50 ℃ = 119.4 欧
80 ℃ = 130.9 欧
100 ℃ = 138.5 欧
157 ℃ = 160 欧
测量值正确：
M4故障
传感器故障或接线问题
更换M4电控箱（参阅E 700）
检查接线或更换传感器
故障
手动遥控器显示以下报
警：
W 01
Exhaust Pressure
原因
排气压力
> 1450 mbar (P/LM)
> 1650 mbar (H)
传感器故障
（P = 500 mbar）
检查Check Press接口
的针脚7和8之间的电压
是否为15V DC
（8 = 0V）（参阅G 12）
检查Check Press接口
的针脚8和9之间的电压
是否在大气压时为1V
（8 = 0V）
故障
手动遥控器显示以下报
警：
D 01
Exhaust Pressure
检查Check Press接口
的针脚7和8之间的电压
是否为15V DC
（8 = 0V）（参阅G 12）
检查Check Press接口
的针脚8和9之间的电压
是否在大气压时为1V
（8 = 0V）
传感器故障
（P = 500 mbar）
没有电压：
M4故障
原因
排气压力
> 1990 mbar
故障排除
z 检查N2流量设定值
（参阅B 60）
z 检查排气管道
检查传感器和Check Press 接口
之间的接线
更换M4电控箱（参阅E 700）
没有电压：
M4故障
故障排除
z 检查N2流量设定值
（参阅B 60）
z 检查排气管道
检查传感器和Check Press 接口
之间的接线
更换M4电控箱（参阅E 700）
压力在大气压时测量值
不是1V：
传感器故障或接线问题
M4故障
检查接线或更换传感器
更换M4电控箱
压力在大气压时测量值
不是1V：
传感器故障或接线问题
M4故障
检查接线或更换传感器
更换M4电控箱
D 110
真空泵运行但是显示报警或故障-维护保养问题
故障
手动遥控器显示以下报警：
W32 ADP MAINT.
W31 ADP LP MAINT.
W30 EXHAUST MAINT.
W29 ROOTS MAINT.
W28 LOAD LOCK MAINT.
原因
达到了维护保养的设定
报警值
故障排除
z 检查维护保养的设定值
z 进行保养并将数值复位
D 120
真空泵运行但是显示报警或故障-选配和附件问题
故障
手动遥控器显示以下
报警：
W11 INLET VALVE
进气口没有安装进气
阀
进气口安装了进气阀
短接INLET VALVE
接口的针脚3和4（参
阅G 12）并再次启动
故障
手动遥控器显示以下报警：
W02 AUX. TEMPERATURE
“Aux temperature”输入信
号没有使用
“Aux temperature”输入信
号使用
监控系统设置不正确
传感器选择不正确
温度小于报警值低点或
高于报警值高点
确认“AUX TEMPERATURE”
选项没有激活
确认传感器为PT100形式
z 确认测量温度是否与显示
值一致
z 确认报警设定值
原因
故障排除
监控系统设置不正确
阀门在停机时不关闭或
在开机时不打开
泵启动时故障消除：
阀门故障或接线问题
M4故障
确认“INLET VALVE OPTION”选项
没有激活
z 检查压缩空气的供应
z 检查阀门的状态
检查接线或更换阀门
更换M4电控箱（参阅E 700）
原因
故障排除
接线不正确
z 检查传感器和“Aux
（显示温度 = 170 ℃）Temp.”接口之间的接线
z 重新连接（参阅D 10）
通过测量Aux. Temp接口的
针脚17和18之间的电阻检
查温度传感器以及接线
（参阅G 12）：
0 ℃ = 100 欧
20 ℃ = 107.8 欧
50 ℃ = 119.4 欧
80 ℃ = 130.9 欧
100 ℃ = 138.5 欧
157 ℃ = 160 欧
测量值正确：
M4故障
传感器故障或接线问题
更换M4电控箱（参阅E 700）
检查接线或更换传感器
故障
手动遥控器显示以下报警：
W07 SPEED CONTROL
变频器选项未使用
罗茨泵没有运行在额定转速
监控系统设置不正确
机械故障
确认“SYSTEM SELECT”菜
单设置正确
z 确认罗茨泵没有卡死
（参阅E 30）
z 检查排气管道的状况
检查电机的输入电压，如果正
确，则更换电机
检查接线
更换变频器
检查传感器和“RP”接口之间
的接线（参阅D 10）
更换M4电控箱（参阅E 700）
原因
故障排除
罗茨泵不运转 电机故障
变频器接线不正确
变频器故障
罗茨泵运转在额定转速 传感器问题
M4故障
故障
手动遥控器显示以下报警：
D07 SPEED CONTROL
（仅用于ADS 1802）
A 300泵没有运转在额定转
速
A 300泵不运转
机械故障
原因
监控系统设置不正确
故障排除
确认“SYSTEM SELECT”菜
单设置正确
z 确认泵没有卡死
（参阅E 30）
z 检查排气管道的状况
检查电机的输入电压，如果正
确，则更换电机
检查接线
更换变频器
电机故障
变频器接线不正确
变频器故障
D 130
真空泵运行但是显示报警或故障-模拟或数字输入信号问题
故障
手动遥控器显示以下报警：
W05/D05 LOGIC INPUT 1
W06/D06 LOGIC INPUT 2
W12/D12 LOGIC INPUT 3
数字输入信号未使用
数字输入信号已使用
监控系统设置不正确
监控系统设置不正确
确认“LI1 LOG INPUT”（或
LI2或LI3）没有激活
z 确认报警和报警停机的延
时
z 检查传感器
检查接线
更换M4电控箱（参阅E 700）
原因
故障排除
短接LI1接口的针脚3和4，
或短接LI3接口的针脚5和
6，或断开LI2接口的针脚1
和2（参阅G 12）
故障
手动遥控器显示以下报警：
W04/D04 ANALOG INPUT
模拟输入信号没有使用
模拟输入信号已使用
确认在ANA. INPUT接口的
针脚4和5测到的直流电压信
号与M4显示上的数值相一致
（参阅G 12）
故障消除：
接线问题
M4故障
原因
监控系统设置不正确
监控系统设置不正确
两者相符：
传感器故障
M4故障
故障排除
确认“ANALOG INPUT”设置
没有激活
确认报警设置点
更换传感器
更换M4电控箱（参阅E 700）
D 140
真空泵运行-没有任何信息
故障
真空度不够或没有真空
机械噪音大
原因 故障排除
真空泵污染或卡死 ADP泵的维修
（参阅E 70）
内部漏油 ADP泵的维修
（参阅E 70）
球轴承损坏 ADP泵的维修
（参阅E 70）
转子卡死 ADP泵的维修
（参阅E 70）
齿轮损坏 ADP泵的维修
（参阅E 70）
没有N2吹扫 设置不正确 重新设置M4（PURGE CMD
ENABLED）或手动设置吹扫
（使用手动遥控器上的
PURGE键）
E 10
真空泵的放油
z 在操作之前了解安全指导（参阅D 00）
z 一些特别的气体在接触到油之后会变得有腐蚀性和有毒。在处理用过的油或脏油时请始
终戴好手套，将油排放到密闭的容器中，不要呼吸到油蒸汽。请始终戴好呼吸面罩。
z 请始终根据当地的环境保护法和规章制度正确的处理使用过的油或脏油以及其他副产
品。
油箱的放油
松开加油塞（1），以释放邮箱内的压力。
移开放油塞（2），将油放到密封的容器内（容量大约为0.5升）。
注意：罗茨泵有2个油箱。每个油箱都需要如上操作。
将放油塞（2）以及密封件重新安装到原位。
E 510
基本的注意事项
建议用户在进行任何的维护保养工作之能先了解以下注意事项。
针对腐蚀性气体的注意事项
真空泵内残留的工艺气体可能会造成严重伤害甚至于死亡。在搬动真空泵之前，通过机台
对真空泵继续进行N2吹扫30分钟以上。N2的压力和流量应当与在工艺时编辑的数据相
同。
在搬动真空泵时，操作者可能会因为接触到排气口上的残留工艺介质而造成严重伤害甚至
与死亡。请咨询相关安全部门相应的地方安全指导。
建议用户：
z 请用干燥氮气对真空泵进行吹扫。如果氮气吹扫命令已经设置，当真空泵停机（正常停
机或是因为故障而停机）时，氮气吹扫会自动进行。
如果不是这样的情况，则必须：
- 如果真空泵为远程控制模式，将连接在泵尾部的远程控制接头断开，连接上随泵发送的
现场模式接头。
- 调节M4监控系统中的参数，将氮气延时吹扫时间设置为10分钟。
- 按START键，然后再按STOP键，氮气吹扫在泵停后自动进行。
z 戴好手套以及保护装置，必要的话，戴上呼吸面罩。
z 确保现场的通风。
z 不要随意地分解残留物，必要的话，请联系专门进行回收或处理这些物质的机构。
z 准备好进气口和排气口的法兰，在泵发送的过程中需要将它们安装在进气口和排气口
上。如果没有法兰的话，请联系阿尔法特高真空技术（上海）有限公司。
E 520
冷却水的排放
连接冷却水路
z 断开冷却水进水口和出水口的快速接头。
z 由于冷却水路上配置了水阀（常关），冷却水的排放必须在真空泵运行状态下进行（这
样阀才能打开）。
z 准备一段带1/4英寸快速公接头的软管（A），以及一段带1/4英寸快速母接头的软管（B）
（与压缩空气相连）。
z 松开真空泵冷却水进水口和出水口的接头。
z 将软管（A）连接到真空泵的出水口，然后将软管的另一端连接到一个容器中（容量不
超过1升）。
z 将软管（B）连接到真空泵的进水口，然后另一端连接到压缩空气（2-5 bar）。
z 当冷却水被排出后，迅速关闭真空泵并断开软管（A）和软管（B）的连接。
该操作必须迅速进行，因为真空泵在没有冷却水冷却的状态下运行几分钟就会过热并进入
报警或报警停机状态。
排放冷却水
z 打开真空泵（主开关为“1”）
z 在监控系统的DEFINITION菜单中设置THERM. ADP OPTION为INVALID
z 按START键，将压缩空气连接至进水口，真空泵继续运行直到冷却水被完全排出（或
检查流量计中已经没有水）
z 按STOP键，然后按ENTER确认
z 再次进入DEFINITION菜单，设置THERM. ADP OPTION为VALID
E 530
保存真空泵的设置
保留真空泵中的参数并拷贝到新的真空泵上，可以确保运行参数的一致性。我们建议客户不
要将手动遥控器退回我们的维修中心。
z 处于安全的考虑，请在真空泵停机但主开关依然打开时进行以下操作。
设置参数的保存
真空泵的设置参数都保存在M4监控系统的内部电控箱内。
按SET键进入菜单。
按 + 键选择到MANAGEMENT选项，并按ENTER进入该选项。
按 + 键选择到CONFIG. SAVE选项，并按ENTER进入该选项。
真空泵的设置参数被复制到手动遥控器的记忆中。
按SET键退出设置模式并回到主菜单。
断开手动遥控器的连接。
E 540
从安装位置移开真空泵
首先阅读以下基本的注意事项（参阅E 510）。
关闭真空泵
将主开关位置设为“0”，将真空泵关闭。
断开客户的主断路器。
将主电源插头断开。如果主电源线是直接连接到泵的电气箱内部的话，将主电源线和内部端
子断开。（参阅B 70）
断开各部分的连接
断开氮气快速接头。
断开电路接口面板上的所有接头。切勿忘记将随泵发送的“远程控制”和“紧停”接头连接
到真空泵上。
将真空泵和进气口管道断开，在真空泵的进气口上安装保护法兰。
将真空泵和排气管道断开，在真空泵的排气口上安装保护法兰。
收起真空泵的支撑脚以及防振垫（如果安装了的话）。
将真空泵从安装位置移开。
E 550
发送前真空泵的设置
真空泵内残留的工艺气体可能会造成严重伤害甚至于死亡。在搬动真空泵之前，通过机台
对真空泵继续进行N2吹扫30分钟以上。N2的压力和流量应当与在工艺时编辑的数据相
同。
在搬动真空泵时，操作者可能会因为接触到排气口上的残留工艺介质而造成严重伤害甚至
与死亡。请咨询相关安全部门相应的地方安全指导。
真空泵发送前的准备工作
真空泵在发送前必须对真空泵充入干燥氮气（参阅E 510）。
进气口
将第一次随泵发送的连接元件安装到真空泵上。如果必要的话，关于连接元件，请询问阿尔
卡特高真空技术（上海）有限公司。
进气口盲法兰
中心环
快卸卡箍
双爪钩头螺钉（4个/套）
1/8 气体接头
排气口
DN 50 ISO-KF (ADP) DN 100 ISO-K (ADS)
106314 090467
087168 068349
303003 -
- 303056
082981 082981
盲法兰
中心环
快卸卡箍
DN 40 ISO-KF
068197
068230
303002
为真空泵充入氮气
用以上法兰将进气口盲死。然后连接氮气到气体接头上。
z 向真空泵充入氮气，直到压力达到1.5 bar
z 当氮气从排气口排出后，用以上附件将排气口密封
z 断开氮气的连接
填写安全询问表（参阅E 560）。
ADS 602的进气口法兰连接
z 移开2个吊环，安装压板
z 重新安装上吊环并上紧
z 将法兰板用螺钉安装到压板上
z 将法兰板定位在进气口上，并上紧钩头螺钉
z 然后上紧所有的螺钉
E 560
安全询问表
将阿尔卡特真空泵或检漏仪退回维修中心，需要填写以下安全询问表。
2024年8月26日发(作者：赛新翰)
D 31
出错信息数据表
报警信息“WXX”
- 黄灯点亮
- 蜂鸣器报警（如果该参数已设置，参阅C 50）
- 真空泵不停机
报警停机信息“DXX”
- 红灯点亮
- 蜂鸣器报警（如果该参数已设置，参阅C 50）
- 真空泵停机
ADP/ADS 系列2 – M4监控系统出错信息清单
报警“W” 报警停机
“D”
数字
XX
排气压力
附加温度
电机功率
模拟输入信号
数字输入信号1
数字输入信号2
速度控制
水流量
电源
电机温度
进气阀
N2 流量
数字输入信号3
D100
D120
D80
D130
D130
D130
D120
D90
D60-D80
D100
D120
D130
D90
D100
D100
D120
D10
D110
D110
D110
D110
错误信息 章节
X X 01
Opt 02
X X 03
Opt Opt 04
Opt Opt 05
Opt Opt 06
Opt Opt 07
X 08
X X 09
X X 10
X 11
Opt Opt 12
X X 13
X X 15
ADP温度高
X 16
ADP温度低
Load-Lock真空泵
Opt 18
X 19
X 20
SYS：1
SYS：2*
Load-Lock维护保养
Opt 28
Opt 29
罗茨泵维护保养
排气口维护保养
X 30
ADP低压端维护保养
X 31
X 32 ADP
维护保养
X 34
X 35
断路器
紧停
D110
D60
D60-D80
D80
D60-D80
D60-D80
D80
X 36
ADP接触器
Opt 37
罗茨泵断路器
X 38
ADP断路器
Opt 39
罗茨泵接触器
注：
X：标准管理
Opt：可选管理。只有当真空泵配置了该选项时才会显示。
*：如果显示该信息，请联系阿尔卡特高真空技术（上海）有限公司。
D 40
真空泵不启动-主开关显示灯不亮
故障
主电源绿色
显示灯不亮
原因
没有主电源
主开关在位置“0”
外部紧停功能锁住
真空泵紧停按钮锁住
CB1断路器开关关闭
CB2断路器开关关闭
外部主电源连接问题
主开关I1故障
接线问题
故障排除
检查主电源
将开关调到位置“1”
检查是否连接了J1接头，接头是否接线正
确
旋转在真空泵前端的紧停按钮
检查电流的设置（参阅D 10），并打开断路
器开关
打开断路器开关
检查开关I1的针脚3和5之间的电压（参
阅G 10），如果没有电压，检查主电源
检查I1开关的针脚4和6之间的电压，如
果没有电压，更换I1开关
检查CB1断路器针脚1和3之间的电压，
如果没有电压，检查I1开关和CB1之间的
接线
检查CB1断路器针脚6和2之间的电压，
如果没有电压，更换CB1断路器
根据当地电源检查变压器TR1的针脚1和
2，3，4，5，6或7之间的电压（参阅G 11），
如果没有电压，检查CB1和TR1之间的接
线
检查变压器TR1针脚8和9之间是否有
24V AC电压，如果没有，更换变压器TR1
检查变压器TR1针脚8和断路器CB2的针
脚1之间是否有24V AC电压（参阅G 11），
如果没有电压，检查TR1和CB2之间的接
线
检查变压器TR1的针脚8和断路器针脚2
之间是否有24V AC电压，如果没有，更换
CB2断路器
检查变压器TR1针脚8和J1针脚3之间是
否有24V AC电压，如果没有，检查CB2
和J1之间的接线
检查变压器TR1针脚8和J1针脚2之间是
否有24V AC电压，如果没有，检查EMO
接头和J1之间的接线
CB1断路器故障
没有主电源
接线问题
TR1变压器故障
接线问题
CB2断路器故障
接线问题
手动遥控器和紧停之间的
接线问题
手动遥控器和P5之间的接
线问题
J13和前端显示面板之间
的接线问题
检查变压器TR1针脚8和P5针脚5之间
是否有24V AC电压，如果没有，检查J1
和P5之间的接线
检查变压器TR1针脚8和前端显示面板的
紧停开关灰色线之间是否有24V AC电压，
如果没有，检查J13和前端显示面板之间
的接线
检查变压器TR1针脚8和前端显示面板的
紧停开关黑色线之间是否有24V AC电压，
如果没有，更换S1紧停开关
检查变压器TR1针脚8和J13针脚4之间
是否有24V AC电压，如果没有，检查J13
和前端显示面板之间的接线
检查变压器TR1针脚8和P5针脚3之间
是否有24V AC电压，如果没有，检查电控
箱
检查变压器TR1针脚8和V1针脚X2之间
是否有24V AC电压，如果没有，检查P5
和V1之间的接线
检查V1的针脚X1和X2之间是否有24V
AC电压，如果没有，检查变压器TR1和
V1之间的接线
更换显示灯V1的灯泡或整个V1
S1紧停故障
J13和前端显示面板之间
的接线问题
M4故障
主电源显示灯(V1)的接线
问题
主电源显示灯(V1)和变压
器之间的接线问题
故障并没有消失
D 50
真空泵不启动-手动遥控器显示不亮
故障
手动遥控器
显示不亮，但
主电源绿色
显示灯亮
原因
CB3断路器开关关闭
绞线没有准确连接
内部接线没有准确连接
变压器故障
变压器TR1和CB3断路器
之间的接线问题
断路器CB3故障
故障排除
打开CB3开关
检查接线
检查手动遥控器显示面板的J8或J9的连
接（参阅G 12和G 10）
检查变压器TR1的针脚10和11之间电压
是否为11V AC，如果没有，更换变压器
检查变压器TR1的针脚10和断路器CB3
针脚1之间电压是否为11V AC，如果没有，
检查TR1和CB3之间的接线
检查变压器TR1的针脚10和断路器CB3
针脚2之间电压是否为11V AC，如果没有，
更换CB3断路器
检查变压器TR1的针脚10和P5针脚2之
间电压是否为11V AC，如果没有，检查
CB3和P5之间的接线
检查P5针脚1和2之间是否电压为11V
AC，如果没有，检查TR1和P5之间的接
线
检查J9，J8或J4的针脚4和5（5接地）
之间电压是否为11V AC（参阅G 14），如
果没有，更换M4电控箱
检查手动遥控器上J1针脚4和5之间是否
电压为11V AC，如果没有电压，检查接线
更换手动遥控器
断路器CB3和P5之间的接
线问题
变压器TR1和P5之间的接
线问题
M4故障
手动遥控器接线问题
故障没有消失
D 60
真空泵不启动-手动遥控器显示信息或出错
故障
手动遥控器
显示以下信
息：
MONITOR
M4 D 9111
故障
手动遥控器
显示以下信
息：
WAIT ???
故障
手动遥控器显示以下信息：
XXH LOC.N2.
PUMPING STOPPED
MM/JJ/AA HH:MM
按任何键然后显示：
XXH LOC.N2.
COMMAND NOT ALLOWED
MM/JJ/AA HH:MM
原因
真空泵连接了
多个手动遥控
器
故障排除
z 只有一个手动遥控器可以控制真
空泵
z 按CONTROL键取消在其他手
动遥控器上的控制权
z 在想要进行控制的手动遥控器上
按CONTROL键
z 等待以下显示：
* XXH LOC.N2.
PUMPING STOPPED
MM/JJ/AA HH:MM
故障没有消除
故障
手动遥控器
显示以下信
息：
STOCK
原因
真空泵处于储藏模式
故障排除
将主开关调至“0”关闭真空泵，然后再打
开真空泵。
更换手动遥控器
原因
电控箱处于被控模式：
无手动遥控器
电控箱的软件版本和手动
遥控器不兼容
故障没有消除
故障排除
设置S2开关至位置“0”。
关闭10秒钟，再启动（参阅D 10）。
装载兼容的版本（参阅E 700）。
更换手动遥控器
原因
手动遥控器处于软件读取
设置状态
手动遥控器中并没有装载
软件
故障没有消除
故障排除
设置手动遥控器上的S1-1开关为“OFF”
（参阅C 10）。
关闭10秒钟，然后再打开。
根据电控箱装载软件（参阅E 700）
更换手动遥控器
故障
手动遥控器
显示以下信
息：
REM
故障
手动遥控器显示以
下报警：
W09/D09
POWER SUPPLY
原因
真空泵处于远程控制模式。
没有连接现场模式接头或
接线问题。
故障没有消除
故障排除
检查J14接头的接线（参阅B 100）。
更换M4电控箱
原因
主电源不正确
检查主电源
检查变压器的耦合
检查变压器TR1的针
脚12和13，以及13
和14之间电压是否为
16V AC（参阅G 10和
G 11）
故障排除
检查主电源
检查用户的安装。
参阅B 71
如果不是，更换变压器
检查P5的针脚7和8，如果不是，检查P5和TR1之间的接线。
以及6和7之间电压是
否为16V AC
断开电路中所有的模拟
传感器
故障没有消除
故障
手动遥控器显示以
下报警：
D34 BREAKER
ADS 1202
ADS 1802
没有短接LI2数字输入
信号
RT4断路器开关关闭
变频器盖没有安装
接线问题
故障
手动遥控器显示
以下报警：
D35
EMERGENCY
STOP
原因
真空泵紧停按钮激活
J13的针脚8和15短接
（参阅G 10）
紧停开关的粉红色和紫
色线短路
故障没有消除
故障排除
旋转前端面板上的紧停按钮进行解锁
更换M4电控箱
检查接线
更换紧停开关
故障没有消除
在电控箱尾部将LI2数字输入信号短接
打开RT4开关
关闭尾部端盖
检查LI2的接线并连接
更换M4电控箱
原因
M4设置不正确
故障排除
设置为“ADP 122”或“ADS 602”
确认哪一个传感器引起了该故障（压力还
是质量流量计）
更换M4电控箱
故障
手动遥控器显示
以下报警：
D38
ADP BREAKER
RT1的针脚13和14短路
（参阅G 10）
P2的针脚9和10短路
故障没有消除
故障
手动遥控器显示以下
报警：
D37
ROOTS BREAKER
RT2的针脚13和14短
路（参阅G 10）
P2的针脚4和5短路
故障没有消除
故障
手动遥控器显示以下报
警：
W01/D01
EXHAUST PRESSURE
检查J10的针脚7和8之
间电压是否为15V DC（8
位0V）（参阅G 12）
检查J10的针脚8和9之
间电压在排气压力为一
个大气压是否为1V DC
（8位0V）
没有电压
M4故障
在排气压力为大气压
时电压并不是1V
传感器故障
更换M4电控箱
原因
排气压力
>= 1500 mbar
故障排除
检查排气管道（参阅E 20）
原因
RT2断路器开关关闭
故障排除
z 检查设置为ADS选项
z 检查RT2的设置（参阅D 10）
z 打开RT2开关
更换RT2
检查RT2和P2之间的接线
更换M4电控箱
原因
RT1断路器开关关闭
故障排除
z 检查RT1设置（参阅D 10）
z 确认ADP并没有卡死
z 打开RT1开关
更换RT1
检查RT1和P2之间的接线
更换M4电控箱
更换压力传感器
D 70
真空泵启动但是罗茨泵不启动
故障
仅ADP泵启动，
手动遥控器没有
显示“ROOTS”
原因
M4设置不正确
罗茨泵的命令已设置为
“VALID”
按“ROOTS”键
故障
罗茨泵不启动，但
是手动遥控器上
显示“ROOTS”
信息
原因
罗茨泵的运行显示灯不
亮
变压器和电控箱之间的
接线问题
电控箱和KM2接触器之
间的接线问题
故障排除
检查罗茨泵的RP接头是否连接到M4电
控箱（参阅D 10）
检查变压器TR1的针脚8和P2的针脚1
之间是否电压为24V AC（参阅G 10和
G 11），如果没有电压，更换M4电控箱
检查变压器TR1的针脚8和接触器KM2
的针脚A1之间是否电压为24V AC，如
果没有电压，检查P2和KM2之间的接
线
检查接触器KM2的针脚A1和A2之间是
否电压为24V AC，如果没有电压，检查
TR1针脚8和KM2之间的接线
更换KM2接触器
故障排除
设置为“ADS”
z 如果罗茨泵单独启动/停止命令不必
要，请重新设置
z 设置罗茨泵命令“INVALID”
变压器TR1和接触器
KM2之间的接线问题
KM2接触器故障
D 80
真空泵运行但是显示报警或故障-电路问题
故障
手动遥控器显示以
下报警：
W09/D09
POWER SUPPLY
原因
主电源不正确
故障排除
检查主电源
检查连接
接线问题 检查P5的针脚6和7，以及7和8之间
是否有电压，如果没有，检查TR1和P5
之间的接线（参阅G 10）
检查TR1的针脚12和13，以及13和
14之间是否有电压，如果没有，更换TR1
变压器
更换造成故障的传感器
更换M4电控箱（参阅E 700）
变压器故障
逐个断开各个模拟
传感器
故障
手动遥控器显示以下报
警：
D 35
EMERGENCY STOP
短接J13的针脚8和15
短接紧停开关的粉红色
和紫色线
故障
手动遥控器显示以
下报警：
D 38
ADP BREAKER
短接RT1的针脚13
和14
短接P2的针脚9
和10
故障消失：
传感器故障
M4故障
原因
真空泵紧停按钮激活
故障排除
旋转前端面板上的紧停按钮进行解锁
故障没有消除：
M4故障
接线问题
故障没有消除
更换M4电控箱（参阅E 700）
检查紧停开关的接线（参阅G 10）
更换紧停开关
原因
RT1断路器开关关闭 z
z
z
z
故障排除
检查RT1的设置（参阅D 10）
确认ADP泵没有卡死（参阅E 30）
检查排气管道（参阅E 20）
检查电机的状况
更换RT1断路器（参阅G 10）
检查RT1和P2之间的接线
更换M4电控箱
故障消除：
断路器故障
故障消除：
接线问题
M4故障
故障
手动遥控器显示以下
报警：
D 37
ROOTS BREAKER
短接RT2的针脚13
和14
短接P2的针脚4和5
故障
手动遥控器显示以下
报警：
D 36
ADP CONTACTOR
检查TR1的针脚8和
P2的针脚6之间的电
压是否为24V AC（参
阅G 10）（几秒后按
START键）
检查TR1的针脚8和
KM1的针脚A1之间
的电压是否为24V
AC（参阅G 11）（几
秒后按START键）
检查KM1的针脚A1
和A2之间的电压是
否为24V AC（几秒后
按START键）
短接J13的针脚3和
4
短接紧停开关的灰色
和黑色线
没有电压:
M4故障
原因
KM1接触器没有闭合
故障排除
z 检查CB2（参阅D 10）
z 确认紧停接头的针脚2和3之间已
经短接（参阅B 110）
更换M4电控箱（参阅E 700）
故障消除：
断路器故障
故障消除：
接线问题
M4故障
更换RT2断路器（参阅G 10）
检查RT2和P2之间的接线
更换M4电控箱
原因
RT2断路器开关关闭
故障排除
z 检查RT2的设置（参阅D 10）
z 打开RT2的开关
没有电压：
接线问题
检查KM1，P2以及停电保护面板（选
配）之间的接线
没有电压：
接线问题
检查TR1和KM1之间的接线
接触器故障
故障消除：
M4故障
接线问题
紧停故障
更换KM1接触器
更换M4电控箱（参阅F 700）
检查紧停开关的接线（参阅G 10）
更换紧停开关（参阅F 540）
故障
手动遥控器显示以下报
警：
D 39
ROOTS CONTACTOR
检查TR1的针脚8和
P2的针脚1之间的电
压是否为24V AC（参
阅G 10和G 11）
检查TR1的针脚8和
KM2的针脚A1之间的
电压是否为24V AC
检查KM2的针脚A1和
A2之间的电压是否为
24V AC
短接J13的针脚3和4
短接紧停开关的灰色和
黑色线
故障
手动遥控器显示以下报
警：
W 03/D 03
MOTOR POWER
检查P3的针脚2和3
之间的电压（2 = 0V）
（参阅G 10）
功率 = 0
检查瓦特计的针脚26
和27之间的电压是否
为24V AC
检查瓦特计的针脚22
和23之间的电压
原因
KM2接触器没有闭合
故障排除
z 检查CB2（参阅D 10）
z 确认紧停接头的针脚2和3之间
已经短接（参阅B 110）
z 检查外部紧停开关（J1）
更换M4电控箱（参阅E 700） 没有电压：
M4故障
没有电压：
接线问题
没有电压：
接线问题
接触器故障
故障消除：
M4故障
接线问题
紧停故障
检查KM2，P2以及停电保护面板（选
配）之间的接线
检查TR1和KM2之间的接线
更换KM2接触器
更换M4电控箱（参阅F 700）
检查紧停开关的接线（参阅G 10）
更换紧停开关（参阅F 540）
原因
电机转向不正确
故障排除
检查真空泵的转向（参阅B 80）
电压 = 2 – 3 V DC：
M4故障
瓦特计故障
没有电压：
接线问题
M4故障
没有电压：
瓦特计故障
接线问题
更换M4电控箱（参阅E 700）
更换瓦特计
检查瓦特计，V1的针脚X2和KM1
的针脚A2之间的接线
更换M4电控箱（参阅E 700）
更换瓦特计
检查瓦特计的针脚22，23和P3之间
的接线
检查监控系统中报警值的设置
z 检查ADP泵的机械状况
（参阅E 30）
z 检查排气管道（参阅E 20）
功率 > 报警设置
报警设置不正确
机械故障
D 90
真空泵运行但是显示报警或故障-水气问题
故障
手动遥控器显示
以下报警：
W 08
WATER FLOW
检查J11的针脚
9和10之间是否
电压为24V AC
（参阅G 12）
短接J12的针脚
15和16
（参阅G 12）
没有电压：
M4故障
阀门故障或接线问题
水流量不足
水流量正确
传感器没有连接
故障消除：
传感器故障或接线问题
M4故障
原因
没有水流量
故障排除
z 检查冷却水供应
z 检查水阀是否连接到“Water Valve”
接口上（参阅D 10）
更换M4电控箱（参阅E 700）
检查接线或更换阀门
确认水阀，流量计以及管道没有堵住
z 检查流量计的设置（参阅B 50）
z 确认没有泄漏
确认流量计连接到“Water Flow”接口
上（参阅D 10）
检查接线或更换传感器
更换M4电控箱
故障
手动遥控器显示以下报
警：
W 13/D 13
N2 FLOW
原因
无氮气吹扫流量
故障排除
z 检查氮气供应
z 检查氮气阀是否连接到“Purge
Valve”接口上（参阅D 10）
z 检查氮气流量的设置（参阅B
60）
z 确认没有泄漏
检查报警值的设置
检查传感器是否连接到“Mass Flow
Sensor”接口上（参阅D 10）
更换M4电控箱（参阅E 700）
氮气流量不足
报警值设置不正确
传感器故障
检查氮气质量流量计，检
查：
z J10的针脚25和26
之间是否为+15V
z J10的针脚26和27
之间是否为-15V
（26 = 0V），（参阅G 12）
检查J10的针脚26和30
之间的电压（26 = 0V），
电压 = 流量/6 （slm）
没有电压：
M4故障
没有电压：
氮气质量流量计
MFS故障或接线问
题
M4故障
监控系统设置不正确
氮气吹扫阀故障
接线不正确
故障没有消除
检查接线或更换质量流量计
更换M4电控箱
检查设置
更换阀门
更换接线
更换M4电控箱
检查氮气吹扫阀
手动遥控器上的氮气吹
扫阀显示灯电亮
氮气吹扫阀上的显示灯
电亮
检查J11的针脚7和8之
间是否为24V AC
D 100
真空泵运行但是显示报警或故障-温度或传感器问题
故障
手动遥控器显示
以下报警：
W 10
MOTOR TEMP.
短接Mot. Temp.
接口的针脚11和
12（参阅G 12）
故障
手动遥控器显示
以下报警：
D 10
MOTOR TEMP.
（版本 > 1.03）
电机温度 > 150 ℃
传感器故障
原因
电机温度传感器没有连
接
故障排除
z 如果是ADS 602，检查是否有接头
或接线到LI4数字输入信号接口（参
阅D 10）
z 检查传感器和Mot. Temp. 接口之
间的接线（参阅D 10）
检查水流量是否报警（参阅D 90）
检查传感器和Mot. Temp. 接口之间的
接线（如果是ADS 602，罗茨泵的电机
温度传感器是否接到LI4接口）（参阅D
10）
检查接线或更换传感器
更换M4电控箱（参阅E 700）
传感器故障
故障消除：
传感器故障或接线问题
M4故障
检查传感器和Mot. Temp. 接口之间的
接线（参阅D 10）
检查接线或更换传感器
原因
电机温度 > 100 ℃
故障排除
检查水流量是否报警（参阅D 90）
更换M4电控箱（参阅E 700）
短接Mot. Temp.
接口的针脚9和
10以及LI4接口
的针脚13和14
（参阅G 12）
故障消除：
传感器故障或接线问题
M4故障
故障
手动遥控器显示
以下报警：
D 10
MOTOR TEMP.
（版本 < 1.03）
短接Mot. Temp.
接口的针脚9和
10（参阅G 12）
故障
手动遥控器显示以
下报警：
W 15
ADP TEMP. HIGH
真空泵温度 > 设
置温度 + 10 ℃
检查Therm. ADP
接口的针脚15和
16之间电压是否为
24V AC
（参阅G 12）
故障
手动遥控器显示以
下报警：
W 16
ADP TEMP. LOW
真空泵温度 < 设
置温度 - 10 ℃
故障
手动遥控器显示以下
报警：
D 15
ADP TEMP. HIGH
真空泵温度超出设置
温度+- 10 ℃的范围，
但是显示为
0 ℃或170 ℃
原因
传感器故障
电机温度 > 150 ℃
故障排除
检查传感器和Mot. Temp. 接口之间的
接线（参阅D 10）
检查水流量是否报警（参阅D 90）
故障消除：
传感器故障或接线问题
M4故障
检查接线或更换传感器
更换M4电控箱（参阅E 700）
原因
温度控制阀电源问题
冷却水问题
故障排除
检查温度控制阀和Therm. ADP 接口之
间的接线（参阅D 10）
检查水流量是否报警（参阅D 90）
没有电压：
M4故障
阀门故障或接线问题
更换M4电控箱（参阅E 700）
检查接线或更换阀门
原因
温度控制阀电源问题
阀门故障
故障排除
检查温度控制阀和Therm. ADP 接口之
间的接线（参阅D 10）
更换阀门
原因
温度传感器故障
故障排除
检查传感器和ADP. Temp接口之间的
接线（参阅D 10）
通过测量ADP. Temp
接口的针脚11和12
之间的电阻检查温度
传感器以及接线（参
阅G 12）：
0 ℃ = 100 欧
20 ℃ = 107.8 欧
50 ℃ = 119.4 欧
80 ℃ = 130.9 欧
100 ℃ = 138.5 欧
157 ℃ = 160 欧
故障
手动遥控器显示以下报
警：
D 15
ADP TEMP. HIGH
真空泵温度高于报警设
定值
检查Therm. ADP接口
的针脚15和16之间电
压是否为24V AC
（参阅G 12）
故障
手动遥控器显示以下报
警：
D 15
ADP TEMP. HIGH
真空泵温度低于报警设
定值
测量值正确：
M4故障
传感器故障或接线问题
更换M4电控箱（参阅E 700）
检查接线或更换传感器
原因
温度控制阀未连接
冷却水问题
故障排除
检查温度控制阀和Therm. ADP 接
口之间的接线（参阅D 10）
检查水流量是否报警（参阅D 90）
没有电压：
M4故障
阀门故障或接线问题
更换M4电控箱（参阅E 700）
检查接线或更换阀门
原因
温度传感器故障
故障排除
检查传感器和ADP. Temp接口之
间的接线（参阅D 10）
通过测量ADP. Temp接
口的针脚11和12之间的
电阻检查温度传感器以
及接线（参阅G 12）：
0 ℃ = 100 欧
20 ℃ = 107.8 欧
50 ℃ = 119.4 欧
80 ℃ = 130.9 欧
100 ℃ = 138.5 欧
157 ℃ = 160 欧
测量值正确：
M4故障
传感器故障或接线问题
更换M4电控箱（参阅E 700）
检查接线或更换传感器
故障
手动遥控器显示以下报
警：
W 01
Exhaust Pressure
原因
排气压力
> 1450 mbar (P/LM)
> 1650 mbar (H)
传感器故障
（P = 500 mbar）
检查Check Press接口
的针脚7和8之间的电压
是否为15V DC
（8 = 0V）（参阅G 12）
检查Check Press接口
的针脚8和9之间的电压
是否在大气压时为1V
（8 = 0V）
故障
手动遥控器显示以下报
警：
D 01
Exhaust Pressure
检查Check Press接口
的针脚7和8之间的电压
是否为15V DC
（8 = 0V）（参阅G 12）
检查Check Press接口
的针脚8和9之间的电压
是否在大气压时为1V
（8 = 0V）
传感器故障
（P = 500 mbar）
没有电压：
M4故障
原因
排气压力
> 1990 mbar
故障排除
z 检查N2流量设定值
（参阅B 60）
z 检查排气管道
检查传感器和Check Press 接口
之间的接线
更换M4电控箱（参阅E 700）
没有电压：
M4故障
故障排除
z 检查N2流量设定值
（参阅B 60）
z 检查排气管道
检查传感器和Check Press 接口
之间的接线
更换M4电控箱（参阅E 700）
压力在大气压时测量值
不是1V：
传感器故障或接线问题
M4故障
检查接线或更换传感器
更换M4电控箱
压力在大气压时测量值
不是1V：
传感器故障或接线问题
M4故障
检查接线或更换传感器
更换M4电控箱
D 110
真空泵运行但是显示报警或故障-维护保养问题
故障
手动遥控器显示以下报警：
W32 ADP MAINT.
W31 ADP LP MAINT.
W30 EXHAUST MAINT.
W29 ROOTS MAINT.
W28 LOAD LOCK MAINT.
原因
达到了维护保养的设定
报警值
故障排除
z 检查维护保养的设定值
z 进行保养并将数值复位
D 120
真空泵运行但是显示报警或故障-选配和附件问题
故障
手动遥控器显示以下
报警：
W11 INLET VALVE
进气口没有安装进气
阀
进气口安装了进气阀
短接INLET VALVE
接口的针脚3和4（参
阅G 12）并再次启动
故障
手动遥控器显示以下报警：
W02 AUX. TEMPERATURE
“Aux temperature”输入信
号没有使用
“Aux temperature”输入信
号使用
监控系统设置不正确
传感器选择不正确
温度小于报警值低点或
高于报警值高点
确认“AUX TEMPERATURE”
选项没有激活
确认传感器为PT100形式
z 确认测量温度是否与显示
值一致
z 确认报警设定值
原因
故障排除
监控系统设置不正确
阀门在停机时不关闭或
在开机时不打开
泵启动时故障消除：
阀门故障或接线问题
M4故障
确认“INLET VALVE OPTION”选项
没有激活
z 检查压缩空气的供应
z 检查阀门的状态
检查接线或更换阀门
更换M4电控箱（参阅E 700）
原因
故障排除
接线不正确
z 检查传感器和“Aux
（显示温度 = 170 ℃）Temp.”接口之间的接线
z 重新连接（参阅D 10）
通过测量Aux. Temp接口的
针脚17和18之间的电阻检
查温度传感器以及接线
（参阅G 12）：
0 ℃ = 100 欧
20 ℃ = 107.8 欧
50 ℃ = 119.4 欧
80 ℃ = 130.9 欧
100 ℃ = 138.5 欧
157 ℃ = 160 欧
测量值正确：
M4故障
传感器故障或接线问题
更换M4电控箱（参阅E 700）
检查接线或更换传感器
故障
手动遥控器显示以下报警：
W07 SPEED CONTROL
变频器选项未使用
罗茨泵没有运行在额定转速
监控系统设置不正确
机械故障
确认“SYSTEM SELECT”菜
单设置正确
z 确认罗茨泵没有卡死
（参阅E 30）
z 检查排气管道的状况
检查电机的输入电压，如果正
确，则更换电机
检查接线
更换变频器
检查传感器和“RP”接口之间
的接线（参阅D 10）
更换M4电控箱（参阅E 700）
原因
故障排除
罗茨泵不运转 电机故障
变频器接线不正确
变频器故障
罗茨泵运转在额定转速 传感器问题
M4故障
故障
手动遥控器显示以下报警：
D07 SPEED CONTROL
（仅用于ADS 1802）
A 300泵没有运转在额定转
速
A 300泵不运转
机械故障
原因
监控系统设置不正确
故障排除
确认“SYSTEM SELECT”菜
单设置正确
z 确认泵没有卡死
（参阅E 30）
z 检查排气管道的状况
检查电机的输入电压，如果正
确，则更换电机
检查接线
更换变频器
电机故障
变频器接线不正确
变频器故障
D 130
真空泵运行但是显示报警或故障-模拟或数字输入信号问题
故障
手动遥控器显示以下报警：
W05/D05 LOGIC INPUT 1
W06/D06 LOGIC INPUT 2
W12/D12 LOGIC INPUT 3
数字输入信号未使用
数字输入信号已使用
监控系统设置不正确
监控系统设置不正确
确认“LI1 LOG INPUT”（或
LI2或LI3）没有激活
z 确认报警和报警停机的延
时
z 检查传感器
检查接线
更换M4电控箱（参阅E 700）
原因
故障排除
短接LI1接口的针脚3和4，
或短接LI3接口的针脚5和
6，或断开LI2接口的针脚1
和2（参阅G 12）
故障
手动遥控器显示以下报警：
W04/D04 ANALOG INPUT
模拟输入信号没有使用
模拟输入信号已使用
确认在ANA. INPUT接口的
针脚4和5测到的直流电压信
号与M4显示上的数值相一致
（参阅G 12）
故障消除：
接线问题
M4故障
原因
监控系统设置不正确
监控系统设置不正确
两者相符：
传感器故障
M4故障
故障排除
确认“ANALOG INPUT”设置
没有激活
确认报警设置点
更换传感器
更换M4电控箱（参阅E 700）
D 140
真空泵运行-没有任何信息
故障
真空度不够或没有真空
机械噪音大
原因 故障排除
真空泵污染或卡死 ADP泵的维修
（参阅E 70）
内部漏油 ADP泵的维修
（参阅E 70）
球轴承损坏 ADP泵的维修
（参阅E 70）
转子卡死 ADP泵的维修
（参阅E 70）
齿轮损坏 ADP泵的维修
（参阅E 70）
没有N2吹扫 设置不正确 重新设置M4（PURGE CMD
ENABLED）或手动设置吹扫
（使用手动遥控器上的
PURGE键）
E 10
真空泵的放油
z 在操作之前了解安全指导（参阅D 00）
z 一些特别的气体在接触到油之后会变得有腐蚀性和有毒。在处理用过的油或脏油时请始
终戴好手套，将油排放到密闭的容器中，不要呼吸到油蒸汽。请始终戴好呼吸面罩。
z 请始终根据当地的环境保护法和规章制度正确的处理使用过的油或脏油以及其他副产
品。
油箱的放油
松开加油塞（1），以释放邮箱内的压力。
移开放油塞（2），将油放到密封的容器内（容量大约为0.5升）。
注意：罗茨泵有2个油箱。每个油箱都需要如上操作。
将放油塞（2）以及密封件重新安装到原位。
E 510
基本的注意事项
建议用户在进行任何的维护保养工作之能先了解以下注意事项。
针对腐蚀性气体的注意事项
真空泵内残留的工艺气体可能会造成严重伤害甚至于死亡。在搬动真空泵之前，通过机台
对真空泵继续进行N2吹扫30分钟以上。N2的压力和流量应当与在工艺时编辑的数据相
同。
在搬动真空泵时，操作者可能会因为接触到排气口上的残留工艺介质而造成严重伤害甚至
与死亡。请咨询相关安全部门相应的地方安全指导。
建议用户：
z 请用干燥氮气对真空泵进行吹扫。如果氮气吹扫命令已经设置，当真空泵停机（正常停
机或是因为故障而停机）时，氮气吹扫会自动进行。
如果不是这样的情况，则必须：
- 如果真空泵为远程控制模式，将连接在泵尾部的远程控制接头断开，连接上随泵发送的
现场模式接头。
- 调节M4监控系统中的参数，将氮气延时吹扫时间设置为10分钟。
- 按START键，然后再按STOP键，氮气吹扫在泵停后自动进行。
z 戴好手套以及保护装置，必要的话，戴上呼吸面罩。
z 确保现场的通风。
z 不要随意地分解残留物，必要的话，请联系专门进行回收或处理这些物质的机构。
z 准备好进气口和排气口的法兰，在泵发送的过程中需要将它们安装在进气口和排气口
上。如果没有法兰的话，请联系阿尔法特高真空技术（上海）有限公司。
E 520
冷却水的排放
连接冷却水路
z 断开冷却水进水口和出水口的快速接头。
z 由于冷却水路上配置了水阀（常关），冷却水的排放必须在真空泵运行状态下进行（这
样阀才能打开）。
z 准备一段带1/4英寸快速公接头的软管（A），以及一段带1/4英寸快速母接头的软管（B）
（与压缩空气相连）。
z 松开真空泵冷却水进水口和出水口的接头。
z 将软管（A）连接到真空泵的出水口，然后将软管的另一端连接到一个容器中（容量不
超过1升）。
z 将软管（B）连接到真空泵的进水口，然后另一端连接到压缩空气（2-5 bar）。
z 当冷却水被排出后，迅速关闭真空泵并断开软管（A）和软管（B）的连接。
该操作必须迅速进行，因为真空泵在没有冷却水冷却的状态下运行几分钟就会过热并进入
报警或报警停机状态。
排放冷却水
z 打开真空泵（主开关为“1”）
z 在监控系统的DEFINITION菜单中设置THERM. ADP OPTION为INVALID
z 按START键，将压缩空气连接至进水口，真空泵继续运行直到冷却水被完全排出（或
检查流量计中已经没有水）
z 按STOP键，然后按ENTER确认
z 再次进入DEFINITION菜单，设置THERM. ADP OPTION为VALID
E 530
保存真空泵的设置
保留真空泵中的参数并拷贝到新的真空泵上，可以确保运行参数的一致性。我们建议客户不
要将手动遥控器退回我们的维修中心。
z 处于安全的考虑，请在真空泵停机但主开关依然打开时进行以下操作。
设置参数的保存
真空泵的设置参数都保存在M4监控系统的内部电控箱内。
按SET键进入菜单。
按 + 键选择到MANAGEMENT选项，并按ENTER进入该选项。
按 + 键选择到CONFIG. SAVE选项，并按ENTER进入该选项。
真空泵的设置参数被复制到手动遥控器的记忆中。
按SET键退出设置模式并回到主菜单。
断开手动遥控器的连接。
E 540
从安装位置移开真空泵
首先阅读以下基本的注意事项（参阅E 510）。
关闭真空泵
将主开关位置设为“0”，将真空泵关闭。
断开客户的主断路器。
将主电源插头断开。如果主电源线是直接连接到泵的电气箱内部的话，将主电源线和内部端
子断开。（参阅B 70）
断开各部分的连接
断开氮气快速接头。
断开电路接口面板上的所有接头。切勿忘记将随泵发送的“远程控制”和“紧停”接头连接
到真空泵上。
将真空泵和进气口管道断开，在真空泵的进气口上安装保护法兰。
将真空泵和排气管道断开，在真空泵的排气口上安装保护法兰。
收起真空泵的支撑脚以及防振垫（如果安装了的话）。
将真空泵从安装位置移开。
E 550
发送前真空泵的设置
真空泵内残留的工艺气体可能会造成严重伤害甚至于死亡。在搬动真空泵之前，通过机台
对真空泵继续进行N2吹扫30分钟以上。N2的压力和流量应当与在工艺时编辑的数据相
同。
在搬动真空泵时，操作者可能会因为接触到排气口上的残留工艺介质而造成严重伤害甚至
与死亡。请咨询相关安全部门相应的地方安全指导。
真空泵发送前的准备工作
真空泵在发送前必须对真空泵充入干燥氮气（参阅E 510）。
进气口
将第一次随泵发送的连接元件安装到真空泵上。如果必要的话，关于连接元件，请询问阿尔
卡特高真空技术（上海）有限公司。
进气口盲法兰
中心环
快卸卡箍
双爪钩头螺钉（4个/套）
1/8 气体接头
排气口
DN 50 ISO-KF (ADP) DN 100 ISO-K (ADS)
106314 090467
087168 068349
303003 -
- 303056
082981 082981
盲法兰
中心环
快卸卡箍
DN 40 ISO-KF
068197
068230
303002
为真空泵充入氮气
用以上法兰将进气口盲死。然后连接氮气到气体接头上。
z 向真空泵充入氮气，直到压力达到1.5 bar
z 当氮气从排气口排出后，用以上附件将排气口密封
z 断开氮气的连接
填写安全询问表（参阅E 560）。
ADS 602的进气口法兰连接
z 移开2个吊环，安装压板
z 重新安装上吊环并上紧
z 将法兰板用螺钉安装到压板上
z 将法兰板定位在进气口上，并上紧钩头螺钉
z 然后上紧所有的螺钉
E 560
安全询问表
将阿尔卡特真空泵或检漏仪退回维修中心，需要填写以下安全询问表。